Fraunhofer-Gesellschaft

Publica

Hier finden Sie wissenschaftliche Publikationen aus den Fraunhofer-Instituten.
2000A Computationally Efficient Method for Three-Dimensional Simulation of Ion Implantation
Burenkov, A.; Tietzel, K.; Hössinger, A.; Lorenz, J.; Ryssel, H.; Selberherr, S.
Journal Article
1995Mehr-Ebenen-Simulation automatisierungstechnischer Prozesse und Steuerungen
Donath, U.; Haufe, J.; Schwarz, P.
Conference Paper