Fraunhofer-Gesellschaft

Publica

Hier finden Sie wissenschaftliche Publikationen aus den Fraunhofer-Instituten.
2002Strength and long-term reliability testing of wafer-bonded MEMS
Petzold, M.; Katzer, D.; Wiemer, M.; Bagdahn, J.
Conference Paper
2000Investigation of bonding behaviour of different borosilicate glasses
Wiemer, M; Hiller, K.; Gessner, T.; Kloss, T.; Schneider, K.; Leipold-Haas, U.; Bagdahn, J.; Petzold, M.
Conference Paper