Publica
Hier finden Sie wissenschaftliche Publikationen aus den Fraunhofer-Instituten.
2000
Cleaning of silicon and steel surfaces using dielectric barrier discharges
Thyen, R.; Höpfner, K.; Kläke, N.; Klages, C.-P.
Journal Article
1997
Fragen und Antworten zur Plasmafeinreinigung
Vohrer, U.
Journal Article
