Fraunhofer-Gesellschaft

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Hier finden Sie wissenschaftliche Publikationen aus den Fraunhofer-Instituten.
2009Rotationsschleifen von Saphirwafern
Klocke, F.; Dambon, O.; Herben, M.; Wilbert, A.
Journal Article
2008Plasma enhanced CVD and plasma chemical etching at atmospheric pressure for continuous processing of crystallien silicon solar wafers
Lopez, E.; Dresler, B.; Mäder, G.; Dani, I.; Hopfe, V.; Kaskel, S.; Heintze, M.; Möller, R.; Wanka, H.; Kirschmann, M.; Frenck, J.; Poruba, A.; Barinka, R.; Dahl, R.; Nussbaumer, H.
Conference Paper
2007Chemical mechanical planarization (CMP) metrology for 45/32 nm technology generations
Nutsch, A.; Pfitzner, L.
Conference Paper
2007Deflektometrie zur Ebenheitsbestimmung. Anwendung der Streifenreflexion zur Waferinspektion
Schmitt, R.; Köllmann, D.; Herben, M.
Conference Paper
2007Nano-Raman: Monitoring nanoscale stress
Uhlig, B.; Zollondz, J.-H.; Haberjahn, M.; Bloess, H.; Kücher, P.
Conference Paper
2007Wirtschaftlicher Solarstrom - Atmosphärendruck-Plasmaverfahren in der Photovoltaik
Dani, I.; Dresler, B.; Lopez, E.; Hopfe, V.
Journal Article
2006Piezocomposite materials for smart system applications
Daue, T.; Schönecker, A.; Wilkie, W.K.
Conference Paper
2006Plasma etching at atmospheric pressure for rear emitter removal in crystalline Si solar cells
Lopez, E.; Dani, I.; Hopfe, V.; Heintze, M.; Hauser, A.; Möller, R.; Wanka, H.
Conference Paper
2006Wafer-level fabrication of microring resonators using adhesive wafer bonding
Dragoi, V.; Mittendorfer, G.; Thanner, C.; Lindner, P.; Alexe, M.; Pintilie, L.; Hamacher, M.; Heidrich, H.
Conference Paper