Fraunhofer-Gesellschaft

Publica

Hier finden Sie wissenschaftliche Publikationen aus den Fraunhofer-Instituten.
1992Characterization of metal impurities in silicon-on-insulator material
Frey, L.; Kroninger, F.; Streckfuß, N.; Ryssel, H.
Conference Paper
1991Effect of oxygen on the formation of end-of-range disorder in implantation amorphized silicon
Frey, L.; Khanh, N.Q.; Gyulai, J.; Lorenz, E.
Journal Article