Fraunhofer-Gesellschaft

Publica

Hier finden Sie wissenschaftliche Publikationen aus den Fraunhofer-Instituten.
1993Chancen außerhalb der Chip-Produktion - Verbundprojekt förderte Kooperation zur Gerätespezifikation und zeigte Entwicklungsschwerpunkte auf. Hersteller von Fertigungsgeräten für die Mikroelektronik suchen nach neuen Märkten
Schäfer, W.
Zeitschriftenaufsatz
1992Information processing in semiconductor manufacturing
 
Tagungsband
1990Werkstückbegleitender Informationsspeicher als Basis für ein informationstechnisches Konzept für Halbleiterfertigungen
Sauter, K.-D.
Dissertation