Fraunhofer-Gesellschaft

Publica

Hier finden Sie wissenschaftliche Publikationen aus den Fraunhofer-Instituten.
2019Quasi-statischer MOEMS-Gitterscanner zum spektralen Durchstimmen eines MIR-Quantenkaskadenlasers
Merten, André; Schroedter, Richard; Dreyhaupt, André; Graßhoff, Thomas; Schwarzenberg, Markus; Hugger, Stefan; Schilling, Christian; Grahmann, Jan; Ostendorf, Ralf
Zeitschriftenaufsatz
2018Ultrapräzisionsverfahren zur Erhöhung der Güte abbildender Beugungsgitter
Kühne, Stefan
: Stark, Rainer; Uhlmann, Eckart; Brinksmeier, E.
Dissertation
1997Entwicklung von neuen elektrisch steuerbaren diffraktiven integriert-optischen Komponenten
Hinkov, I.
Dissertation
1992In-process image detecting technique for determination of overlay, and image quality for ASM-L wafer stepper
Pforr, R.; Wittekoek, S.; VanDenBosch, R.; VanDenHove, L.; Jonckheere, R.; Fahner, T.; Seltmann, R.
Konferenzbeitrag