Fraunhofer-Gesellschaft

Publica

Hier finden Sie wissenschaftliche Publikationen aus den Fraunhofer-Instituten.
2001Gesicherte Interpretationen der FTIR-Reflexionsspektren SiC-CVD-Schichten durch Spektrensimulation
Grählert, W.; Hopfe, V.
Zeitschriftenaufsatz
2000A selective CMP process for stacked low-k CVD oxide films
Hartmannsgruber, E.; Zwicker, G.; Beekmann, K.
Konferenzbeitrag
1999The influence of surface oxidation on the pH-sensing properties of silicon nitride
Mikolajick, T.; Kuhnhold, R.; Schnupp, R.; Ryssel, H.
Konferenzbeitrag
1989Evidence for disorder induced vibrational mode coupling in thin amorphous SiO2-films
Lange, P.
Zeitschriftenaufsatz