Publica
Hier finden Sie wissenschaftliche Publikationen aus den Fraunhofer-Instituten.
1999
Deposition of SiOx films from O2/HMDSO plasmas
Hegemann, D.; Vohrer, U.; Oehr, C.; Riedel, R.
Journal Article
1999
Influence of single-source precursors on PACVD-derived boron carbonitride thin films
Hegemann, D.; Riedel, R.; Oehr, C.
Journal Article
