Fraunhofer-Gesellschaft

Publica

Hier finden Sie wissenschaftliche Publikationen aus den Fraunhofer-Instituten.
2014Präzise Fehlerdetektion mittels Deflektometrie. Beschichtungsfehlern mittels Spiegelung auf die Spur kommen
Heizmann, Michael; Werling, Stefan
Journal Article
2012Verfahren zur Erzeugung dynamischer Wärmemuster für die Anwendung in der Infrarotdeflektomtrie
Höfer, S.; Werling, Stefan; Beyerer, Jürgen
Conference Paper
2009Trockenätzen von Solarwafern mit Oberflächenstrukturen im sub-Mikrometer Bereich
Dani, I.; Lopez, E.; Linaschke, D.; Kaskel, S.; Beyer, E.
Conference Paper
2008Materialbearbeitung hoch reflektiver Werkstoffe
Herwig, P.
Journal Article
2007Deflektometrie zur Ebenheitsbestimmung. Anwendung der Streifenreflexion zur Waferinspektion
Schmitt, R.; Köllmann, D.; Herben, M.
Conference Paper