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Hier finden Sie wissenschaftliche Publikationen aus den Fraunhofer-Instituten.
2017Prüfverfahren Teil 2: Filtration und Analyse
Rochowicz, Markus
Conference Paper
2017Prüfverfahren Teil 2: Filtration und Analyse
Rochowicz, Markus
Conference Paper
2017Prüfverfahren Teil 2: Filtration und Analyse
Rochowicz, Markus
Conference Paper
2017Qualifikation und Blindwert
Rochowicz, Markus
Conference Paper
2017Qualifikation und Blindwert
Rochowicz, Markus
Conference Paper
2017Qualifizierung und Blindwert
Rochowicz, Markus
Conference Paper
2016Logistik und Produkthandhabung im Reinraum
Boos, Stefan
Conference Paper
2016Logistik und Produkthandhabung im Reinraum
Brag, Patrick
Conference Paper
2016Prüfverfahren Teil 2: Filtration und Analyse
Rochowicz, Markus
Conference Paper
2016Prüfverfahren Teil 2: Filtration und Analyse
Rochowicz, Markus
Conference Paper
2016Prüfverfahren Teil 2: Filtration und Analyse
Rochowicz, Markus
Conference Paper
2016Prüfverfahren Teil 2: Filtration und Analyse
Rochowicz, Markus
Conference Paper
2016Qualifikation und Blindwert
Rochowicz, Markus
Conference Paper
2016Qualifikation und Blindwert
Rochowicz, Markus
Conference Paper
2016Qualifikation und Blindwert
Rochowicz, Markus
Conference Paper
2016Qualifikation und Blindwert
Rochowicz, Markus
Conference Paper
2015Logistik und Produkthandhabung im Reinraum
Boos, Stefan
Conference Paper
2015Prüfverfahren Teil 2: Filtration und Analyse
Rochowicz, Markus
Conference Paper
2015Prüfverfahren Teil 2: Filtration und Analyse
Rochowicz, Markus
Conference Paper
2015Prüfverfahren Teil 2: Filtration und Analyse
Rochowicz, Markus
Conference Paper
2015Qualifikation und Blindwert
Rochowicz, Markus
Conference Paper
2015Qualifikation und Blindwert
Rochowicz, Markus
Conference Paper
2015Qualifikation und Blindwert
Rochowicz, Markus
Conference Paper
2014Filtration und Analyse
Rochowicz, Markus; Holzapfel, Yvonne; Kreck, Guido
Conference Paper
2014Logistik und Produkthandhabung im Reinraum
Boos, Stefan
Conference Paper
2014Prüfverfahren Teil 2: Analyse - Verfahren und Auswahl
Brag, Patrick
Conference Paper
2014Prüfverfahren Teil 2: Analyse - Verfahren und Auswahl
Brag, Patrick
Conference Paper
2014Prüfverfahren Teil 2: Analyse - Verfahren und Auswahl
Brag, Patrick
Conference Paper
2014Prüfverfahren Teil 2: Filtration und Analyse
Rochowicz, Markus
Conference Paper
2014Prüfverfahren Teil 2: Filtration und Analyse
Rochowicz, Markus
Conference Paper
2014Qualifikation und Blindwert
Rochowicz, Markus
Conference Paper
2014Qualifikation und Blindwert
Rochowicz, Markus
Conference Paper
2013Organische Kontaminationen auf Oberflächen und in der Reinraumluft - Hintergründe, Messverfahren und Ergebnisse
Keller, Markus; Gommel, Udo
Conference Paper
2012Reinheitsspezifikationen der Halbleiterindustrie an Werkstoffen
Gommel, Udo
Presentation
2011Cleanroom suitability of materials and equipments
Gommel, Udo
Conference Paper
2011Contamination control during substrate handling
Bürger, Frank
Conference Paper
2011Folgen von Sauberkeitsvorgaben für die Weiterverarbeitung
Schmauz, Günther
Conference Paper
2011Foreign particle characterisation of parenteral drug product solutions using scanning electron spectroscopy combined with energy dispersive x-ray spectroscopy
Keller, Markus; Lischka, Kai; Posset, Tobias
Journal Article
2011Logistik und Produkthandhabung im Reinraum
Schmauz, Günther
Conference Paper
2011NANODEVICE - Measurement novel concepts, methods and technologies for the production of portable, easy-to-use devices for the measurement and analysis of airborne engineered nanoparticles in workplace air
Keller, Markus; Sitviö, Sari; Savolainen, Kai
Poster
2011NANODEVICE. Measurement novel concepts, methods and technologies for the production of portable, easy-to-use devices for the measurement and analysis of airborne engineered nanoparticles in workplace air
Keller, Markus; Sirviö, Sari; Savolainen, Kai
Poster
2011Nur keine Angst! Reinheitskontrolle von Einmalspritzen
Keller, Markus
Journal Article
2011Partikel in der Falle
Walter, Johannes; Frosch, Stefan; Rochowicz, Markus; Ernst, Christian
Journal Article
2011Partikelemission, chemische Resistenz und Reinigbarkeit von Werkstoffen
Gommel, Udo
Presentation
2011Reinigung - die große Unbekannte
Rochowicz, Markus
Journal Article
2011Wie gut lässt sich eine Oberfläche reinigen?
Waldner, Alina; Keller, Markus
Journal Article
2011Zehn Jahre Technische Sauberkeit: Steile Karriere einer Qualitätsgröße
Rochowicz, Markus
Journal Article
2010Filterzentrifuge zur gravimetrischen Analyse von Partikeln in Suspensionen
Rochowicz, Markus
Dissertation
2010Folgen von Sauberkeitsvorgaben für die Weiterverarbeitung
Schmauz, Günther
Conference Paper
2010Logistik und Produkthandhabung im Reinraum
Schmauz, Günther
Conference Paper
2010Particle detection in the barrier layer production
Bürger, Frank
Presentation
2010Reinraumtaugliche Materialien
Keller, Markus; Gommel, Udo
Conference Paper
2010Verfahren zur Klassifizierung von Partikeln in der Automobilindustrie mittels Luminiszenzspektroskopie
Schmauz, Günther
Dissertation
2009Design von Equipment im reinen und hygienischen Bereich
Bürger, Frank; Schweizer, Marion
Book Article
2009Reines Equipment. Mit Strömungssimulation Kontaminationsquellen vermeiden
Bürger, Frank
Journal Article
2008Material Design - Neueste FuE-Untersuchungen hinsichtlich minimaler Ausgasung und Partikelkontamination
Gommel, Udo
Conference Paper
2008Praxisnahe Filter-Prüfverfahren - Machbarkeitsstudie
Ernst, Christian; Gröning, Martin
Conference Paper
2008Qualitätsstandards der Automobilindustrie mit VDA-Band 19 transparent umsetzbar
Isenburg, Thomas; Ernst, Christian; Rochowicz, Markus; Schmauz, Günther
Journal Article
2008Reinraumtauglichkeit von Werkstoffen
Keller, Markus
Conference Paper
2007Partikelschmutz trotz sauberer Bauteile
Rochowicz, Markus; Ernst, Christian
Journal Article
2007Reinraumtauglichkeit von Werkstoffen
Gommel, Udo
Conference Paper
2007Werkstoffe für den Einsatz in reinen Bereichen
Westkämper, Engelbert; Smolinski, Dirk; Kreck, Guido; Gommel, Udo
Journal Article
2006Abscheiden von Chromschichten unter Zusatz von nanoskaligen Dispergenden mit dem Ziel, die Stromausbeute zu steigern
: Metzner, M.; Romankiewicz, K.
Report
2006Messtechniken in der Reinraumluft zur Abnahme von Reinräumen
Grimme, R.
Conference Paper
2006Messtechniken in der Reinraumluft zur Abnahme von Reinräumen
Bürger, F.
Conference Paper
2006On-line monitoring and identification of bioaerosols
Rösch, P.; Harz, M.; Peschke, K.-D.; Ronneberger, O.; Burkhardt, H.; Schüle, A.; Schmauz, G.; Lankers, M.; Hofer, S.; Thiele, H.; Motzkus, H.-W.; Popp, J.
Journal Article
2006Reinraumtauglichkeit von Werkstoffen
Gommel, U.
Conference Paper
2006Reinraumtauglichkeit von Werkstoffen
Gommel, U.
Conference Paper
2005Messtechniken in der Reinraumluft zur Abnahme von Reinräumen
Grimme, R.
Conference Paper
2005Reinraumtauglichkeit von Werkstoffen
Gommel, U.
Conference Paper
2005Schlussbericht zum Teilvorhaben Online-Monitoring der Biokontamination von Oberflächen
: Schüle, Andreas (Teilprojektleiter)
Report
2004Anwendungen in der Praxis - Abnahme von Reinräumen nach VDI-Richtlinie 2083 Blatt 3
Rapp, A.
Conference Paper
2004KombiSens: Ein Sensorsystem zur Detektion von partikulären und filmischen Kontaminationen auf technischen Oberflächen
: Wegener, K.; Grimme, R.; Schmauz, G.; Meng, C.R.; Wiedenhöfer, M.; Dorndorf, M.; Phan, M.; Gorski, W.; Haist, T.; Tiziani, H.
Report
2004Partikelmessung in Reinstmedien
Schmauz, G.
Conference Paper
2003Messtechniken in der Reinraumluft zur Abnahme von Reinräumen
Rapp, A.
Conference Paper
2003On the simulation of space charge in electrostatic powder coating with a corona spray gun
Ye, Q.; Domnick, J.
Journal Article
2003Partikelmessung in Reinstmedien
Schmauz, G.
Conference Paper
2002Materialien zur Verwendung unter reinen Bedingungen
Gommel, U.
Conference Paper
2002Messtechniken in der Reinraumluft zur Abnahme von Reinräumen
Schließer, J.
Conference Paper
2002Partikelmessung in Reinstmedien
Matuscheck, P.
Conference Paper
2001Messtechniken in der Reinraumluft zur Abnahme von Reinräumen
Schließer, J.
Conference Paper
2001Partikelmessung in Reinstmedien
Matuscheck, P.
Conference Paper
2000Grundlagen der Reinraumtechnik und Personalverhalten - Trends in der reinen Produktion
Gaugel, T.
Conference Paper
2000Messtechniken in der Reinraumluft zur Abnahme von Reinräumen
Schließer, J.
Conference Paper
2000Partikel werden sichtbar: Kleine Kontaminationen vor der Beschichtung erkennen
Grimme, R.; Rochowicz, M.
Journal Article
2000Partikelmessung in Reinstmedien
Matuscheck, P.
Conference Paper
2000Teilchenbahnberechnung zur Simulation von elektrostatischen Lackiervorgängen mit Hochrotationszerstäubern
Scheibe, A.
Dissertation
2000Überwachung der Oberflächenreinheit von Bauteilen und Einrichtungen im reinen Umfeld
Grimme, R.; Rochowicz, M.
Conference Paper
1999"Alles unter Kontrolle" - Neue Wege zur sicheren Prozeßführung bei der Pulverlackierung
Domnick, J.; Cudazzo, M.; Pulli, K.; Steigleder, T.; Strohbeck, U.
Conference Paper
1999Angepasste Reinheitstechnik in der Elektronikfertigung
Matuscheck, P.; Gaugel, T.; Schließer, J.; Schäfer, W.
Journal Article
1999Bioaerosole - Monitoring mit einem neuartigen Partikelzähler
Schüle, A.; Kölblin, R.; Grimme, R.; Trick, I.
Journal Article
1999Grundlagen der Reinraumtechnik und Personalverhalten - Trends in der reinen Produktion
Gaugel, T.
Conference Paper
1999Meßeinrichtung zur direkten Unterscheidung von luftgetragenen biotischen und abiotischen Partikeln
Kölblin, R.
Dissertation
1999Meßtechnik im Reinraum
Ernst, C.
Conference Paper
1999Meßtechniken in der Reinraumluft zur Abnahme von Reinräumen
Schließer, J.
Conference Paper
1999Oberflächen-Partikelmeßtechnik
Grimme, R.; Rochowicz, M.
Conference Paper
1999Partikelmessung in Druckgasen (Versuch 6)
Matuscheck, P.; Werner, D.
Conference Paper
1999Partikelmessung in Flüssigkeiten (Versuch 5)
Ernst, C.
Conference Paper
1999Partikelmessung in Reinstmedien
Matuscheck, P.
Conference Paper
1999Qualification of Materials, Components and Systems - Qualification of Fluidhandling Objects
Ernst, C.; Werner, D.
Conference Paper
1999Strömung und Verhalten im Reinraum (Versuch 7)
Gaugel, T.
Conference Paper
1999Vorhersage der Schichtdicke und des Auftragswirkungsgrades bei der Pulverbeschichtung
Domnick, J.
Conference Paper
1998Cleaning with Carbon Dioxide Snow Inspection of a Cleaning Method
Westkämper, E.; Schüle, A.; Werner, D.
Conference Paper
1998Fertigungstechnik im Reinraum. Meßtechnisches Praktikum '98
 
Conference Proceedings
1998Fundamental Principles of Cleanrooms Technology
Dorner, J.
Conference Paper
1998Grundlagen der Reinraumtechnik und Personalverhalten - Trends in der reinen Produktion
Gommel, U.
Conference Paper
1998Grundlagenuntersuchungen für die Entwicklung neuer Pulverzerstäuber
Domnick, J.; Steigleder, T.
Conference Paper
1998Measuring Techniques in Cleanrooms
Schließer, J.
Conference Paper
1998Meßtechnik im Reinraum
Ernst, C.
Conference Paper
1998Meßtechniken in der Reinraumluft zur Abnahme von Reinräumen
Schließer, J.
Conference Paper
1998Partikelmessung in Reinstmedien
Ernst, C.
Conference Paper
1998Qualification of Products for Equipping Cleanrooms
Gommel, U.
Conference Paper
1998Qualification of Products for Equipping Cleanrooms
Dorner, J.
Conference Paper
1997Analyse Engine
Montino, R.; Schäfer, K.; Schmelzle, D.; Suntrup, M.; Kumar, A.P.
Conference Paper
1997Fertigungstechnik im Reinraum. Meßtechnisches Praktikum '97
 
Conference Proceedings
1997Grundlagen der Reinraumtechnik und Personalverhalten - Trends in der reinen Produktion
Gommel, U.
Conference Paper
1997Meßtechniken in der Reinraumluft zur Abnahme von Reinräumen
Schließer, J.
Conference Paper
1997Meßverfahren zur Überwachung der Umgebungsluft hinsichtlich biotischer und abiotischer partikulärer Kontaminationen
Kölblin, R.
Conference Paper
1997Meßverfahren zur Überwachung der Umgebungsluft hinsichtlich mikrobiologischer Belastungen
Kölblin, R.
Conference Paper
1997On-Line Measurement of Powder Size and Velocity in the Water Atomization Process
Raimann, J.; Brenn, G.; Correia, J.B.; Shohoji, N.; Domnick, J.
Conference Paper
1997Partikelmeßdatenverarbeitung
Naffin, F.
Conference Paper
1997Partikelmessung in Reinstmedien
Ernst, C.
Conference Paper
1996Design Methods and Recommended Practices for Developing a Minienvironment System
Schließer, J.; Klumpp, B.
Conference Paper
1996Fertigungstechnik im Reinraum. Meßtechnisches Praktikum '96
 
Conference Proceedings
1996Grundlagen der Streulichtpartikelmessung
Ernst, C.
Conference Paper
1996Optimization of Ultraclean Gas Supply Systems
Dorner, J.
Conference Paper
1996Particle measurements in turbulent flow areas as as part of investigations at cleanroom equipment
Kahlden, T. von
Conference Paper
1996Partikelmessung in der Luft und Abnahmemessung von Reinräumen
Grimme, R.; Kaufmann, T.S.
Conference Paper
1996Partikelmessung in Flüssigkeiten
Ernst, C.
Conference Paper
1996Reinigung von Mikrosystemen und Mikrokomponenten
Grimme, R.; Schwaab, G.; Schäfer, W.
Conference Paper
1995Fertigungsoptimierung - Reduzierung von schmutzbedingter Nacharbeit und Feldausfällen
Kölblin, R.
Conference Paper
1995Fertigungstechnik im Reinraum. Meßtechnisches Praktikum '95
 
Conference Proceedings
1995Grundlagen der Partikelmessung und Partikelmessung in Flüssigkeiten
Kahlden, T.v.
Conference Paper
1995Materialien für Reinraumanwendungen
Werner, D.; Kölblin, R.
Conference Paper
1995Medienversorgungssysteme
Dorner, J.
Conference Paper
1995Oberflächen im Reinraum - Partikelmessung und Reinigung
Klumpp, B.
Conference Paper
1995An Optimized Procedure for Process Equipment and Minienvironment Specification with PWP Measurement
Klumpp, B.; Mayer, S.; Schließer, J.
Conference Paper
1995Personal und Fertigung im Reinraum
Schließer, J.
Conference Paper
1995Verbundprojekt: Schmierstoff- und energiesparende Schneidwerkzeuge zur Bearbeitung großer Guß- und Stahlbauteile. Teilprojekt: Verschleiß- und reibungsmindernde Beschichtungen
Neumann, H.-G.; Eckel, M.
Conference Paper
1994Fertigungstechnik im Reinraum. Meßtechnisches Praktikum '94
 
Conference Proceedings
1994Grundlagen der Partikelmessung und Partikelmessung in Flüssigkeiten
Kahlden, T. von
Conference Paper
1994Kleine Teilchen - Großes Optimierungspotential
Müller, B.
Journal Article
1994Materialien für Reinraumanwendungen. Einfache Methoden zur Qualifizierung von Kontaminationen auf technischen Oberflächen
Kölblin, R.
Conference Paper
1994Oberflächen im Reinraum - Partikelmessung und Reinigung
Klumpp, B.
Conference Paper
1994Optimierte Durchführung von Partikelmessungen durch Steigerung des Know-hows des Meßdurchführenden
Kahlden, T. von
Conference Paper
1994Personal und Fertigung im Reinraum
Schließer, J.
Conference Paper
1994Der Prozeßreinraum - Neue Strategien zur Qualitätssteigerung am Produkt
Schließer, J.
Conference Paper
1993Feinstreinigung von Oberflächen
Klumpp, B.
Conference Paper
1993Fertigungstechnik im Reinraum. Meßtechnisches Praktikum '93
 
Conference Proceedings
1993Grundlagen der Partikelmessung und Partikelmessung in Flüssigkeiten
Ernst, C.
Conference Paper
1993Partikelausbreitung im Nachlauf von Kontaminationsquellen. Praktische Konsequenzen für die Gestaltung von Bauteilen
Degenhart, E.; Schließer, J.
Journal Article
1993Partikelmessung auf Oberflächen
Klumpp, B.
Conference Paper
1993Partikelmessung in Luft und Abnahmemessungen von Reinräumen
Grimme, R.; Kahlden, T. von
Conference Paper
1993Personal und Fertigung im Reinraum
Kahlden, T. von
Conference Paper
1993Prüfverfahren zur Untersuchung der Partikelreinheit technischer Oberflächen
Klumpp, B.
Dissertation
1992Auslegung reinraumtauglicher Fertigungseinrichtungen unter Berücksichtigung strömungstechnischer Gesichtspunkte
Degenhart, E.
Conference Paper
1992Einfluß von Schmierstoffen auf die Partikelemission von Anlagen. Optimierung von Anlagen
Kaun, R.; Magunna, J.
Journal Article
1992Entwicklungsrichtlinien für reinraumtaugliche Fertigungsgeräte
Degenhart, E.
Conference Paper
1992Meßergebnisse werden übertragbar. Untersuchung der Partikelreinheit von Werkstück- und Geräteoberflächen
Warnecke, H.-J.; Klumpp, B.
Journal Article
1992Monitoring in reinraumtechnischen Anlagen - Statistische Verfahren
Kahlden, T. von
Journal Article
1992Neues Prüfverfahren zur Untersuchung der Partikelreinheit technischer Oberflächen
Warnecke, H.-J.; Klumpp, B.
Conference Paper
1992Partikelmeßtechnik auf dem Prüfstand
Ernst, C.; Grimme, R.; Kahlden, T. von; Müller, B.
Journal Article
1992Partikelmessung auf Oberflächen. Vielzahl von Verfahren
Warnecke, H.-J.; Klumpp, B.
Journal Article
1992Reibbeanspruchte Materialien für Reinraumanwendungen
Kaun, R.
Conference Paper
1992Schmierfette in der Reinraumtechnik. Einfluß von Schmierfetten auf das Partikelemissionsverhalten von Anlagen. Tl.2. Untersuchungsergebnisse
Magunna, J.; Kaun, R.
Journal Article
1992Statistische Auswertung von Messungen luftgetragener Partikel
Warnecke, H.-J.; Kahlden, T. von
Conference Paper
1991Datenerfassung - Monitoring
Hofer, T.; Schäfer, W.
Conference Paper
1991Meßtechnisches Praktikum im Reinraum 1991
 
Conference Proceedings
1991Partikelkontamination und Medienversorgung
Dorner, J.
Conference Paper
1991Partikelmessungen auf Oberflächen
Klumpp, B.
Conference Paper
1991Partikelmessungen in der Luft
Kahlden, T. von
Conference Paper
1991Partikelmessungen in Gasen
Dorner, J.; Müller, B.
Conference Paper
1991Prüfzelle zur Ermittlung von Partikelkontamination
Sauter, K.-D.; Schäfer, W.
Conference Paper
1991Reinraumgerechte Konstruktion und Materialien
Degenhart, E.; Geißinger, J.
Conference Paper
1991Reinraumtauglichkeit von Materialien
Kaun, R.
Conference Paper
1991Systematical concept and statistical evaluation of airborne particle measurements during testing equipment for cleanroom suitability
Warnecke, H.-J.; Kahlden, T. von
Conference Paper
1991Systematische Vorgehensweise und statistische Auswertung von Messungen luftgetragener Partikel bei Untersuchungen von Fertigungsgeräten auf Reinheitstauglichkeit
Kahlden, T. von
Conference Paper
1990Automatisierte Ermittlung von Partikelkontamination. Integrierbare Softwarelösung als Voraussetzung
Warnecke, H.-J.; Sauter, K.-D.; Schäfer, W.
Journal Article
1990Automatisierungskonzepte für die Fertigung und Materialverteilung im Reinraum
Frühauf, W.
Conference Paper
1990Clean Equipment Design of Manufacturing Devices and Components
Degenhart, E.; Geißinger, J.
Conference Paper
1990Datenerfassung und Auswertung
Hofer, T.
Conference Paper
1990Meßtechnisches Praktikum im Reinraum. März 1990
 
Conference Proceedings
1990Meßtechnisches Praktikum im Reinraum. Oktober 1990
 
Conference Proceedings
1990Messung der Partikelemission bei Reibbeanspruchung
Warnecke, H.-J.; Kaun, R.
Journal Article
1990Monitoring mit integrierten Partikelzählern. Eine Softwarelösung für die automatisierte Ermittlung von Partikelkontaminationen
Sauter, K.-D.; Schäfer, W.
Journal Article
1990Particle measurements on technical surfaces
Warnecke, H.-J.; Klumpp, B.
Journal Article
1990Partikelmessung in der Luft
Kahlden, T. von
Conference Paper
1990Partikelmessungen auf Oberflächen
Klumpp, B.
Conference Paper
1990Partikelmessungen auf Oberflächen
Klumpp, B.
Conference Paper
1990Partikelmessungen in der Luft
Kahlden, T. von
Conference Paper
1990Partikelmessungen in Druckgasen
Dorner, J.
Conference Paper
1990Proposal for the standardization of particle measurements at aedia supply components and its realization in practice
Dorner, J.
Journal Article
1990Qualification of high purity filter cartridges for ultraclean liquid filtration
Trompler, T.
Journal Article
1990Qualification of media supply components
Warnecke, H.-J.; Dorner, J.
Conference Paper
1990Reinraumgerechte Konstruktion von Fertigungsgeräten und -komponenten
Geißinger, J.
Conference Paper
1990Schrittweise Realisierung bringt den Erfolg. Automatisierungskonzepte für die Fertigung im Reinraum
Frühauf, W.
Journal Article
1990Systematical concept and statistical evaluation of airborne particle measurements during testing equipment for cleanroom suitability
Warnecke, H.-J.; Kahlden, T. von
Journal Article
1990Vorgehensweisen zur Kontaminationsminimierung bei Fertigungsgeräten
Warnecke, H.-J.; Kahlden, T. von; Schmutz, W.
Conference Paper
1989Konzeption hilft Kosten sparen. Kapselung der Kontaminationsquellen durch lokale Reinräume
Schmutz, W.
Journal Article
1989Lokale Reinräume. Flexibles, fotolithographisches Prozeßzentrum für die Halbleiterfertigung
Warnecke, H.-J.; Frühauf, W.; Kelemen, M.; Mann, R.
Journal Article
1989Reinigung, Montage und Prüfung im Reinraumtunnel. Integrales Reinheitskonzept zur Herstellung hochreiner Gasversorgungskomponenten
Hase, M.; Herz, R.; Klumpp, B.; Siebald, H.J.
Journal Article
1989Staubarm ist nicht rein. Partikelquellen bei Fertigungsabläufen im Reinraum
Geißinger, J.; Kahlden, T. von; Klumpp, B.
Journal Article
1989Verfahren zur Prüfung der Partikelkontamination in Versorgungssystemen für hochreine Flüssigkeiten
Herz, R.
Dissertation
1989Vorgehensweise zur Kontaminationsminimierung bei Fertigungsgeräten
Warnecke, H.-J.; Kahlden, T. von
Conference Paper