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2017 | Verfahren zur automatisierten Handhabung von hochsensiblen Photovoltaik-Substraten aus Flüssigkeiten Giesen, Tim : Verl, Alexander (Hauptberichter); Krüger, Jörg (Mitberichter) | Dissertation |
2016 | Impact of the Firing Temperature Profile on Light Induced Degradation of Multicrystalline Silicon Eberle, R.; Kwapil, W.; Schindler, F.; Schubert, M.C.; Glunz, S.W. | Journal Article |
2016 | Incoming control of silicon wafers - detection and rating of micro-cracks Demant, M.; Welschehold, T.; Oswald, M.; Bartsch, S.; Schönfelder, S.; Rein, S. | Presentation |
2015 | Manufacturing 100-µm-thick silicon solar cells with efficiencies greater than 20% in a pilot production line Terheiden, B.; Ballmann, T.; Horbelt, R.; Schiele, Y.; Seren, S.; Ebser, J.; Hahn, G.; Mertens, V.; Koentopp, M.B.; Scherff, M.; Müller, J.W.; Holman, Z.C.; Descoeudres, A.; Wolf, S. de; Nicolas, S.M. de; Geissbuehler, J.; Ballif, C.; Weber, B.; Saint-Cast, P.; Rauer, M.; Schmiga, C.; Glunz, S.W.; Morrison, D.J.; Devenport, S.; Antonelli, D.; Busto, C.; Grasso, F.; Ferrazza, F.; Tonelli, E.; Oswald, W. | Journal Article |
2015 | Simulationen steigern die Produktivität beim Sägen Vazquez Martinez, Hector | Journal Article |
2015 | Verbundvorhaben: Entwicklung hoch- und kosteneffizienter PV-Si-Wafer (ENOWA). Teilprojekt: Erarbeitung der Grundlagen für einen schädigungsarmen Säge- und Vereinzelungsprozess für Quasi-Mono-Silizium Rist, T.; Lagger, H.; Krappitz, M.; Kübler, R. | Report |
2014 | Gripping-In-Liquid: Significant parameters for the automated handling of ultrathin substrates in cleaning baths Giesen, Tim; Mayer, Pablo; Behtan, Christian; Wertz, Roland | Conference Paper |
2014 | Plasmachemisches Trockenätzen von Solarwafern mit Atmosphärendruck-Plasmen López Alonso, Elena : Beyer, Eckhard (Gutachter); Leyens, Christoph (Gutachter) | Dissertation |
2014 | Verfahren zur Bewertung von Greifern für Photovoltaik-Wafer Fischmann, Christian : Verl, Alexander (Hauptberichter) | Dissertation |
2013 | Advanced gripper development and tests for automated photovoltaic wafer handling Giesen, T.; Bürk, E.; Fischmann, C.; Gauchel, W.; Zindl, M.; Verl, A. | Journal Article |
2013 | Characterization of damage and mechanical strength of wafers and cells during the cell manufacturing process Koepge, R.; Wegert, F.; Thormann, S.; Schoenfelder, S. | Journal Article |
2013 | Development and evaluation of a prototypic automated high precision assembly of ultra-thin miniaturized silicon wafers Mayer, Pablo; Giesen, Tim; Wertz, Roland; Böttinger, Fabian; Verl, Alexander | Conference Paper |
2013 | Gripping-in-liquid: Handling challenges for automated ultra-thin wafer production Giesen, Tim; Mayer, Pablo; Stiels, Daniel; Wertz, Roland; Martini, Roberto; Debucquoy, Maarten; Verl, Alexander | Conference Paper |
2013 | Wafer transport via conveyor belts - influencing parameters and resulting impact Wertz, Roland; Giesen, Tim; Mayer, Pablo; Böttinger, Fabian; Verl, Alexander | Conference Paper |
2012 | Der "Zauberspiegel" als Messprinzip Tobisch, Alexander; Schellenberger, Martin; Pfitzner, Lothar | Journal Article |
2012 | Advanced production challenges for automated ultra-thin wafer handling Giesen, Tim; Wertz, Roland; Fischmann, Christian; Kreck, Guido; Govaerts, Jonathan; Vaes, Jan; Debucquoy, Maarten; Verl, Alexander | Conference Paper |
2012 | Analysis of influences on solar wafers during pick-and-place operations Fischmann, Christian; Giesen, Tim; Wertz, Roland; Böttinger, Fabian; Böffert, Nina; Verl, Alexander | Conference Paper |
2012 | Development and Optimization of Automated Dry-Wafer Separation Giesen, Tim; Fischmann, Christian; Böttinger, Fabian; Ehm, Alexander; Verl, Alexander | Journal Article, Conference Paper |
2012 | Effect of metal-wrap-through holes and etching parameters on the strength of multicrystalline silicon wafers Oswald, M.; Loewenstein, T.; Schubert, G.; Schoenfelder, S. | Conference Paper |
2012 | Influence of bulk and surface properties on measurable steady-state carrier-lifetime Turek, M. | Journal Article, Conference Paper |
2012 | Passive alignment of wafers - design and impact Wertz, Roland; Giesen, Tim; Fischmann, Christian; Konstandin, Marcel; Verl, Alexander | Conference Paper |
2012 | Verfahren zum flüssigkeitsbasierten Vereinzeln kontaminierter Photovoltaikwafer Reddig, Kevin : Verl, Alexander (Hauptberichter) | Dissertation |
2011 | Analyse von Wafer-Greifern in der Photovoltaik-Fertigung Fischmann, Christian | Journal Article |
2011 | Analysis and evaluation of methods for automated wafer handling in high volume manufacturing Fischmann, Christian; Giesen, Tim; Böttinger, Fabian; Wertz, Roland; Ehm, Alexander; Böffert, Nina; Goh, Dillon; Verl, Alexander; Kunz, Mathias | Conference Paper |
2011 | Charakterisierung von Handhabungs-Systemen für die Photovoltaik-Massenfertigung Giesen, Tim | Conference Paper |
2011 | The influence of transport operations on the wafer strength and breakage rate Köpge, Ringo; Schönfelder, Stephan; Giesen, Tim; Fischmann, Christian; Verl, Alexander; Bagdahn, Jörg | Conference Paper |
2011 | Performing experiments in photovoltaic manufacturing using knowledge management technologies Hoffmeister, Michael; Zapp, Matthias | Journal Article |
2011 | Performing experiments in photovoltaic manufacturing using knowledge management technologies Hoffmeister, Michael; Zapp, Matthias | Journal Article |
2010 | Automated handling and transport of crystalline photovoltaic wafers Fischmann, Christian; Giesen, Tim; Böttinger, Fabian; Wertz, Roland; Hoffmeister, Michael | Conference Paper |
2010 | Automated wafer separation using water-jets Reddig, Kevin; Wertz, Roland | Conference Paper |
2010 | Großflächiges plasmachemisches Ätzen bei Atmosphärendruck Dani, I.; Lopez, E.; Linaschke, D.; Kaskel, S.; Beyer, E. | Conference Paper |
2010 | Separation of wet wafers after sawing Reddig, Kevin | Journal Article |
2009 | Analysis and evaluation of thin-wafer handling methods Fischmann, Christian; Giesen, Tim; Goh, Dillon; Hoffmeister, Michael; Wertz, Roland | Conference Paper |
2009 | Den Mikrorissen auf der Spur Fulga, Simina; Eigenbrod, Hartmut | Journal Article |
2009 | Thin wafer handling methods Fischmann, Christian; Giesen, Tim; Gao, Steve | Journal Article |
2007 | Uniaxially strained silicon by wafer bonding and layer transfer Himcinschi, C.; Radu, I.; Muster, F.; Singh, R.; Reiche, M.; Petzold, M.; Gösele, U.; Christiansen, S.H. | Conference Paper, Journal Article |
2006 | Automatic separation of large and thin wafers Reddig, K.; Fickert, K.; Jäger, F. | Conference Paper |
2005 | Neue Verfahren zum chemisch-mechanischen Reinigen von Einzelwafern für Sub-100-mm-Technologie - CMC Cleaner : Gentischer, Josef (Projektleiter) | Study |
2005 | Online performance measurement for automated material transportation Sturm, R. | Conference Paper |
2004 | Entwicklung einer Auswertesoftware für Daten eines Waferinspektionsgerätes Granzin, M. | Thesis |
2003 | Kalibrierung von integrierten Drucksensoren im Waferverbund Köster, O.; Slotkowski, J.; Brögger, D. | Journal Article |
2003 | On wafer calibration for pressure sensors Köster, O. | Conference Paper |
2003 | Simulation-based evaluation of the ramp-up behavior of waferfabs Sturm, R.; Dorner, J.; Reddig, K.; Seidelmann, J. | Conference Paper |
2002 | Contactless electron mobility evaluation of semi-insulating GaAs and InP wafers Stibal, R.; Kretzer, U.; Jantz, W. | Conference Paper |
2002 | Feinbearbeitung von Präzisionsoberflächen Klocke, F.; Bresseler, B.; Helbig, J.; Heselhaus, M.; Leifhelm, G.; Pähler, D. | Conference Paper |
2002 | Formierung der Elektrolytschicht aus Dispersionen auf porösem Kathodenmaterial. Abschlußbericht : Otschik, P. | Report |
2002 | Formierung der Elektrolytschicht aus Dispersionen auf porösem Kathodenmaterial. Erfolgskontrollbericht : Otschik, P. | Report |
2002 | Hundert Wafer auf einen Streich Kappler, W. | Journal Article |
2002 | Prozesskette zur Waferbearbeitung Huttenhuis, S.; Pähler, D. | Journal Article |
2002 | Simulation von transienten Szenarien an einem automatisierten Wafertransportsystem Sturm, R.; Reddig, K. | Conference Paper |
2002 | Topographic electrical characterization of semi-insulating GaAs, InP and SiC substates Stibal, R.; Müller, S.; Jantz, W. | Conference Paper |
2002 | Trennen von Silizium - Trenntechnologien im Überblick Klocke, F.; Huttenhuis, S.; Pähler, D. | Journal Article |
2001 | Ortsaufgelöste zerstörungsfreie Prüfung der Haftqualität von Silizium-Wafern mit nichtlinearem Ultraschall Wegner, A. | Dissertation |
2001 | Precision machining of future silicon wafers Klocke, F.; Pähler, D. | Conference Paper |
2001 | Precision machining of future silicon wafers. Grinding and slicing techniques for flawless qualities Klocke, F.; Pähler, D. | Conference Paper |
2000 | Effiziente Prozesskette zur Waferfertigung Klocke, F.; Gerent, O.; Pähler, D. | Journal Article |
2000 | Grundlagen der Reinraumtechnik und Personalverhalten - Trends in der reinen Produktion Gaugel, T. | Conference Paper |
2000 | Grundlagen und Anwendungen der Reinraumtechnik Werner, D. | Conference Paper |
2000 | On-wafer-S-Parameter-Meßsystem von 70 bis 230 GHz Wohlgemuth, O. | Dissertation |
2000 | Thermographic Testing Methods with High Temporal and Spatial Resolution Netzelmann, U.; Walle, G.; Karpen, W.; Meyendorf, N. | Conference Paper |
1999 | Advanced WIP Control for Make-to-Order Wafer Fabrication Sturm, R.; Frauenhoffer, F.; Dorner, J.; Kirschenhofer, O.; Reisinger, T. | Conference Paper |
1999 | Grundlagen der Reinraumtechnik und Personalverhalten - Trends in der reinen Produktion Gaugel, T. | Conference Paper |
1999 | Implementing manufacturing strategies for advanced capacity analysis and material handling design in the planning process of a wafer fab Sturm, R.; Frauenhoffer, F.; Dorner, J.; Kaufmann, T. | Conference Paper |
1999 | Simulation Transport und Lagerung Sturm, R. | Conference Paper |
1999 | Simulation von widerstands- und lampenbeheizten Öfen für die Schichtabscheidung Poscher, S. : Ryssel, H. (Prüfer) | Dissertation |
1999 | Zerstörungsfreie Prüfung der Haftqualität mit Hilfe von nichtlinearem Ultraschall am Beispiel von diffusionsgeschweißten Silizium-Silizium und Silizium-Glas Wafern Koka, Ashraf | Thesis |
1998 | Fabsimulation zur Fertigungssteuerung Sturm, R.; Frauenhoffer, F.; Treiber, T. | Conference Paper |
1998 | Flexibilitätsbewertung einer Waferfertigung Sturm, R.; Frauenhoffer, F.; Schmalfuß, V.; Mönch, G.; Podewils, M. von | Conference Paper |
1998 | Grundlagen der Reinraumtechnik und Personalverhalten - Trends in der reinen Produktion Gommel, U. | Conference Paper |
1997 | Analyse Engine Montino, R.; Schäfer, K.; Schmelzle, D.; Suntrup, M.; Kumar, A.P. | Conference Paper |
1997 | Grundlagen der Reinraumtechnik und Personalverhalten - Trends in der reinen Produktion Gommel, U. | Conference Paper |
1997 | Precision Tin/Lead Alloy Plating for Flip-chip Mounting Technology Richter, H.; Rueß, K.; Gemmler, A.; Leonhard, W. | Journal Article |
1997 | Verfahren zur Konzeption automatischer reinraumtauglicher Fertigungsanlagen und -zellen Kaun, R. | Dissertation |
1997 | Zuverlässigkeitstest auf Waferebene Dreizner, A.; Lukat, K. | Journal Article |
1996 | Hochdruck-Fluidbearbeitung Henning, A. | Conference Paper |
1996 | Precision Tin/Lead Alloy Plating for Flip Chip Technology Richter, H.; Rueß, K.; Gemmler, A.; Leonhard, W. | Conference Paper |
1992 | Information processing in semiconductor manufacturing | Conference Proceedings |
1991 | Handhabungstechnik im Reinraum Kaun, R. | Conference Paper |
1988 | Präzisionsschleifen sprödharter Werkstoffe Steffens, K.; Struth, W. | Book Article |