Fraunhofer-Gesellschaft

Publica

Hier finden Sie wissenschaftliche Publikationen aus den Fraunhofer-Instituten.
2001Gedünnte ICs für die Chip-in-Polymer-Technologie. Verfahren zur Herstellung dünner Halbleiter-Substrate
Scherbaum, S.; Landesberger, C.; Feil, M.
Conference Paper
2001Interchip Via Technology for Vertical System Integration
Ramm, P.; Bonfert, D.; Gieser, H.; Haufe, J.; Iberl, F.; Klumpp, A.; Kux, A.; Wieland, R.
Conference Paper
2001New process scheme for wafer thinning and stress-free separation of ultra thin ICs
Landesberger, C.; Scherbaum, S.; Schwinn, G.; Spöhrle, H.
Conference Paper