Publica
Hier finden Sie wissenschaftliche Publikationen aus den Fraunhofer-Instituten. | | |
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| 2011 | Developing a framework for virtual metrology and predictive maintenance
Schellenberger, Martin; Roeder, Georg; Mattes, Andreas; Pfeffer, Markus; Pfitzner, Lothar; Knapp, Alexander; Mühlberger, Heribert; Bichlmeier, Josef; Valeanu, Christian; Kyek, Andreas; Lenz, Benjamin; Frisch, Markus; Leditzky, Günther | Zeitschriftenaufsatz |
| 2011 | Modulares Steuerungskonzept für integrierte Messtechnik in der Halbleiterfertigung am Beispiel einer Mehrkammerprozessanlage
Schellenberger, Martin
: Ryssel, H.; Frey, L. | Dissertation |
| 2010 | Advanced process control - lessons learned from semiconductor manufacturing
Schellenberger, M.; Roeder, G.; Öchsner, R.; Schöpka, U.; Kasko, I. | Zeitschriftenaufsatz |
| 2006 | Prospects for the realization of APC in a distributed 300 mm R&D-line
Roeder, G.; Schellenberger, M.; Öchsner, R.; Pfeffer, M.; Frickinger, J.; Pfitzner, L.; Ryssel, H.; Fritzsche, M. | Konferenzbeitrag |
| 2005 | Unit process aspects for APC-software implementation
Roeder, G.; Schellenberger, M.; Pfitzner, L.; Ryssel, H.; Spitzlsperger, G. | Konferenzbeitrag |