Publica
Hier finden Sie wissenschaftliche Publikationen aus den Fraunhofer-Instituten.
2001
Deposition rate and three-dimensional uniformity of RF plasma deposited SiOx films
Hegemann, D.; Brunner, H.; Oehr, C.
Journal Article
1999
Deposition of SiOx films from O2/HMDSO plasmas
Hegemann, D.; Vohrer, U.; Oehr, C.; Riedel, R.
Journal Article
