Fraunhofer-Gesellschaft

Publica

Hier finden Sie wissenschaftliche Publikationen aus den Fraunhofer-Instituten.
2001Integrated metrology. An enabler for advanced process control (APC)
Schneider, C.; Pfitzner, L.; Ryssel, H.
Conference Paper
2000Modular Production System for Microtechnology
Walk, H.; Bader, U.
Conference Paper
1999Characterization of oxide etching and wafer cleaning using vapor phase anhydrous hydrofluoric acid and ozone
Bauer, A.J.; Froeschle, B.; Beichele, M.; Ryssel, H.
Conference Paper
1999Modulares Fertigungssystem
Bader, U.; Schließer, J.; Weinmann, A.; Schwertschlager, O.
Journal Article
1999Novel process control strategies for 300 mm semiconductor production
Pfitzner, L.; Oechsner, R.; Schneider, C.; Ryssel, H.; Riemer, M.; Podewils, M. von
Journal Article
1999Prozess 2000 - Modulares Fertigungssystem in der Mikrotechnik
Bader, U.; Schließer, J.; Weinmann, A.
Journal Article
1999Standardisierungslösungen für ein modulares Fertigungssystem in der Mikrotechnik
Bader, U.; Schließer, J.; Hägele, K.-D.; Weinmann, A.
Journal Article
1997Cluster - Fertigungskonzept
Schäfer, W.; Grimme, R.
Book Article
1997Integrated process control for cluster tools using an in-line analytical module
Kasko, I.; Oechsner, R.; Froeschle, B.; Schneider, C.; Pfitzner, L.; Ryssel, H.
Conference Paper
1997A novel XPS system for integration into advanced semiconductor equipment for in-line process control
Kasko, I.; Oechsner, R.; Schneider, C.; Pfitzner, L.; Ryssel, H.; Trubitsyn, A.A.; Kratenko, V.I.
Conference Paper
1997Tools zur Zellenautomatisierung
Bruckdorfer, T.; Luhn, G.; Bauer, T.; Bader, K.; Suntrup, M.; Friedrich, W.; Podewils, M. von
Conference Paper
1993Materialfluß bei Clustertools
Bader, U.
Conference Paper
1990New manufacturing concepts for the production of integrated circuits
Warnecke, H.-J.; Frühauf, W.; Schmutz, W.
Conference Paper