Fraunhofer-Gesellschaft

Publica

Hier finden Sie wissenschaftliche Publikationen aus den Fraunhofer-Instituten.
2002Reliability of thinned silicon ICs
Landesberger, C.; Bollmann, D.; Klink, G.; Bock, H.; Reichl, H.
Conference Paper
1995Gitterdeformation in Silicium nach Implantationen von Phosphor
Remmler, M.; Frey, L.; Ryssel, H.
Conference Paper
1995Strain profiles in phosphorus implanted /100/-silicon
Remmler, M.; Frey, L.; Horvath, Z.E.; Ryssel, H.
Conference Paper