Fraunhofer-Gesellschaft

Publica

Hier finden Sie wissenschaftliche Publikationen aus den Fraunhofer-Instituten.
2013Pulsed DC magnetron sputtering of transparent conductive oxide layers
Bingel, Astrid; Füchsel, Kevin; Kaiser, Norbert; Tünnermann, Andreas
Zeitschriftenaufsatz
2002Damage resistant and low stress EUV multilayer mirrors
Feigl, T.; Yulin, S.; Kuhlmann, T.; Kaiser, N.
Zeitschriftenaufsatz
1993Preparation, properties and structure of metal containing amorphous hydrogenated carbon films
Grischke, M.; Bewilogua, K.; Dimigen, H.
Zeitschriftenaufsatz