Fraunhofer-Gesellschaft

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Hier finden Sie wissenschaftliche Publikationen aus den Fraunhofer-Instituten.
2003SimCoat - Ein Programmsystem zur Optimierung von Beschichtungstechnologien
Völlmar, S.; Schultrich, B.; Römer, D.; Scheibe, H.-J.
Zeitschriftenaufsatz
2002Fertigung von Mikrokomponenten aus Glas
Lehnicke, S.; Löffelbein, B.; Zimmer, O.; Füting, M.; Burkhardt, T.; Grimme, D.; Gärtner, C.; Piltz, S.
Zeitschriftenaufsatz
2002Konstruktive Entwicklung einer industriell einsetzbaren Filter-HCA-Quelle für superharte Nanometer-Kohlenstoffschichten
Jannasch, K.; Siemroth, P.
Zeitschriftenaufsatz
2002Magnetische und elektrische Steuerung der Vakuumbogenbeschichtung
Zimmer, O.
Dissertation
2002Quality control of ultra-thin and super-hard coatings by laser-acoustics
Schneider, D.; Siemroth, P.; Schülke, T.; Berthold, J.; Schultrich, B.; Schneider, H.-H.; Ohr, R.; Petereit, B.; Hillgers, H.
Zeitschriftenaufsatz
2002Superharte Kohlenstoffschichten durch Nanometer-Schichtdesign
Schultrich, B.
Konferenzbeitrag
2002Superharte Schichten
Stucky, T.
Zeitschriftenaufsatz
2002Young's modulus of (Ti,Si )N films by surface acoustic waves and indentation techniques
Vaz, F.; Carvalho, S.; Rebouta, L.; Silva, M.Z.; Paul, A.; Schneider, D.
Zeitschriftenaufsatz
2001Calculation and measurement of the time dependent erosion rate of electromagnetic steered rectangular arc cathodes
Zimmer, O.; Vetter, J.; Rackwitz, N.; Siemroth, P.
Zeitschriftenaufsatz
2001Dekorative PVD-Beschichtung von Kunststoffen
Schultrich, B.
Aufsatz in Buch
2001Schichthaftung und nm-Grenzflächenengineering
Schultrich, B.
Zeitschriftenaufsatz
2001Superharter Kohlenstoff abgeschieden mit gepulstem Hochstrombogen als Nanoschutzschicht für Magnetspeicherplatten
Neuhäuser, M.; Hilgers, H.; Witke, T.; Siemroth, P.
Zeitschriftenaufsatz
2000Abformung von Mikrostrukturen in Glas
Thiel, S.; Lehnicke, S.; Zimmer, O.; Piltz, S.
Zeitschriftenaufsatz
2000Comparison of filtered high-current pulsed arc deposition (phi-HCA) with conventional vacuum arc methods
Witke, T.; Schülke, T.; Schultrich, B.; Siemroth, P.; Vetter, J.
Zeitschriftenaufsatz
2000Copper metallization in microelectronics using filtered vacuum arc deposition. Principles and technological development
Siemroth, P.; Schülke, T.
Zeitschriftenaufsatz
1999Beschichtung von Werkzeugen für die Kunststoffverarbeitung
Schultrich, B.; Vetter, J.; Kayser, O.
Konferenzbeitrag
1999Comparison of DC and AC arc thin film deposition techniques
Schülke, T.; Witke, T.; Scheibe, H.J.; Siemroth, P.; Schultrich, B.; Zimmer, O.; Vetter, J.
Zeitschriftenaufsatz
1999Deposition of droplet-free by vacuum arc evaporation - results and applications
Witke, T.; Siemroth, P.
Zeitschriftenaufsatz
1999Deposition of hard amorphous carbon coatings by laser and arc methods
Witke, T.; Schülke, T.; Berthold, J.; Meyer, C.F.; Schultrich, B.
Zeitschriftenaufsatz
1999Film deposition by laser and arc technologies
Schultrich, B.
Zeitschriftenaufsatz
1999Herstellung und Charakterisierung nanodisperser Kohlenstoffschichten
Schultrich, B.; Scheibe, H.J.; Mai, H.
Konferenzbeitrag
1999Simulation des Vakuumbogens in industriellen Beschichtungsanlagen als Wechselspiel von nichtlinear-determinierten und von stochastischen Prozessen
Rackwitz, N.; Siemroth, P.; Riedrich, T.; Schultrich, B.
Konferenzbeitrag
1999Simulation of the cathode spot dynamics in vacuum arc discharges
Rackwitz, N.
Zeitschriftenaufsatz
1999Velocity distribution of carbon macroparticles generated by pulsed vacuum arcs
Schülke, T.; Anders, A.
Zeitschriftenaufsatz
1998Copper metallization of submicron trenches with pulsed vacuum arc
Siemroth, P.; Wenzel, C.; Witke, T.; Schultrich, B.
Konferenzbeitrag
1998High current metal-ion source for activated deposition
Witke, T.; Siemroth, P.; Schultrich, B.; Zimmer, O.
Konferenzbeitrag
1997Activating adherend surfaces by applying arc-discharge treatment
Kleinert, H.; Großer, S.; Schultrich, B.; Siemroth, P.
Zeitschriftenaufsatz
1997Aktivierte Hochratebeschichtung
Schultrich, B.; Siemroth, P.; Scheibe, H.J.
Zeitschriftenaufsatz
1997Characterization of carbon nitride produced by high-current vacuum arc deposition
Hartmann, J.; Siemroth, P.; Schultrich, B.; Rauschenbach, B.
Zeitschriftenaufsatz
1997High rate deposition by vacuum arc methods
Schultrich, B.; Siemroth, P.; Scheibe, H.J.
Zeitschriftenaufsatz
1997Plasma state in pulsed arc, laser and electron deposition
Witke, T.; Ziegele, H.
Zeitschriftenaufsatz
1996Dynamics of vacuum arc cathode spots at point cathode
Jüttner, B.; Djakov, B.; Siemroth, P.
Konferenzbeitrag
1996Investigation of cathode spots and plasma formation of vacuum arcs by
Siemroth, P.; Schülke, T.; Witke, T.; Rackwitz, N.
Konferenzbeitrag
1996Macroparticle filtering of high-current vacuum arc plasmas
Schülke, T.; Anders, A.; Siemroth, P.
Konferenzbeitrag
1996Predicting Ion Charge State Distributions of Vacuum Arc Plasmas
Anders, A.; Schülke, T.
Konferenzbeitrag
1996Vacuum arc cathode spots as a self-similarity phenomenon
Schülke, T.; Siemroth, P.
Zeitschriftenaufsatz