Fraunhofer-Gesellschaft

Publica

Hier finden Sie wissenschaftliche Publikationen aus den Fraunhofer-Instituten.
2013Integrated piezoelectrics for smart microsystems - a teamwork of substrate and piezo
Gebhardt, S.; Ernst, D.; Bramlage, B.; Flössel, M.; Schönecker, A.
Konferenzbeitrag
2007Development of micro-integrated sensors and actuators based on PZT thick films
Gebhardt, S.E.; Rödig, T.; Partsch, U.; Schönecker, A.J.
Konferenzbeitrag