Fraunhofer-Gesellschaft

Publica

Hier finden Sie wissenschaftliche Publikationen aus den Fraunhofer-Instituten.
1993Diamond membranes with controlled stress for submicron lithography
Bluhm, A.; Löchel, B.; Buchmann, L.-M.; Huber, H.-L.; Klages, C.-P.; Schäfer, L.
Journal Article, Conference Paper
1992Verbundprojekt - Diamantbeschichtung komplexer Geometrien. Teilvorhaben - Hochskalierung des Heißdraht-CVD-Prozesses zur Diamantabscheidung
Bluhm, A.; Sattler, M.; Six, R.; Klages, C.-P.; Schäfer, L.
Conference Paper
1991In-situ measuring of stress development in diamond thin films
Schäfer, L.; Jiang, X.; Klages, C.-P.
Conference Paper