Fraunhofer-Gesellschaft

Publica

Hier finden Sie wissenschaftliche Publikationen aus den Fraunhofer-Instituten.
1995Monolithisch integrierter Drucksensor mit Ausleseelektronik
Schmidt, M.; Dudaicevs, H.; Machul, O.; Manoli, Y.; Mokwa, W.; Spiegel, E.
Conference Paper
1995Readout electronics for wide temperature range with integrated surface micromachined capacitive pressure sensor
Schmidt, M.; Spiegel, E.; Dudaicevs, H.; Manoli, Y.; Mokwa, W.
Conference Paper
1992Ein hochlinearer kapazitiver Drucksensor
Benzel, H.W.; Kallfaß, T.; Lüder, E.; Schnatz, F.V.
Conference Paper
1992Kapazitiver Siliziumdrucksensor mit on-chip CMOS-Signalverarbeitung
Mehlhorn, T.; Benzel, H.W.; Kopystynski, P.; Obermeier, E.; Schnatz, F.V.; Schöneberg, U.
Conference Paper