Fraunhofer-Gesellschaft

Publica

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2006Process stabilisation for large area reactive MF-sputtering of Al-doped ZnO
Ruske, F.; Pflug, A.; Sittinger, V.; Werner, W.; Szyszka, B.
Journal Article
2006ZnO:Al films deposited by in-line reactive AC magnetron sputtering for a-Si:H thin film solar cells
Sittinger, V.; Ruske, F.; Werner, W.; Szyszka, B.; Rech, B.; Hüpkes, J.; Schöpe, G.; Stiebig, H.
Journal Article