Fraunhofer-Gesellschaft

Publica

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1995Cubic boron nitride films prepared by reactive r.f. - and d.c. sputtering from different boron containing targets
Schütze, A.; Bewilogua, K.; Lüthje, H.; Kouptsidis, S.; Jäger, S.
Konferenzbeitrag
1995Cubic boron nitride films prepared by reactive r.f. - and d.c. sputtering from different boron containing targets
Schütze, A.; Bewilogua, K.; Lüthje, H.; Kouptsidis, S.; Jäger, S.
Zeitschriftenaufsatz
1993Untersuchungen zum Einfluß von Schichtherstellparametern auf Hochtemperatur- und Verschleißverhalten von PVD-Schichten.
Kleer, G.; Döll, W.
Zeitschriftenaufsatz