Fraunhofer-Gesellschaft

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Hier finden Sie wissenschaftliche Publikationen aus den Fraunhofer-Instituten.
2017Verfahren zur automatisierten Handhabung von hochsensiblen Photovoltaik-Substraten aus Flüssigkeiten
Giesen, Tim
: Verl, Alexander (Hauptberichter); Krüger, Jörg (Mitberichter)
Dissertation
2016Impact of the Firing Temperature Profile on Light Induced Degradation of Multicrystalline Silicon
Eberle, R.; Kwapil, W.; Schindler, F.; Schubert, M.C.; Glunz, S.W.
Journal Article
2016Incoming control of silicon wafers - detection and rating of micro-cracks
Demant, M.; Welschehold, T.; Oswald, M.; Bartsch, S.; Schönfelder, S.; Rein, S.
Presentation
2015Manufacturing 100-µm-thick silicon solar cells with efficiencies greater than 20% in a pilot production line
Terheiden, B.; Ballmann, T.; Horbelt, R.; Schiele, Y.; Seren, S.; Ebser, J.; Hahn, G.; Mertens, V.; Koentopp, M.B.; Scherff, M.; Müller, J.W.; Holman, Z.C.; Descoeudres, A.; Wolf, S. de; Nicolas, S.M. de; Geissbuehler, J.; Ballif, C.; Weber, B.; Saint-Cast, P.; Rauer, M.; Schmiga, C.; Glunz, S.W.; Morrison, D.J.; Devenport, S.; Antonelli, D.; Busto, C.; Grasso, F.; Ferrazza, F.; Tonelli, E.; Oswald, W.
Journal Article
2015Simulationen steigern die Produktivität beim Sägen
Vazquez Martinez, Hector
Journal Article
2014Gripping-In-Liquid: Significant parameters for the automated handling of ultrathin substrates in cleaning baths
Giesen, Tim; Mayer, Pablo; Behtan, Christian; Wertz, Roland
Conference Paper
2014Plasmachemisches Trockenätzen von Solarwafern mit Atmosphärendruck-Plasmen
López Alonso, Elena
: Beyer, Eckhard (Gutachter); Leyens, Christoph (Gutachter)
Dissertation
2014Verfahren zur Bewertung von Greifern für Photovoltaik-Wafer
Fischmann, Christian
: Verl, Alexander (Hauptberichter)
Dissertation
2013Advanced gripper development and tests for automated photovoltaic wafer handling
Giesen, T.; Bürk, E.; Fischmann, C.; Gauchel, W.; Zindl, M.; Verl, A.
Journal Article
2013Characterization of damage and mechanical strength of wafers and cells during the cell manufacturing process
Koepge, R.; Wegert, F.; Thormann, S.; Schoenfelder, S.
Journal Article
2013Development and evaluation of a prototypic automated high precision assembly of ultra-thin miniaturized silicon wafers
Mayer, Pablo; Giesen, Tim; Wertz, Roland; Böttinger, Fabian; Verl, Alexander
Conference Paper
2013Gripping-in-liquid: Handling challenges for automated ultra-thin wafer production
Giesen, Tim; Mayer, Pablo; Stiels, Daniel; Wertz, Roland; Martini, Roberto; Debucquoy, Maarten; Verl, Alexander
Conference Paper
2013Wafer transport via conveyor belts - influencing parameters and resulting impact
Wertz, Roland; Giesen, Tim; Mayer, Pablo; Böttinger, Fabian; Verl, Alexander
Conference Paper
2012Der "Zauberspiegel" als Messprinzip
Tobisch, Alexander; Schellenberger, Martin; Pfitzner, Lothar
Journal Article
2012Advanced production challenges for automated ultra-thin wafer handling
Giesen, Tim; Wertz, Roland; Fischmann, Christian; Kreck, Guido; Govaerts, Jonathan; Vaes, Jan; Debucquoy, Maarten; Verl, Alexander
Conference Paper
2012Analysis of influences on solar wafers during pick-and-place operations
Fischmann, Christian; Giesen, Tim; Wertz, Roland; Böttinger, Fabian; Böffert, Nina; Verl, Alexander
Conference Paper
2012Development and Optimization of Automated Dry-Wafer Separation
Giesen, Tim; Fischmann, Christian; Böttinger, Fabian; Ehm, Alexander; Verl, Alexander
Journal Article, Conference Paper
2012Effect of metal-wrap-through holes and etching parameters on the strength of multicrystalline silicon wafers
Oswald, M.; Loewenstein, T.; Schubert, G.; Schoenfelder, S.
Conference Paper
2012Influence of bulk and surface properties on measurable steady-state carrier-lifetime
Turek, M.
Journal Article, Conference Paper
2012Passive alignment of wafers - design and impact
Wertz, Roland; Giesen, Tim; Fischmann, Christian; Konstandin, Marcel; Verl, Alexander
Conference Paper
2012Verfahren zum flüssigkeitsbasierten Vereinzeln kontaminierter Photovoltaikwafer
Reddig, Kevin
: Verl, Alexander (Hauptberichter)
Dissertation
2011Analyse von Wafer-Greifern in der Photovoltaik-Fertigung
Fischmann, Christian
Journal Article
2011Analysis and evaluation of methods for automated wafer handling in high volume manufacturing
Fischmann, Christian; Giesen, Tim; Böttinger, Fabian; Wertz, Roland; Ehm, Alexander; Böffert, Nina; Goh, Dillon; Verl, Alexander; Kunz, Mathias
Conference Paper
2011Charakterisierung von Handhabungs-Systemen für die Photovoltaik-Massenfertigung
Giesen, Tim
Conference Paper
2011The influence of transport operations on the wafer strength and breakage rate
Köpge, Ringo; Schönfelder, Stephan; Giesen, Tim; Fischmann, Christian; Verl, Alexander; Bagdahn, Jörg
Conference Paper
2011Performing experiments in photovoltaic manufacturing using knowledge management technologies
Hoffmeister, Michael; Zapp, Matthias
Journal Article
2011Performing experiments in photovoltaic manufacturing using knowledge management technologies
Hoffmeister, Michael; Zapp, Matthias
Journal Article
2010Automated handling and transport of crystalline photovoltaic wafers
Fischmann, Christian; Giesen, Tim; Böttinger, Fabian; Wertz, Roland; Hoffmeister, Michael
Conference Paper
2010Automated wafer separation using water-jets
Reddig, Kevin; Wertz, Roland
Conference Paper
2010Großflächiges plasmachemisches Ätzen bei Atmosphärendruck
Dani, I.; Lopez, E.; Linaschke, D.; Kaskel, S.; Beyer, E.
Conference Paper
2010Separation of wet wafers after sawing
Reddig, Kevin
Journal Article
2009Analysis and evaluation of thin-wafer handling methods
Fischmann, Christian; Giesen, Tim; Goh, Dillon; Hoffmeister, Michael; Wertz, Roland
Conference Paper
2009Den Mikrorissen auf der Spur
Fulga, Simina; Eigenbrod, Hartmut
Journal Article
2009Thin wafer handling methods
Fischmann, Christian; Giesen, Tim; Gao, Steve
Journal Article
2007Uniaxially strained silicon by wafer bonding and layer transfer
Himcinschi, C.; Radu, I.; Muster, F.; Singh, R.; Reiche, M.; Petzold, M.; Gösele, U.; Christiansen, S.H.
Conference Paper, Journal Article
2006Automatic separation of large and thin wafers
Reddig, K.; Fickert, K.; Jäger, F.
Conference Paper
2005Neue Verfahren zum chemisch-mechanischen Reinigen von Einzelwafern für Sub-100-mm-Technologie - CMC Cleaner
: Gentischer, Josef (Projektleiter)
Study
2005Online performance measurement for automated material transportation
Sturm, R.
Conference Paper
2004Entwicklung einer Auswertesoftware für Daten eines Waferinspektionsgerätes
Granzin, M.
Thesis
2003Kalibrierung von integrierten Drucksensoren im Waferverbund
Köster, O.; Slotkowski, J.; Brögger, D.
Journal Article
2003On wafer calibration for pressure sensors
Köster, O.
Conference Paper
2003Simulation-based evaluation of the ramp-up behavior of waferfabs
Sturm, R.; Dorner, J.; Reddig, K.; Seidelmann, J.
Conference Paper
2002Contactless electron mobility evaluation of semi-insulating GaAs and InP wafers
Stibal, R.; Kretzer, U.; Jantz, W.
Conference Paper
2002Feinbearbeitung von Präzisionsoberflächen
Klocke, F.; Bresseler, B.; Helbig, J.; Heselhaus, M.; Leifhelm, G.; Pähler, D.
Conference Paper
2002Formierung der Elektrolytschicht aus Dispersionen auf porösem Kathodenmaterial. Abschlußbericht
: Otschik, P.
Report
2002Formierung der Elektrolytschicht aus Dispersionen auf porösem Kathodenmaterial. Erfolgskontrollbericht
: Otschik, P.
Report
2002Hundert Wafer auf einen Streich
Kappler, W.
Journal Article
2002Prozesskette zur Waferbearbeitung
Huttenhuis, S.; Pähler, D.
Journal Article
2002Simulation von transienten Szenarien an einem automatisierten Wafertransportsystem
Sturm, R.; Reddig, K.
Conference Paper
2002Topographic electrical characterization of semi-insulating GaAs, InP and SiC substates
Stibal, R.; Müller, S.; Jantz, W.
Conference Paper
2002Trennen von Silizium - Trenntechnologien im Überblick
Klocke, F.; Huttenhuis, S.; Pähler, D.
Journal Article
2001Ortsaufgelöste zerstörungsfreie Prüfung der Haftqualität von Silizium-Wafern mit nichtlinearem Ultraschall
Wegner, A.
Dissertation
2001Precision machining of future silicon wafers
Klocke, F.; Pähler, D.
Conference Paper
2001Precision machining of future silicon wafers. Grinding and slicing techniques for flawless qualities
Klocke, F.; Pähler, D.
Conference Paper
2000Effiziente Prozesskette zur Waferfertigung
Klocke, F.; Gerent, O.; Pähler, D.
Journal Article
2000Grundlagen der Reinraumtechnik und Personalverhalten - Trends in der reinen Produktion
Gaugel, T.
Conference Paper
2000Grundlagen und Anwendungen der Reinraumtechnik
Werner, D.
Conference Paper
2000On-wafer-S-Parameter-Meßsystem von 70 bis 230 GHz
Wohlgemuth, O.
Dissertation
2000Thermographic Testing Methods with High Temporal and Spatial Resolution
Netzelmann, U.; Walle, G.; Karpen, W.; Meyendorf, N.
Conference Paper
1999Advanced WIP Control for Make-to-Order Wafer Fabrication
Sturm, R.; Frauenhoffer, F.; Dorner, J.; Kirschenhofer, O.; Reisinger, T.
Conference Paper
1999Grundlagen der Reinraumtechnik und Personalverhalten - Trends in der reinen Produktion
Gaugel, T.
Conference Paper
1999Implementing manufacturing strategies for advanced capacity analysis and material handling design in the planning process of a wafer fab
Sturm, R.; Frauenhoffer, F.; Dorner, J.; Kaufmann, T.
Conference Paper
1999Simulation Transport und Lagerung
Sturm, R.
Conference Paper
1999Simulation von widerstands- und lampenbeheizten Öfen für die Schichtabscheidung
Poscher, S.
: Ryssel, H. (Prüfer)
Dissertation
1999Zerstörungsfreie Prüfung der Haftqualität mit Hilfe von nichtlinearem Ultraschall am Beispiel von diffusionsgeschweißten Silizium-Silizium und Silizium-Glas Wafern
Koka, Ashraf
Thesis
1998Fabsimulation zur Fertigungssteuerung
Sturm, R.; Frauenhoffer, F.; Treiber, T.
Conference Paper
1998Flexibilitätsbewertung einer Waferfertigung
Sturm, R.; Frauenhoffer, F.; Schmalfuß, V.; Mönch, G.; Podewils, M. von
Conference Paper
1998Grundlagen der Reinraumtechnik und Personalverhalten - Trends in der reinen Produktion
Gommel, U.
Conference Paper
1997Analyse Engine
Montino, R.; Schäfer, K.; Schmelzle, D.; Suntrup, M.; Kumar, A.P.
Conference Paper
1997Grundlagen der Reinraumtechnik und Personalverhalten - Trends in der reinen Produktion
Gommel, U.
Conference Paper
1997Precision Tin/Lead Alloy Plating for Flip-chip Mounting Technology
Richter, H.; Rueß, K.; Gemmler, A.; Leonhard, W.
Journal Article
1997Verfahren zur Konzeption automatischer reinraumtauglicher Fertigungsanlagen und -zellen
Kaun, R.
Dissertation
1997Zuverlässigkeitstest auf Waferebene
Dreizner, A.; Lukat, K.
Journal Article
1996Hochdruck-Fluidbearbeitung
Henning, A.
Conference Paper
1996Precision Tin/Lead Alloy Plating for Flip Chip Technology
Richter, H.; Rueß, K.; Gemmler, A.; Leonhard, W.
Conference Paper
1992Information processing in semiconductor manufacturing
 
Conference Proceedings
1991Handhabungstechnik im Reinraum
Kaun, R.
Conference Paper
1988Präzisionsschleifen sprödharter Werkstoffe
Steffens, K.; Struth, W.
Book Article