Fraunhofer-Gesellschaft

Publica

Hier finden Sie wissenschaftliche Publikationen aus den Fraunhofer-Instituten.
2008Simulation of relevant process variables for electrochemical etching
Neugebauer, Reimund; Knüpfer, H.; Wolf, K.; Roscher, H.-J.
Conference Paper
1994Preparation and characterization of ultrathin crystalline silicon membranes
Schmidt, B.; Borany, J. von; Todt, U.; Erlebach, A.
Journal Article
1993Preparation and characterization of ultrathin crystalline silicon membranes.
Schmidt, B.; Borany, J. von; Todt, U.; Erlebach, A.
Conference Paper
1988Untersuchung des nichtlinearen Verhaltens piezoresistiver Niederdrucksensoren auf der Basis von Silizium
Sandmaier, H.
Dissertation