Fraunhofer-Gesellschaft

Publica

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2002MOVPE-based in-situ etching of InP epitaxial heterostructures
Wolfram, P.; Franke, D.; Ebert, W.; Grote, N.
Conference Paper
2000MOVPE-based in situ etching of In(GaAs)P/InP using tertiarybutylchloride
Wolfram, P.; Ebert, W.; Kreissl, J.; Grote, N.
Journal Article