Fraunhofer-Gesellschaft

Publica

Hier finden Sie wissenschaftliche Publikationen aus den Fraunhofer-Instituten.
2014Deeper insight with MEMS based illumination
Skupsch, Christoph; Heber, Jörg; Berndt, Dirk; Wagner, Michael; Rückerl, Florian; Tinevez, Jean-Yves; Shorte, Spencer
Presentation
2011In situ surface topography measurement of MOEMS structures under laser exposure
Mai, A.; Krellmann, M.; Sinning, S.; Wolschke, S.; Dauderstädt, U.; Schenk, H.; Schmeißer, D.; Wagner, M.
Conference Paper
2007Contrast properties of spatial light modulators for microlithography
Heber, J.; Kunze, D.; Dürr, P.; Rudloff, D.; Wagner, M.; Björnängen, P.; Luberek, J.; Berzinsh, U.; Sandström, T.; Karlin, T.
Conference Paper