Fraunhofer-Gesellschaft

Publica

Hier finden Sie wissenschaftliche Publikationen aus den Fraunhofer-Instituten.
2012Advanced mask aligner lithography (AMALITH)
Völkel, R.; Vogler, U.; Bramati, A.; Weichelt, T.; Stürzebecher, L.; Zeitner, U.D.; Motzek, K.; Erdmann, A.; Hornung, M.; Zoberbier, R.
Conference Paper
2002Enhancements in rigorous simulation of light diffraction from phase-shift masks
Erdmann, A.; Kachwala, N.
Conference Paper
2000Rigorous diffraction analysis for future mask technology
Erdmann, A.; Friedrich, C.
Conference Paper