Fraunhofer-Gesellschaft

Publica

Hier finden Sie wissenschaftliche Publikationen aus den Fraunhofer-Instituten.
2007Inertialsensorik. Potenziale der referenzlosen Positionsmessung
 
Tagungsband
2007LTCC-based sensors for mechanical quantities
Partsch, U.; Gebhardt, S.; Arndt, D.; Georgi, H.; Neubert, H.; Fleischer, D.; Gruchow, M.
Konferenzbeitrag
2000Simulation mechanisch-elektrischer Wechselwirkungen am Beispiel eines sensorischen Mikrosystems
Clauß, C.; Reitz, S.; Schwarz, P.
Konferenzbeitrag
1999Technologieentwicklung für Beschleunigungssensoren und Drehratensensoren unter Nutzung von Waferbondverfahren
Wiemer, M.
Dissertation
1998Beschleunigungssensoren
Sölla, F.; Köhler, R.; Dürr, P.; Sobe, U.
Zeitschriftenaufsatz
1997Entwurf und Realisierung einer CMOS-Aussteuerungs- und Ausleseschaltung für einen mikromechanischen Beschleunigungssensor
Engel, F.
Diplomarbeit
1996Fabrication of acceleration sensors using a new SIMOX technology for stiction free low stress
Geiger, W.; Erlebach, A.; Köhler, R.; Kück, H.
Konferenzbeitrag
1993Körperschallanalyse an Tiefziehwerkzeugen.
Straube, O.
Zeitschriftenaufsatz