Fraunhofer-Gesellschaft

Publica

Hier finden Sie wissenschaftliche Publikationen aus den Fraunhofer-Instituten.
1996CCl4-assisted CF4 etching of silicon in a microwave-assisted LDE(laser dry etching)-process
Pfleging, W.; Wesner, D.A.; Kreutz, E.W.
Journal Article
1995Patterning of Si(100) in microwave assisted LDE (Laser dry etching)
Pfleging, W.; Wehner, M.; Lupp, F.; Kreutz, E.W.
Conference Paper