Fraunhofer-Gesellschaft

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Hier finden Sie wissenschaftliche Publikationen aus den Fraunhofer-Instituten.
2019Lifetime-limiting defects in monocrystalline Silicon
Niewelt, Tim
: Weber, Eike R. (Referent); Glunz, Stefan W. (Referent)
Dissertation
2017Generalized approach to design multi-layer stacks for enhanced optical detectability of ultrathin layers
Hutzler, Andreas; Matthus, Christian D.; Rommel, Mathias; Frey, Lothar
Journal Article
2017Microscopic photoluminescence spectroscopy on silicon
Heinz, Friedemann D.
: Weber, E.R.; Reindl, L.M.; Lausen, G.
Dissertation
2017Silizium-Kohlenstoff-Hohlraumstrukturen als Anodenmaterial in Lithium-Ionen- und Lithium-Schwefel-Batterien
Baasner, Anne; Dörfler, Susanne; Althues, Holger; Kaskel, Stefan
Abstract
2017UMG Silicon and BOSCO Solar Cells
Fertig, Fabian
: Weber, E.R.; Wöllenstein, J.
Dissertation
2016In-situ observation and modeling of the reactive infiltration process of liquid silicon into porous preforms
Raether, Friedrich; Hofbauer, Peter
Abstract
2015Herstellung und Eigenschaften niedriglegierter Mn, Si, Cr Sinterstähle
Marquardt, Axel
: Kieback, Bernd (Gutachter); Weiß, Andreas (Gutachter); Leyens, Christoph (Betreuer)
Dissertation
2015Interstitial iron impurities at grain boundaries in silicon: A first-principles study
Ziebarth, B.; Mrovec, M.; Elsässer, C.; Gumbsch, P.
Journal Article
2014Potential-induced degradation in solar cells: Electronic structure and diffusion mechanism of sodium in stacking faults of silicon
Ziebarth, B.; Mrovec, M.; Elsässer, C.; Gumbsch, P.
Journal Article
2013Photovoltaik - Überblick über Markt, Technologien und Herausforderungen
Philipps, S.P.
Book Article
2013Photovoltaik: Technologien und Märkte - Quo Vadis?
Philipps, S.P.; Bett, A.W.
Presentation
2013Photovoltaik: Technologien und Märkte - Quo Vadis?
Bett, A.W.
Presentation
2008Assessment of a lasersingulation process for Si-wafers with metallized back side and small die size
Theuss, H.; Koller, A.; Kröninger, W.; Schoenfelder, S.; Petzold, M.
Conference Paper
2005Konzepte für die Sicherung von Festigkeit und Zuverlässigkeit von Komponenten der Siliziummikromechanik
Bagdahn, J.; Petzold, M.
Conference Paper
2004Automatische Optimierung von Festphasenbildungsprozessen bei der Abscheidung von Reinstsilizium
Kümmel, R.; Blömer, J.; Hediger, F.; Laqua, R.; Bäck, T.; Emmerich, M.
Conference Paper
2004Betriebsfeste Auslegung von innenhochdruckumgeformten Bauteilen aus AlMgSiO,5V
Wallmichrath, M.; Kaufmann, H.; Roll, K.
Conference Paper
20022K PL topography of silicon doped VGf-GaAs wafers
Baeumler, M.; Maier, M.; Herres, N.; Bünger, T.; Stenzenberger, J.; Jantz, W.
Journal Article
2002Feinbearbeitung von Präzisionsoberflächen
Klocke, F.; Bresseler, B.; Helbig, J.; Heselhaus, M.; Leifhelm, G.; Pähler, D.
Conference Paper
2002Hundert Wafer auf einen Streich
Kappler, W.
Journal Article
2002Prozesskette zur Waferbearbeitung
Huttenhuis, S.; Pähler, D.
Journal Article
2002Trennen von Silizium - Trenntechnologien im Überblick
Klocke, F.; Huttenhuis, S.; Pähler, D.
Journal Article
2001Precision machining of future silicon wafers
Klocke, F.; Pähler, D.
Conference Paper
2001Precision machining of future silicon wafers. Grinding and slicing techniques for flawless qualities
Klocke, F.; Pähler, D.
Conference Paper
2000Effiziente Prozesskette zur Waferfertigung
Klocke, F.; Gerent, O.; Pähler, D.
Journal Article
1999Zerstörungsfreie Prüfung der Haftqualität mit Hilfe von nichtlinearem Ultraschall am Beispiel von diffusionsgeschweißten Silizium-Silizium und Silizium-Glas Wafern
Koka, Ashraf
Thesis
1998Entwicklung und Charakterisierung membran-elastisch gekoppelter Siliziumanordnungen als flexibles Substrat zur CMOS-kompatiblen Integration von 3D-Mikrosystemen
Trieu, H.-K.
Dissertation
1997Characterization of vapor phase deposited organic molecules on silicon surfaces
Dieckhoff, S.; Höper, R.; Schlett, V.; Gesang, T.; Possart, W.; Hennemann, O.-D.; Günster, J.; Kempter, V.
Journal Article
1997Determination of vacancy concentrations in the bulk of silicon wafers by platinum diffusion experiments
Jacob, M.; Pichler, P.; Ryssel, H.; Falster, R.
Journal Article
1997Electron microscopic investigation of structural changes in single crystalline silicon induced by short pulse laser drilling
Kaspar, J.; Luft, A.
Conference Paper
1996Adhäsion zwischen Polymer und Metall oder Halbleiter. Beobachtungen mit spektroskopischen Methoden
Possart, W.; Dieckhoff, S.
Conference Paper
1996Adhesion and film structure of cyanurates on solids
Possart, W.; Dieckhoff, S.; Gesang, T.; Schlett, V.; Hennemann, O.-D.
Conference Paper
1996The analysis of surface-adsorbed organic molecules by alkali-assisted MIES combined with UPS(Hel)
Günster, J.; Ochs, D.; Dieckhoff, S.; Schlett, V.
Journal Article
1996Barriereschichten für Verpackungsmaterialien
Amberg-Schwab, S.; Hoffmann, M.; Bader, H.
Journal Article
1996Characterization of triazine derivatives on silicon wafers studied by photoelectron spectroscopy (XPS, UPS) and metastable impact electron spectroscopy (MIES)
Dieckhoff, S.; Schlett, V.; Possart, W.; Hennemann, O.-D.; Günster, J.; Kempter, V.
Journal Article
1996Thin film barrier coatings for flexible packagings
Bichler, C.; Bischoff, M.; Langowski, H.-C.; Moosheimer, U.
Journal Article
1996Transparente Barrierematerialien durch Bedampfen
Langowski, H.-C.
Journal Article
1995Comparative film thickness determination by atomic force microscopy and ellipsometry for ultrathin prepolymer films
Gesang, T.; Fanter, D.; Höper, R.; Possart, W.; Hennemann, O.-D.
Journal Article
1995Elektronenspektroskopische Charakterisierung der Adhäsion von Triazinderivaten und Cyansäureestern auf Siliziumoberflächen
Dieckhoff, S.
Dissertation
1995Kalorimetrischer low-cost-Mikrodurchflußmesser für Flüssigkeiten
Kersjes, R.A.; Mokwa, W.; Klein. J.
Journal Article
1995Nitrogen implanted etch-stop layers in silicon
Paneva, R.; Temmel, G.; Ryssel, H.; Burte, E.P.
Conference Paper
1995Prepolymer film growth by adsorption out of solution on silicon and aluminium. An atomic force microscope study
Gesang, T.; Höper, R.; Dieckhoff, S.; Hartwig, A.; Possart, W.; Hennemann, O.-D.
Journal Article
1995Ultrasonic transducer with silicon membrane for liquid nebulization
Paneva, R.; Temmel, G.
Conference Paper
1995X-ray curve characterization of homo-epitaxial layers on silicon deposited after DC hydrogen cleaning
Dommann, A.; Herres, N.; Deller, H.R.; Nissen, H.U.; Krüger, D.; Pixley, R.E.; Ramm, J.
Journal Article
1995XPS studies of thin polycyanurate films on silicon wafers
Dieckhoff, S.; Schlett, V.; Possart, W.; Hennemann, O.-D.
Journal Article
1994Reduction of heat loss of silicon membranes by the use of trench etching techniques
Werno, J.; Mokwa, W.; Vogt, H.; Kersjes, R.A.
Journal Article
1994Single-shell carbon nanotubes imaged by atomic force microscopy.
Höper, R.; Workman, R.K.; Chen, D.; Sarid, D.; Yadav, T.; Withers, J.C.; Loutfy, R.O.
Journal Article
1994Transparente Aufdampfschichten aus Oxiden von Si, Al und Mg für Barrierepackstoffe
Bichler, C.; Langowski, H.-C.; Moosheimer, U.; Bischoff, M.
Journal Article
1993Ultra-Mikrohärteprüfung im Experiment. Untersuchungen an beschichteten und unbeschichteten Proben
Scheer, C.; Olaf, J.M.; Schenuit, E.
Journal Article
1992Dünne anorganische Schichten für Barrierepackstoffe
Langowski, H.-C.; Utz, H.
Journal Article
1992Excited defect energy states from temperature dependent ESR.
Kisielowski, C.; Maier, K.; Schneider, J.; Oding, V.
Journal Article
1992Shallow p-n junctions produced by laser doping with boron silicate glass
Bollmann, D.; Buchner, R.; Haberger, K.; Neumayer, G.
Conference Paper
1991Correlation of the D-band photoluminescence with spatial properties of dislocations in silicon
Weronek, K.; Weber, J.; Höpner, A.; Ernst, F.; Stefaniak, M.; Alexander, H.; Buchner, R.
Conference Paper
1991Der intelligente Herzkatheter. Sensoren und Signalvorverarbeitung auf einem Chip
Manoli, Y.; Mokwa, W.
Journal Article
1991Metallization of integrated circuits by laser evaporation of metal sandwich layers
Bollmann, D.; Haberger, K.; Pielmeier, R.
Conference Paper
1991Origin of the D-band photoluminescence in silicon
Weronek, K.; Weber, J.; Buchner, R.
Conference Paper
1991Rekombination an Versetzungen in Silizium und Germanium
Weronek, K.; Weber, J.; Alexander, H.; Buchner, R.
Conference Proceedings
1991Shallow p-n junctions produced by laser doping with Boron and Phosphorus Silicate glass
Bollmann, D.; Stock, G.; Neumayer, G.; Haberger, K.
Conference Paper
1991Überblick und Haupttrends im Bereich Halbleitermaterialien und -technologien
Kersten, G.
Book
1990Laser evaporation of metal sandwich layers for improved IC metallization
Bollmann, D.; Haberger, K.; Pielmeier, R.
Journal Article
1990Ultra flat P-N junctions formed by solid source laser doping
Stock, G.; Bollmann, D.; Buchner, R.; Neumayer, G.; Haberger, K.
Conference Paper
1990Ultra flat P-N junctions formed by solid source laser doping
Stock, G.; Bollmann, D.; Buchner, R.; Neumayer, G.; Haberger, K.
Conference Paper
1989Zweidimensionale Simulation der lokalen Oxidation von Silizium
Seidl, A.
Dissertation
1988Innentrennschleifen von einkristallinem Silizium
Struth, W.
: König, W. (Prüfer)
Dissertation
1988Präzisionsschleifen sprödharter Werkstoffe
Steffens, K.; Struth, W.
Book Article
1987Beschaffenheit des Schneidbelags beim Innenlochsaegen
Struth, W.; Steffens, K.
Journal Article
1987Schneidbelagtopographie beim Innenlochsaegen
Struth, W.
Journal Article
1986Hochdosisimplantation von Stickstoff in Silizium - Eine Technik zur Erzeugung von dielektrisch isolierten CMOS-Bauelementen mit hoher Integrationsdichte
Vogt, H.
Book
19851.54-micro m electroluminescence of erbium-doped silicon grown by molecular beam epitaxy.
Pomrenke, G.; Axmann, A.; Schneider, J.; Eisele, K.M.; Haydl, W.H.; Ennen, H.
Journal Article
1985Kuenstliche Einkristalle als Werkstoffe
Diehl, R.
Journal Article
19831.54-micro m luminescence of erbium-implanted III-V semiconductors and silicon.
Schneider, J.; Pomrenke, G.; Axmann, A.; Ennen, H.
Journal Article
1983Dreidimensionale Strukturierung des Siliziums zum Herstellen von Sensoren
Csepregi, L.; Seidl, H.
Journal Article
1983ESR of Fe-S pairs in silicon.
Schirmer, O.F.
Journal Article
1983Evidence of amphoteric behavior of Si in VPE InP.
Pomrenke, G.S.
Journal Article
1983The lateral-extension of radiation damage in ion-implanted semiconductors.
Fritzsche, C.R.; Rothemund, W.
Journal Article
1982Determination of deep donor binding energies from their g values.
Schirmer, O.F.; Scheffler, M.
Journal Article
1982Phosphorus pentaflouride and sulfurylfluoride applied to etch SiO2 in search for higher selectivities
Eisele, K.M.
Journal Article
1982Range distributions.
Ryssel, H.
Book Article
1982Solubility of Mg and Ca in Silicon
Sigmund, H.; Weiss, D.
Journal Article
1981Annealing of boron-implanted silicon using a CW CO2-laser.
Tsien, P.H.; Tsou, S.C.; Takai, M.; Roeschenthaler, D.; Ramin, M.; Ryssel, H.; Ruge, I.; Wittmaack, K.
Journal Article
1981Arsenic implanted polysilicon layers.
Ryssel, H.; Bleier, M.; Prinke, G.; Haberger, K.; Kranz, H.; Iberl, F.
Journal Article
1981CO2 laser annealing characteristics of high-dose boron and arsenic-implanted silicon.
Tsien, P.H.; Goetzlich, J.; Ryssel, H.; Ruge, I.
Journal Article
1981Distortion measurements on pure-silicon and siliconplastic X-ray masks
Triantafyllou, M.; Betz, H.; Heuberger, A.; Tischer, P.
Conference Paper
1981Hydrogen content and mechanical stress in glow discharge amorphous silicon
Paduschek, P.; Eichinger, P.; Kristen, G.; Mitlehner, H.
Conference Paper
1981Nd-YAG laser annealing of arsenic-implanted silicon - dependence upon scanning speed and power density.
Tsien, P.H.; Ryssel, H.; Roeschenthaler, D.; Ruge, I.
Journal Article
1981Nd-YAG laser annealing of arsenic-implanted silicon - Relaxation of metastable concentration by means of CO2-laser irradiation.
Tsien, P.H.; Ryssel, H.; Roeschenthaler, D.; Ruge, I.
Journal Article
1981Nd-YAG laser annealing of gallium-implanted silicon.
Takai, M.; Tsou, S.C.; Tsien, P.H.; Roeschenthaler, D.; Ryssel, H.
Journal Article
1981Optical confinement in thin Si-solar cells by diffuse back reflectors.
Goetzberger, A.
Book Article
1981Spark source mass spectrometry of silicon for solar cells
Hurrle, A.; Dietl, J.
Journal Article
1981Spark source mass spectrometry on silicon for solar cells
Hurrle, A.; Dietl, J.
Book Article