Publica
Hier finden Sie wissenschaftliche Publikationen aus den Fraunhofer-Instituten.
2009
The importance of non-local shadowing for the topography evolution of a-C:H films grown by toluene based plasma enhanced chemical vapor deposition
Hormann, C.; Meier, S.; Moseler, M.
Journal Article
2007
Atmospheric-pressure plasmas for wide-area thin-film deposition and etching
Hopfe, V.; Sheel, D.W.
Journal Article
2000
Oberflächenbehandlung von Polymeren mit Niederdruckplasmen
Oehr, C.; Brunner, H.
Journal Article
1991
Ion and electron dynamics in the sheath of radio-frequency glow discharges.
Koidl, P.; Wild, C.
Journal Article
