Fraunhofer-Gesellschaft

Publica

Hier finden Sie wissenschaftliche Publikationen aus den Fraunhofer-Instituten.
2020Einsatz von Polyelektrolyt-Multischichten für das temporäre Waferbonden
Dillmann, Helena
: Klages, C.-P.; Garnweitner, G.
Dissertation
2005Konzepte für die Sicherung von Festigkeit und Zuverlässigkeit von Komponenten der Siliziummikromechanik
Bagdahn, J.; Petzold, M.
Conference Paper