Fraunhofer-Gesellschaft

Publica

Hier finden Sie wissenschaftliche Publikationen aus den Fraunhofer-Instituten.
2001Wafer stage assembly for ion projection lithography
Damm, C.; Peschel, T.; Risse, S.; Kirschstein, U.
Journal Article
1999A new metrology stage for Ion Projection Lithography made of glass ceramics
Risse, S.; Peschel, T.; Damm, C.; Kirschstein, U.
Conference Paper