Fraunhofer-Gesellschaft

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Hier finden Sie wissenschaftliche Publikationen aus den Fraunhofer-Instituten.
2015Nachbearbeitung von teilgetrennten Bauelementen in der Halbleitertechnik
Lewke, Dirk; Schellenberger, Martin
Study
2012Thermal laser separation and its applications
Lewke, Dirk; Koitzsch, Matthias; Schellenberger, Martin; Pfitzner, Lothar; Ryssel, Heiner; Zühlke, Hans-Ulrich
Journal Article
2007Investigations of the influence of dicing techniques on the strength properties of thin silicon
Schönfelder, S.; Ebert, M.; Landesberger, C.; Bock, K.; Bagdahn, J.
Journal Article
2005Investigations of strength properties of ultra-thin silicon
Schönfelder, S.; Bagdahn, J.; Ebert, M.; Petzold, M.; Bock, K.; Landesberger, C.
Conference Paper
2003Ultra thin ICs and MEMS elements. Techniques for wafer thinning, stress-free separation, assembly and interconnection
Feil, M.; Adler, C.; Klink, G.; König, M.; Landesberger, C.; Scherbaum, S.; Schwinn, G.; Spöhrle, H.
Journal Article
2001Gedünnte ICs für die Chip-in-Polymer-Technologie. Verfahren zur Herstellung dünner Halbleiter-Substrate
Scherbaum, S.; Landesberger, C.; Feil, M.
Conference Paper
2001New dicing and thinning concept improves mechanical reliability of ultra thin silicon
Landesberger, C.; Klink, G.; Schwinn, R.; Aschenbrenner, R.
Conference Paper
2001New process scheme for wafer thinning and stress-free separation of ultra thin ICs
Landesberger, C.; Scherbaum, S.; Schwinn, G.; Spöhrle, H.
Conference Paper