Fraunhofer-Gesellschaft

Publica

Hier finden Sie wissenschaftliche Publikationen aus den Fraunhofer-Instituten.
2014GigaSonic - Untersuchungen an hochfrequenten Dünnschichtschwingern für zukünftige Phased-Array-Sensoren
Herzog, Thomas; Walter, Susan; Heuer, Henning
Journal Article
2008Active optical structures by use of PZT thick films
Gebhardt, S.; Schönecker, A.; Bruchmann, C.; Beckert, E.; Rodrigues, C.; Bastaits, R.; Preumont, A.
Conference Paper
2007Herstellung von Präzisionsschichten mittels lonenstrahlsputtern
Gawlitza, P.; Braun, S.; Leson, A.; Lipfert, S.; Nestler, M.
Journal Article
2007PECVD and plasma etching at atmospheric pressure by means of a linearly-extended DC arc plasma source
Dani, I.; Hopfe, V.; Rogler, D.; Lopez, E.; Mäder, G.
Journal Article
2006Plasmachemische Gasphasenabscheidung und Plasmaätzen bei Atmosphärendruck mittels einer linear ausgedehnten DC-Bogenplasmaquelle
Dani, I.; Hopfe, V.; Rogler, D.; Lopez, E.; Mäder, G.
Journal Article