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| 2017 | Verfahren zur automatisierten Handhabung von hochsensiblen Photovoltaik-Substraten aus Flüssigkeiten
Giesen, Tim
: Verl, Alexander (Hauptberichter); Krüger, Jörg (Mitberichter) | Dissertation |
| 2016 | Impact of the Firing Temperature Profile on Light Induced Degradation of Multicrystalline Silicon
Eberle, R.; Kwapil, W.; Schindler, F.; Schubert, M.C.; Glunz, S.W. | Journal Article |
| 2016 | Incoming control of silicon wafers - detection and rating of micro-cracks
Demant, M.; Welschehold, T.; Oswald, M.; Bartsch, S.; Schönfelder, S.; Rein, S. | Presentation |
| 2015 | Manufacturing 100-µm-thick silicon solar cells with efficiencies greater than 20% in a pilot production line
Terheiden, B.; Ballmann, T.; Horbelt, R.; Schiele, Y.; Seren, S.; Ebser, J.; Hahn, G.; Mertens, V.; Koentopp, M.B.; Scherff, M.; Müller, J.W.; Holman, Z.C.; Descoeudres, A.; Wolf, S. de; Nicolas, S.M. de; Geissbuehler, J.; Ballif, C.; Weber, B.; Saint-Cast, P.; Rauer, M.; Schmiga, C.; Glunz, S.W.; Morrison, D.J.; Devenport, S.; Antonelli, D.; Busto, C.; Grasso, F.; Ferrazza, F.; Tonelli, E.; Oswald, W. | Journal Article |
| 2015 | Simulationen steigern die Produktivität beim Sägen
Vazquez Martinez, Hector | Journal Article |
| 2015 | Verbundvorhaben: Entwicklung hoch- und kosteneffizienter PV-Si-Wafer (ENOWA). Teilprojekt: Erarbeitung der Grundlagen für einen schädigungsarmen Säge- und Vereinzelungsprozess für Quasi-Mono-Silizium
Rist, T.; Lagger, H.; Krappitz, M.; Kübler, R. | Report |
| 2014 | Gripping-In-Liquid: Significant parameters for the automated handling of ultrathin substrates in cleaning baths
Giesen, Tim; Mayer, Pablo; Behtan, Christian; Wertz, Roland | Conference Paper |
| 2014 | Plasmachemisches Trockenätzen von Solarwafern mit Atmosphärendruck-Plasmen
López Alonso, Elena
: Beyer, Eckhard (Gutachter); Leyens, Christoph (Gutachter) | Dissertation |
| 2014 | Verfahren zur Bewertung von Greifern für Photovoltaik-Wafer
Fischmann, Christian
: Verl, Alexander (Hauptberichter) | Dissertation |
| 2013 | Advanced gripper development and tests for automated photovoltaic wafer handling
Giesen, T.; Bürk, E.; Fischmann, C.; Gauchel, W.; Zindl, M.; Verl, A. | Journal Article |
| 2013 | Characterization of damage and mechanical strength of wafers and cells during the cell manufacturing process
Koepge, R.; Wegert, F.; Thormann, S.; Schoenfelder, S. | Journal Article |
| 2013 | Development and evaluation of a prototypic automated high precision assembly of ultra-thin miniaturized silicon wafers
Mayer, Pablo; Giesen, Tim; Wertz, Roland; Böttinger, Fabian; Verl, Alexander | Conference Paper |
| 2013 | Gripping-in-liquid: Handling challenges for automated ultra-thin wafer production
Giesen, Tim; Mayer, Pablo; Stiels, Daniel; Wertz, Roland; Martini, Roberto; Debucquoy, Maarten; Verl, Alexander | Conference Paper |
| 2013 | Wafer transport via conveyor belts - influencing parameters and resulting impact
Wertz, Roland; Giesen, Tim; Mayer, Pablo; Böttinger, Fabian; Verl, Alexander | Conference Paper |
| 2012 | Der "Zauberspiegel" als Messprinzip
Tobisch, Alexander; Schellenberger, Martin; Pfitzner, Lothar | Journal Article |
| 2012 | Advanced production challenges for automated ultra-thin wafer handling
Giesen, Tim; Wertz, Roland; Fischmann, Christian; Kreck, Guido; Govaerts, Jonathan; Vaes, Jan; Debucquoy, Maarten; Verl, Alexander | Conference Paper |
| 2012 | Analysis of influences on solar wafers during pick-and-place operations
Fischmann, Christian; Giesen, Tim; Wertz, Roland; Böttinger, Fabian; Böffert, Nina; Verl, Alexander | Conference Paper |
| 2012 | Development and Optimization of Automated Dry-Wafer Separation
Giesen, Tim; Fischmann, Christian; Böttinger, Fabian; Ehm, Alexander; Verl, Alexander | Journal Article, Conference Paper |
| 2012 | Effect of metal-wrap-through holes and etching parameters on the strength of multicrystalline silicon wafers
Oswald, M.; Loewenstein, T.; Schubert, G.; Schoenfelder, S. | Conference Paper |
| 2012 | Influence of bulk and surface properties on measurable steady-state carrier-lifetime
Turek, M. | Journal Article, Conference Paper |
| 2012 | Passive alignment of wafers - design and impact
Wertz, Roland; Giesen, Tim; Fischmann, Christian; Konstandin, Marcel; Verl, Alexander | Conference Paper |
| 2012 | Verfahren zum flüssigkeitsbasierten Vereinzeln kontaminierter Photovoltaikwafer
Reddig, Kevin
: Verl, Alexander (Hauptberichter) | Dissertation |
| 2011 | Analyse von Wafer-Greifern in der Photovoltaik-Fertigung
Fischmann, Christian | Journal Article |
| 2011 | Analysis and evaluation of methods for automated wafer handling in high volume manufacturing
Fischmann, Christian; Giesen, Tim; Böttinger, Fabian; Wertz, Roland; Ehm, Alexander; Böffert, Nina; Goh, Dillon; Verl, Alexander; Kunz, Mathias | Conference Paper |
| 2011 | Charakterisierung von Handhabungs-Systemen für die Photovoltaik-Massenfertigung
Giesen, Tim | Conference Paper |
| 2011 | The influence of transport operations on the wafer strength and breakage rate
Köpge, Ringo; Schönfelder, Stephan; Giesen, Tim; Fischmann, Christian; Verl, Alexander; Bagdahn, Jörg | Conference Paper |
| 2011 | Performing experiments in photovoltaic manufacturing using knowledge management technologies
Hoffmeister, Michael; Zapp, Matthias | Journal Article |
| 2011 | Performing experiments in photovoltaic manufacturing using knowledge management technologies
Hoffmeister, Michael; Zapp, Matthias | Journal Article |
| 2010 | Automated handling and transport of crystalline photovoltaic wafers
Fischmann, Christian; Giesen, Tim; Böttinger, Fabian; Wertz, Roland; Hoffmeister, Michael | Conference Paper |
| 2010 | Automated wafer separation using water-jets
Reddig, Kevin; Wertz, Roland | Conference Paper |
| 2010 | Großflächiges plasmachemisches Ätzen bei Atmosphärendruck
Dani, I.; Lopez, E.; Linaschke, D.; Kaskel, S.; Beyer, E. | Conference Paper |
| 2010 | Separation of wet wafers after sawing
Reddig, Kevin | Journal Article |
| 2009 | Analysis and evaluation of thin-wafer handling methods
Fischmann, Christian; Giesen, Tim; Goh, Dillon; Hoffmeister, Michael; Wertz, Roland | Conference Paper |
| 2009 | Den Mikrorissen auf der Spur
Fulga, Simina; Eigenbrod, Hartmut | Journal Article |
| 2009 | Thin wafer handling methods
Fischmann, Christian; Giesen, Tim; Gao, Steve | Journal Article |
| 2007 | Uniaxially strained silicon by wafer bonding and layer transfer
Himcinschi, C.; Radu, I.; Muster, F.; Singh, R.; Reiche, M.; Petzold, M.; Gösele, U.; Christiansen, S.H. | Conference Paper, Journal Article |
| 2006 | Automatic separation of large and thin wafers
Reddig, K.; Fickert, K.; Jäger, F. | Conference Paper |
| 2005 | Neue Verfahren zum chemisch-mechanischen Reinigen von Einzelwafern für Sub-100-mm-Technologie - CMC Cleaner
: Gentischer, Josef (Projektleiter) | Study |
| 2005 | Online performance measurement for automated material transportation
Sturm, R. | Conference Paper |
| 2004 | Entwicklung einer Auswertesoftware für Daten eines Waferinspektionsgerätes
Granzin, M. | Thesis |
| 2003 | Kalibrierung von integrierten Drucksensoren im Waferverbund
Köster, O.; Slotkowski, J.; Brögger, D. | Journal Article |
| 2003 | On wafer calibration for pressure sensors
Köster, O. | Conference Paper |
| 2003 | Simulation-based evaluation of the ramp-up behavior of waferfabs
Sturm, R.; Dorner, J.; Reddig, K.; Seidelmann, J. | Conference Paper |
| 2002 | Contactless electron mobility evaluation of semi-insulating GaAs and InP wafers
Stibal, R.; Kretzer, U.; Jantz, W. | Conference Paper |
| 2002 | Feinbearbeitung von Präzisionsoberflächen
Klocke, F.; Bresseler, B.; Helbig, J.; Heselhaus, M.; Leifhelm, G.; Pähler, D. | Conference Paper |
| 2002 | Formierung der Elektrolytschicht aus Dispersionen auf porösem Kathodenmaterial. Abschlußbericht
: Otschik, P. | Report |
| 2002 | Formierung der Elektrolytschicht aus Dispersionen auf porösem Kathodenmaterial. Erfolgskontrollbericht
: Otschik, P. | Report |
| 2002 | Hundert Wafer auf einen Streich
Kappler, W. | Journal Article |
| 2002 | Prozesskette zur Waferbearbeitung
Huttenhuis, S.; Pähler, D. | Journal Article |
| 2002 | Simulation von transienten Szenarien an einem automatisierten Wafertransportsystem
Sturm, R.; Reddig, K. | Conference Paper |
| 2002 | Topographic electrical characterization of semi-insulating GaAs, InP and SiC substates
Stibal, R.; Müller, S.; Jantz, W. | Conference Paper |
| 2002 | Trennen von Silizium - Trenntechnologien im Überblick
Klocke, F.; Huttenhuis, S.; Pähler, D. | Journal Article |
| 2001 | Ortsaufgelöste zerstörungsfreie Prüfung der Haftqualität von Silizium-Wafern mit nichtlinearem Ultraschall
Wegner, A. | Dissertation |
| 2001 | Precision machining of future silicon wafers
Klocke, F.; Pähler, D. | Conference Paper |
| 2001 | Precision machining of future silicon wafers. Grinding and slicing techniques for flawless qualities
Klocke, F.; Pähler, D. | Conference Paper |
| 2000 | Effiziente Prozesskette zur Waferfertigung
Klocke, F.; Gerent, O.; Pähler, D. | Journal Article |
| 2000 | Grundlagen der Reinraumtechnik und Personalverhalten - Trends in der reinen Produktion
Gaugel, T. | Conference Paper |
| 2000 | Grundlagen und Anwendungen der Reinraumtechnik
Werner, D. | Conference Paper |
| 2000 | On-wafer-S-Parameter-Meßsystem von 70 bis 230 GHz
Wohlgemuth, O. | Dissertation |
| 2000 | Thermographic Testing Methods with High Temporal and Spatial Resolution
Netzelmann, U.; Walle, G.; Karpen, W.; Meyendorf, N. | Conference Paper |
| 1999 | Advanced WIP Control for Make-to-Order Wafer Fabrication
Sturm, R.; Frauenhoffer, F.; Dorner, J.; Kirschenhofer, O.; Reisinger, T. | Conference Paper |
| 1999 | Grundlagen der Reinraumtechnik und Personalverhalten - Trends in der reinen Produktion
Gaugel, T. | Conference Paper |
| 1999 | Implementing manufacturing strategies for advanced capacity analysis and material handling design in the planning process of a wafer fab
Sturm, R.; Frauenhoffer, F.; Dorner, J.; Kaufmann, T. | Conference Paper |
| 1999 | Simulation Transport und Lagerung
Sturm, R. | Conference Paper |
| 1999 | Simulation von widerstands- und lampenbeheizten Öfen für die Schichtabscheidung
Poscher, S.
: Ryssel, H. (Prüfer) | Dissertation |
| 1999 | Zerstörungsfreie Prüfung der Haftqualität mit Hilfe von nichtlinearem Ultraschall am Beispiel von diffusionsgeschweißten Silizium-Silizium und Silizium-Glas Wafern
Koka, Ashraf | Thesis |
| 1998 | Fabsimulation zur Fertigungssteuerung
Sturm, R.; Frauenhoffer, F.; Treiber, T. | Conference Paper |
| 1998 | Flexibilitätsbewertung einer Waferfertigung
Sturm, R.; Frauenhoffer, F.; Schmalfuß, V.; Mönch, G.; Podewils, M. von | Conference Paper |
| 1998 | Grundlagen der Reinraumtechnik und Personalverhalten - Trends in der reinen Produktion
Gommel, U. | Conference Paper |
| 1997 | Analyse Engine
Montino, R.; Schäfer, K.; Schmelzle, D.; Suntrup, M.; Kumar, A.P. | Conference Paper |
| 1997 | Grundlagen der Reinraumtechnik und Personalverhalten - Trends in der reinen Produktion
Gommel, U. | Conference Paper |
| 1997 | Precision Tin/Lead Alloy Plating for Flip-chip Mounting Technology
Richter, H.; Rueß, K.; Gemmler, A.; Leonhard, W. | Journal Article |
| 1997 | Verfahren zur Konzeption automatischer reinraumtauglicher Fertigungsanlagen und -zellen
Kaun, R. | Dissertation |
| 1997 | Zuverlässigkeitstest auf Waferebene
Dreizner, A.; Lukat, K. | Journal Article |
| 1996 | Hochdruck-Fluidbearbeitung
Henning, A. | Conference Paper |
| 1996 | Precision Tin/Lead Alloy Plating for Flip Chip Technology
Richter, H.; Rueß, K.; Gemmler, A.; Leonhard, W. | Conference Paper |
| 1992 | Information processing in semiconductor manufacturing
| Conference Proceedings |
| 1991 | Handhabungstechnik im Reinraum
Kaun, R. | Conference Paper |
| 1988 | Präzisionsschleifen sprödharter Werkstoffe
Steffens, K.; Struth, W. | Book Article |