Fraunhofer-Gesellschaft

Publica

Hier finden Sie wissenschaftliche Publikationen aus den Fraunhofer-Instituten.
2016In situ bow change of Al-alloy MEMS micromirrors during 248-nm laser irradiation
Mai, Alexander; Bunce, Christopher; Hübner, René; Pahner, Daniel; Dauderstädt, Ulrike
Journal Article
2004Designing MEMS for manufacturing
Wolter, A.; Herrmann, A.; Yildiz, G.; Schenk, H.; Lakner, H.
Conference Paper
2001Active-matrix addressed micromirror array for wavefront correction in adaptive optics
Gehner, A.; Doleschal, W.; Elgner, A.; Kauert, R.; Kunze, D.; Wildenhain, M.
Conference Paper
2001Untersuchungen zu einem hochauflösenden Flächenlichtmodulator mit einstellbarem Profil einer Flüssigkeitsoberfläche zur optischen Musterwiedergabe
Wolter, A.
Dissertation