Fraunhofer-Gesellschaft

Publica

Hier finden Sie wissenschaftliche Publikationen aus den Fraunhofer-Instituten.
2007PECVD and plasma etching at atmospheric pressure by means of a linearly-extended DC arc plasma source
Dani, I.; Hopfe, V.; Rogler, D.; Lopez, E.; Mäder, G.
Journal Article
1991Verfahrensentwicklung zum definierten Formabtrag mit Laserstrahlung
Lässiger, B.; Treusch, H.G.; Abels, P.; Nöldechen, W.; Petring, D.; Beyer, E.
Conference Paper