Publica
Hier finden Sie wissenschaftliche Publikationen aus den Fraunhofer-Instituten. | | |
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| 2003 | Magnetische und strukturelle Eigenschaften von nanokristallinen und gesputterten CoSm Filmen
Majjer, B. | Dissertation |
| 1993 | Diamond membranes with controlled stress for submicron lithography
Bluhm, A.; Löchel, B.; Buchmann, L.-M.; Huber, H.-L.; Klages, C.-P.; Schäfer, L. | Journal Article, Conference Paper |
| 1993 | Untersuchungen zum Einfluß von Schichtherstellparametern auf Hochtemperatur- und Verschleißverhalten von PVD-Schichten.
Kleer, G.; Döll, W. | Journal Article |
| 1992 | Effect of process parameters on the residual stresses and the wear behavior of aluminium nitride physical vapor deposition coatings.
Kleer, G.; Kassner, R.; Meyer, E.-M.; Schinker, M.G.; Döll, W. | Journal Article |
| 1992 | Verbundprojekt - Diamantbeschichtung komplexer Geometrien. Teilvorhaben - Hochskalierung des Heißdraht-CVD-Prozesses zur Diamantabscheidung
Bluhm, A.; Sattler, M.; Six, R.; Klages, C.-P.; Schäfer, L. | Conference Paper |
| 1991 | Growth and properties of diamond films prepared by MPCVD using different oxygen-containing source gases
Schäfer, L.; Klages, C.-P. | Journal Article, Conference Paper |