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| 2009 | Deposition of PZT thin films on copper-coated polymer foils - challenges and perspectives
Suchaneck, G.; Hubicka, Z.; Dejneka, A.; Guenther, M.; Günther, S.; Meyer, B.; Jastrabik, L.; Gerlach, G.; Schultheiß, E. | Journal Article, Conference Paper |
| 2009 | Plasmaaktive Bedampfung - ein Hochrateverfahren zur Erzeugung funktioneller Oberflächen mit excellenter Schichtqualität
Metzner, C.; Schultheiß, E. | Journal Article |
| 2008 | Magnetron-PECVD als neuartiger Beschichtungsprozess zur Herstellung von SiO(x)C(y)-Schichten auf flexiblen Substraten
Fahlteich, J.; Fahland, M.; Schönberger, W.; Meyer, B.; Vogt, T.; Schiller, N. | Conference Paper |
| 2006 | New coating systems for steel strips by physical vapor deposition
Scheffel, B.; Metzner, C.; Rögner, F.-H. | Conference Paper |
| 2006 | Nutzung des Pulsmodus als technologischer Parameter beim reaktiven Puls Magnetron Sputtern
Frach, P.; Bartzsch, H.; Glöß, D.; Kirchhoff, V. | Conference Paper |
| 2006 | Plasmagestützte Verfahren zur Vorbehandlung metallischer Platten und Bänder
Händel, F.; Rögner, F.-H.; Heinß, J.-P.; Morgner, H.; Metzner, C. | Conference Paper |
| 2006 | Spotless arc activated reactive large area EB-PVD of titanium oxide and titanium nitride
Steuer, C.; Reinhold, E.; Scheffel, B.; Metzner, C. | Conference Paper |
| 2005 | Analyse und Modellierung der Einwirkung gepulster Plasmen auf Oberflächen. Teilvorhaben: Grundlegende Untersuchung der Zusammenhänge zwischen Plasmaparametern und Schichteigenschaften beim MF-Puls-Magnetronsputtern
Richter, F.; Bräuer, G.; Möller, W. | Research Report |
| 2005 | Innovative stationary sputter technologies for precision optical and antireflection coatings
Bartzsch, H.; Frach, P.; Hentsch, W. | Conference Paper |
| 2005 | Plasma enhanced CVD process using a dual magnetron as plasma source
Charton, C.; Fahland, M.; Schiller, N. | Conference Paper |
| 2004 | Pulse magnetron sputtering in a reactive gas mixture of variable composition to manufacture multilayer and gradient optical coatings
Lange, S.; Bartzsch, H.; Frach, P.; Goedicke, K. | Conference Paper |
| 2004 | PVD coating of metallic sheets and strips
Metzner, C.; Rögner, F.-H.; Heinß, J.-P.; Scheffel, B. | Journal Article |
| 2004 | PVD-Beschichtung metallischer Platten und Bänder
Metzner, C.; Rögner, F.-H.; Heinß, J.-P.; Scheffel, B. | Conference Paper |
| 1995 | Ultrasonic transducer with silicon membrane for liquid nebulization
Paneva, R.; Temmel, G. | Conference Paper |
| 1987 | Enhanced endurance life of sputtered MoSX filsm on steel by ion beam mixing.
Kobs, H.; Dimigen, H.; Hübsch, H.; Tolle, H.J.; Leutenbecker, R.; Ryssel, H. | Journal Article |