Publica
Hier finden Sie wissenschaftliche Publikationen aus den Fraunhofer-Instituten. | | |
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| 2002 | Hundert Wafer auf einen Streich
Kappler, W. | Journal Article |
| 2002 | Prozesskette zur Waferbearbeitung
Huttenhuis, S.; Pähler, D. | Journal Article |
| 2002 | Trennen von Silizium - Trenntechnologien im Überblick
Klocke, F.; Huttenhuis, S.; Pähler, D. | Journal Article |
| 2001 | Precision machining of future silicon wafers
Klocke, F.; Pähler, D. | Conference Paper |
| 2001 | Precision machining of future silicon wafers. Grinding and slicing techniques for flawless qualities
Klocke, F.; Pähler, D. | Conference Paper |