Fraunhofer-Gesellschaft

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Hier finden Sie wissenschaftliche Publikationen aus den Fraunhofer-Instituten.
2018Reinraumtechnik
: Gail, Lothar (Hrsg.); Gommel, Udo (Hrsg.)
Book
2018Systeme und Konzepte der Reinraumtechnik
Ernst, Christian; Kreck, Guido
Book Article
2017"Reinraumfahrt" - Ansprüche und Lösungen
Rochowicz, Markus
Journal Article
2017Biodekontamination in der Raumfahrt - think outside the box
Keller, Markus
Presentation
2017Cleanroom suitability qualification of a six axis robot system for aseptic processing
Keller, Markus
Presentation
2017Freisetzung und Ausbreitung von Partikeln aus Tribosystemen im Hochvakuum
Bürger, Frank Friedrich
: Deters, Ludger (Gutachter); Verl, Alexander (Gutachter)
Dissertation
2017Monitoring gaseous hydrogen peroxide online in the ppb range
Keller, Markus
Journal Article
2017Neue VDI-Normen zur Reinraumtechnik
Gommel, Udo
Journal Article
2017Neue VDI-Normen zur Reinraumtechnik
Gommel, Udo
Journal Article
2017Qualification of a 6-axis robot system for hygienic processes
Keller, Markus; Boos, Stefanie; Baum, Gabriela; Schweizer, Marion; Bürger, Frank; Gommel, Udo
Book Article
2016Assessment and selection of ultraprecision cleaning technologies
Gommel, Udo; Kreck, Guido; Holzapfel, Yvonne
Conference Paper
2016Cleanroom suitability of equipment: Assessment methodology according to 14644-14 and its verification
Gommel, Udo; Kreck, Guido; Bürger, Frank
Conference Paper
2016Cleanroom suitability qualification of a six axis robot system for sterile pharmaceutical manufacturing: Holistic approach
Keller, Markus; Baum, Gabriela; Boos, Stefanie; Brückner, Mathias; Bürger, Frank; Gommel, Udo
Journal Article, Conference Paper
2016Cleanroom suitability qualification of a six axis robot system for sterile pharmaceutical manufacturing: Holistic approach
Keller, Markus; Boos, Stefan; Baum, Gabriela; Schweizer, Marion; Bürger, Frank; Gommel, Udo
Conference Paper
2016Cleanrooms with low molecular organic contamination (MOC): From material classification measurements to different assessment methods regarding organic condensables
Keller, Markus; Weisser, Stefanie; Gommel, Udo
Conference Paper
2016Consumables in clean environments - Cross-contamination and emission behaviour of Consumables vs. cleanliness specifications
Gommel, Udo; Bürger, Frank; Kreck, Guido
Conference Paper
2016Diese Kombination aus Reinigen und Bewerten ist einzigartig
Gommel, Udo
Journal Article
2016Experimental case studies acc. to ISO 14644-15: From ACC contamination being emitted from material and equipment via the planning phase to finally realized cleanroom settings
Keller, Markus; Gommel, Udo
Conference Paper
2016Grundlagen der Reinraumtechnik
Gommel, Udo
Conference Paper
2016Grundlagen der Reinraumtechnik
Gommel, Udo
Conference Paper
2016Grundlegende Anforderungen zur effizienten Raumdekontamination (u.a. Intensivstationen und OPs) mit Wasserstoffperoxid
Keller, Markus
Presentation
2016Logistik und Produkthandhabung im Reinraum
Boos, Stefan
Conference Paper
2016Logistik und Produkthandhabung im Reinraum
Brag, Patrick
Conference Paper
2016Personal im Reinraum
Brückner, Mathias
Conference Paper
2016Personal im Reinraum
Brückner, Mathias
Conference Paper
2016Reinheitstechnik am Fraunhofer IPA
Gommel, Udo; Kreck, Guido
Journal Article
2016Reinraum on Demand
Meyer, Tanja
Journal Article
2016Reinraumplanung und Abnahmemessungen
Bürger, Frank
Conference Paper
2016Reinraumplanung und Abnahmemessungen
Bürger, Frank
Conference Paper
2016Thinking outside the box - from the air cleanliness to product contamination
Keller, Markus
Presentation
2015Fertigen unter reinen Bedingungen
: Verl, Alexander (Hrsg.); Bauernhansl, Thomas (Hrsg.)
Conference Proceedings
2015Grundlagen der Reinraumtechnik
Gommel, Udo
Conference Paper
2015Logistik und Produkthandhabung im Reinraum
Boos, Stefan
Conference Paper
2015Personal im Reinraum
Brückner, Mathias
Conference Paper
2015Reinraumplanung und Abnahmemessungen
Bürger, Frank
Conference Paper
2014Aktuelle Entwicklungen und neue Themenschwerpunkte der ISO 14644
Gommel, Udo
Presentation
2014Bestimmung der Reinraumtauglichkeit an Betriebsmitteln. Videoübertragung aus den Laboren des Fraunhofer IPA
Bürger, Frank; Wiesner, Lisa; Ringe, Ute
Presentation
2014Bewertung und Auswahl von Reinigungsverfahren
Kreck, Guido; Holzapfel, Yvonne
Presentation
2014Fertigen unter reinen Bedingungen
: Verl, Alexander (Hrsg.); Bauernhansl, Thomas (Hrsg.)
Conference Proceedings
2014Grundlagen der Reinraumtechnik
Gommel, Udo
Conference Paper
2014ICCCS 2014, International Symposium on Contamination Control
: Oh, Myung-Do (Chair); Keller, Markus (International Advisory Committee)
Conference Proceedings
2014Labor-Planung: Vom Layout zum Laborbetrieb
Kreck, Guido; Holzapfel, Yvonne
Presentation
2014Logistik und Produkthandhabung im Reinraum
Boos, Stefan
Conference Paper
2014Personal im Reinraum
Brückner, Mathias
Conference Paper
2014Qualifizierungsmaßnahme zum Planer für Technische Sauberkeit
: Verl, Alexander (Hrsg.); Bauernhansl, Thomas (Hrsg.)
Conference Proceedings
2014Qualifizierungsmaßnahme zum Planer für Technische Sauberkeit
: Verl, Alexander (Hrsg.); Bauernhansl, Thomas (Hrsg.)
Conference Proceedings
2014Technische Sauberkeit als messbares Produktmerkmal
Rochowicz, Markus
Conference Paper
2014Ultrapräzisionsreinigungsverfahren: Auswahl und Bewertung
Kreck, Guido; Holzapfel, Yvonne
Presentation
2014VDI 2083 Blatt 9.2 "Reinheitstauglichkeit von Verbrauchsmaterialien"
Bürger, Frank; Gommel, Udo
Presentation
201315. VDI-Fachtagung Reinraumtechnik 2013
: Gommel, Udo (Tagungsleiter)
Conference Proceedings
2013Anforderungen an die reine Fertigung im Reinraum / Sauberraum
Bürger, Frank
Conference Paper
2013Aspekte der Reinheitstechnik. Reinraumtechnik: Schlüsselproduktionstechnologie
Kreck, Guido
Presentation
2013Breve introdução à Tecnologia de Salas Limpas: Enfrentando os desafios futuros
Gommel, Udo; Kreck, Guido
Journal Article
2013Eignungsprüfung eines Pipettierroboters für die sterile Produktion
Keller, Markus
Journal Article
2013Fertigen unter reinen Bedingungen
 
Conference Proceedings
2013Pipettierroboter. Eignungsprüfung für sterile Produktion
Keller, Markus
Journal Article
2013Präzisionsreinigung und Reinigungsvalidierung - Stetig steigende Anforderungen angefangen von der Mikrotechnik bis hin zur Raumfahrt
Kreck, Guido
Conference Paper
2013Qualifizierungsmaßnahme zum Planer für Technische Sauberkeit
: Rochowicz, Markus (Referent); Boos, Stefan (Referent); Brag, Patrick (Referent)
Conference Proceedings
2013Reinheitstechnische Trends im Maschinen- und Anlagenbau
Gommel, Udo; Kreck, Guido; Holzapfel, Yvonne
Conference Paper
2012Challenges in the assessment of the cleanroom suitability of equipment and materials
Gommel, Udo; Kreck, Guido; Holzapfel, Yvonne
Conference Paper
2012Cleanroom Equipment & Process Design
Gommel, Udo
Presentation
2012Customized cleanliness suitable cleanrooms and manufacturing equipment
Gommel, Udo; Kreck, Guido; Holzapfel, Yvonne
Conference Paper
2012Future Demands and Challenges for Cleanroom Technology
Gommel, Udo
Presentation
2012ICCCS 2012, International Symposium on Contamination Control. Clean Technologies - What is the Future?. Program and Proceedings. CD-ROM
: Zingre, Hans (Chairman); Gommel, Udo (Chairman)
Conference Proceedings
2012Investigation of cleaning technologies and validation procedures appropriate to needed cleanliness for instruments used in the search for life
Vrublevskis, John; Kreck, Guido; Gommel, Udo; Lindner, Robert
Conference Paper
2012Reinraumtechnik - unverzichtbare High-Tech-Lösung für 'saubere' Produkte
Rochowicz, Markus
Presentation
2012Reinraumtechnik. 3., aktual. und erw. Aufl.
: Gail, Lothar (Hrsg.); Gommel, Udo (Hrsg.); Hortig, Hans-Peter (Hrsg.)
Book
2012A short introduction to cleanliness technology: Meeting the future challenges
Gommel, Udo; Kreck, Guido
Conference Paper
2012Systeme und Konzepte der Reinraumtechnik
Ernst, Christian; Schmauz, Günther; Kreck, Guido
Book Article
2011Fertigen unter reinen Bedingungen
 
Conference Proceedings
2011Grundlagen der Reinraumtechnik und Personalverhalten - Trends in der reinen Produktion
Gommel, Udo
Conference Paper
2011Handhabung funktionaler Systeme im Bereich der Batterieproduktion - Betrachtung kontaminationskritischer Gesichtspunkte
Rochowicz, Markus
Presentation
2011Inspektion technischer Oberflächen
Rochowicz, Markus
Conference Paper
2011Life-Science - related measurements
Keller, Markus
Conference Paper
2011Logistik und Produkthandhabung im Reinraum
Schmauz, Günther
Conference Paper
2011Outgassing measurements - VDI 2083-17
Keller, Markus
Conference Paper
2011Partikel in der Falle
Walter, Johannes; Frosch, Stefan; Rochowicz, Markus; Ernst, Christian
Journal Article
2011Reinraumtaugliche Betriebsmittel
Kreck, Guido
Conference Paper
2011VDA 19.2 Vorstellung des neuen Q-Standards
Boos, Stefan
Conference Paper
2010Fertigen unter reinen Bedingungen
 
Conference Proceedings
2010Grundlagen der Reinraumtechnik und Personalverhalten - Trends in der reinen Produktion
Gommel, Udo
Conference Paper
2010Inspektion technischer Oberflächen
Rochowicz, Markus
Conference Paper
2010Die Life-Science-Industrie
Keller, Markus
Journal Article
2010Logistik und Produkthandhabung im Reinraum
Schmauz, Günther
Conference Paper
2010Reinraumtaugliche Betriebsmittel
Kreck, Guido
Conference Paper
2010Reinraumtechnik in der Lebensmittelindustrie
Keller, Markus
Journal Article
2010VDA Band 19.2 - ein brandneuer Leitfaden für die technische Sauberkeit in der Montage
Rochowicz, Markus
Conference Paper
2009Gestaltung und Betrieb eines Sauberraumes in der Automobil- und Zulieferindustrie
Schmauz, Günther; Ernst, Christian; Rochowicz, Markus
Conference Paper
2009Industrielle Produktion im Reinraum
Gommel, Udo; Keller, Markus
Presentation
2009Planung und Betrieb eines Sauberraumes in der feinwerktechnischen Produktion
Ernst, Christian; Schmauz, Günther
Book Article
2009Projektplanung Reinraumtechnik
: Gail, Lothar (Hrsg.); Gommel, Udo (Hrsg.); Weißsieker, Horst (Hrsg.)
Book
2009Qualifizierung von Betriebsmitteln im Reinraum
Gommel, Udo
Book Article
2009Reinraumtechnik bei der Herstellung von Medizinprodukten
Harscher, Alexander; Kreck, Guido; Schweizer, Marion
Book Article
2008Fertigen unter reinen Bedingungen
 
Conference Proceedings
2008Inspektion technischer Oberflächen
Rochowicz, Markus
Conference Paper
2008Produkthandhabung, Logistik und Reinraum
Schmauz, Günther
Conference Paper
2008Reinraumtaugliche Betriebsmittel
Kreck, Guido
Conference Paper
2007Beschichtung mechanisch beanspruchter Reinraumkomponenten
Weihnacht, V.
Conference Paper
2007Fertigen unter reinen Bedingungen
 
Conference Proceedings
2007Fertigen unter reinen Bedingungen
 
Conference Proceedings
2007Inspektion technischer Oberflächen
Rochowicz, Markus
Conference Paper
2007Produkthandhabung, Logistik und Reinraum
Schmauz, Günther
Conference Paper
2007Produktumgebung und Personal
Rochowicz, Markus
Conference Paper
2007Reinraumtaugliche Betriebsmittel
Kreck, Guido
Conference Paper
2007Reinraumtaugliche Materialien - Aktueller Stand bei der Bewertung der Reinraum- und Reinheitstauglichkeit von Werkstoffen
Gommel, Udo
Conference Paper
2007Sauber und rein in der Fertigung
Rochowicz, Markus; Ernst, Christian
Journal Article
2007Sauberkeit als messbares Produktmerkmal
Rochowicz, Markus
Conference Paper
2007Werkstoffe auf dem Prüfstand
Rapp, Alexander; Gommel, Udo
Journal Article
2007Werkstoffe und Materialien reinheitsgerecht verwenden
Gommel, Udo
Journal Article
2006Beschichtungen für reinraumtaugliche Komponenten
Weihnacht, V.; Gommel, U.; Smolinski, D.
Report
2006Fertigen unter reinen Bedingungen
 
Conference Proceedings
2006Inspektion technischer Oberflächen
Rochowicz, M.
Conference Paper
2006Inspektion technischer Oberflächen
Rochowicz, M.
Conference Paper
2006Produktumgebung und Personal
Rochowicz, M.
Conference Paper
2006Produktumgebung und Personal
Rochowicz, M.
Conference Paper
2006Qualifizierung von Betriebsmitteln am Beispiel der Partikelmesstechnik
Gommel, U.
Conference Paper
2006Qualifizierung von Betriebsmitteln am Beispiel der Partikelmesstechnik
Kreck, G.
Conference Paper
2006Das Reinheitsgebot der Mikrotechnik
Gommel, U.
Journal Article
2006Sauberkeit als messbares Produktmerkmal
Rochowicz, M.
Conference Paper
2005Advanced production technologies in the photovoltaic industries
Dorner, J.
Conference Paper
2005Inspektion technischer Oberflächen
Rochowicz, M.
Conference Paper
2005Qualifizierung von Betriebsmitteln am Beispiel der Partikelmesstechnik
Gommel, U.
Conference Paper
2004Beherrschung der Kontaminationen
Schüle, A.
Journal Article
2004Fertigen unter reinen Bedingungen. Messtechnisches Praktikum 2004
 
Conference Proceedings
2004Inspektion technischer Oberflächen
Rochowicz, M.
Conference Paper
2004Qualifizierung von Betriebsmitteln und Materialien am Beispiel der Partikelmesstechnik
Gommel, U.
Conference Paper
2003Fertigen unter reinen Bedingungen. Messtechnisches Praktikum 2003
 
Conference Proceedings
2003Inspektion technischer Oberflächen
Rochowicz, M.
Conference Paper
2003Qualifizierung von Betriebsmitteln am Beispiel der Partikelmesstechnik
Gommel, U.
Conference Paper
2003Schlüssel zu Produktionsanlagen für die Reinraumtechnik
Gommel, U.; Rapp, A.
Journal Article
2002"Reinheitstechnische" Logistik
Schließer, J.
Conference Paper
2002Fertigen unter reinen Bedingungen. Messtechnisches Praktikum 2002
 
Conference Proceedings
2002Inspektion technischer Oberflächen
Rochowicz, M.
Conference Paper
2002Produzieren unter reinen Bedingungen
: Schließer, J.
Conference Proceedings
2002Qualifizierung von Betriebsmitteln am Beispiel der Partikelmesstechnik und Elektrostatik
Gommel, U.
Conference Paper
2002Reinraumtechnik
Werner, D.
Conference Paper
2001Elektrostatik - Ursachen, Wirkungen und Maßnahmen
Matuschek, P.
Conference Paper
2001Fertigen unter reinen Bedingungen. Messtechnisches Praktikum 2001
 
Conference Proceedings
2001Inspektion technischer Oberflächen
Rochowicz, M.
Conference Paper
2001Kontaminationsarme Verarbeitung: Gezielter Einsatz der Reinraumtechnik kann Konkurrenzfähigkeit der Produkte verbessern
Schließer, J.; Huen, J.
Journal Article
2001Qualifizierung von Betriebsmitteln am Beispiel der Partikelmesstechnik und Elektrostatik
Gommel, U.
Conference Paper
2000CleanRooms Europe 2000. Conference proceedings
 
Conference Proceedings
2000Fertigen unter reinen Bedingungen. Meßtechnisches Praktikum 2000
 
Conference Proceedings
2000Grundlagen der Reinraumtechnik und Personalverhalten - Trends in der reinen Produktion
Gaugel, T.
Conference Paper
2000Inspektion technischer Oberflächen
Rochowicz, M.
Conference Paper
2000Jeder eine Klasse für sich: Grundlagen und Trends in der reinen Produktion
Schließer, J.; Gaugel, T.
Journal Article
2000Kontaminanten im Griff
Schließer, J.; Huen, J.
Journal Article
2000Produzieren unter reinen Bedingungen. Grundlagen, Maßnahmen zur Qualitätssicherung und Trends
: Schließer, J.
Conference Proceedings
2000Qualifizierung von Betriebsmitteln
Schließer, J.
Conference Paper
2000Qualifizierung von Betriebsmitteln am Beispiel der Partikelmesstechnik und Elektrostatik
Gommel, U.
Conference Paper
2000Tendances actuelles dans la production ultra-propre
Schließer, J.; Huen, J.
Journal Article
1999CleanRooms Europe 1999. Conference proceedings
 
Conference Proceedings
1999Fertigen unter reinen Bedingungen. Meßtechnisches Praktikum 1999
 
Conference Proceedings
1999Grundlagen der Reinraumtechnik und Personalverhalten - Trends in der reinen Produktion
Gaugel, T.
Conference Paper
1999Inspektion technischer Oberflächen
Werner, D.
Conference Paper
1999Minienvironment system planning
Schließer, J.; Klumpp, B.
Journal Article
1999Produzieren unter reinen Bedingungen
: Dorner, J.
Conference Proceedings
1999Quo Vadis Reinraumtechnik?
Baumgärtner, H.; Dorner, J.
Journal Article
1999Reinraumtechnik richtig angewendet - Ein wesentlicher Bestandteil "reiner" Produktionssysteme
Dorner, J.; Schließer, J.
Journal Article
1999Der sichere Weg zur Qualitätsverbesserung
Schließer, J.; Werner, D.; Ernst, C.; Gaugel, T.; Güth, A.
Journal Article
1998Cleanroom Technology 1998
: Kaufmann, T.; Gommel, U.
Conference Proceedings
1998Fertigungstechnik im Reinraum. Meßtechnisches Praktikum '98
 
Conference Proceedings
1998Fundamental Principles of Cleanrooms Technology
Dorner, J.
Conference Paper
1998Grundlagen der Reinraumtechnik und Personalverhalten - Trends in der reinen Produktion
Gommel, U.
Conference Paper
1998Inspektion technischer Oberflächen
Werner, D.
Conference Paper
1998Produzieren unter reinen Bedingungen: Grundlagen, Maßnahmen zur Qualitätssicherung und Trends
: Dorner, J.
Conference Proceedings
1998Verbreitung und Tendenzen in der Reinraumproduktion
Dorner, J.
Conference Paper
1998Vorbereitung zur Qualifizierung einer reinen Produktion
Kölblin, R.
Conference Paper
1997Fertigungstechnik im Reinraum. Meßtechnisches Praktikum '97
 
Conference Proceedings
1997Grundlagen der Reinraumtechnik und Personalverhalten - Trends in der reinen Produktion
Gommel, U.
Conference Paper
1997Inspektion technischer Oberflächen
Werner, D.
Conference Paper
1997Reinraumtechnik '97: Qualifizierung und Überwachung. Reinraum und Reinstmedien
 
Conference Proceedings
1997VDI-Richtlinie 2083 Blatt 2 - Beiblatt Reinraumtechnik
Kölblin, R.
Conference Paper
1997Vorbereitung zur Qualifizierung einer reinen Produktion
Kölblin, R.
Conference Paper
1996Cleanroom Technology
: Dorner, J.; Klumpp, B.
Conference Proceedings
1996Cleanroom Technology
: Dorner, J.; Kaufmann, T.S.
Conference Proceedings
1996Fertigungstechnik im Reinraum. Meßtechnisches Praktikum '96
 
Conference Proceedings
1996Grundlagen der Reinraumtechnik und Personal
Schließer, J.
Conference Paper
1996New Cleanroom and Cleanliness Concepts for Microsystem Production
Dorner, J.; Grimme, R.; Schünemann, M.; Schließer, J.; Kaufmann, T.S.; Schäfer, W.
Conference Paper
1996Particle measurements in turbulent flow areas as as part of investigations at cleanroom equipment
Kahlden, T. von
Conference Paper
1996Produktion im reinen Umfeld - Branchen, Beispiele, Trends
Dorner, J.
Conference Paper
1996Reinraumtechnik zur Fertigung von Displays
Dorner, J.
Conference Paper
1995Eine angepaßte Strategie verfolgen. Expertenwissen kann teure Flops vermeiden helfen
Schließer, J.; Schraft, R.D.
Journal Article
1995Fertigungsoptimierung - Reduzierung von schmutzbedingter Nacharbeit und Feldausfällen
Kölblin, R.
Conference Paper
1995Fertigungstechnik im Reinraum. Meßtechnisches Praktikum '95
 
Conference Proceedings
1995Medienversorgungssysteme
Dorner, J.
Conference Paper
1995Personal und Fertigung im Reinraum
Schließer, J.
Conference Paper
1995Produktion im reinen Umfeld - Branchen, Beispiele, Trends
Dorner, J.
Conference Paper
1995Die reine Produktion als Qualitätssicherungsinstrument
Kölblin, R.
Conference Paper
1994Braucht die Mikrosystemtechnik die Reinraumtechnik?
Klumpp, B.; Dorner, J.
Journal Article
1994The European thrust in an international effort to create minienvironment standards
Schließer, J.; Seybold, D.
Conference Paper
1994Fertigungsoptimierung - Reduzierung von schmutzbedingter Nacharbeit und Feldausfällen
Müller, B.
Conference Paper
1994Fertigungstechnik im Reinraum. Meßtechnisches Praktikum '94
 
Conference Proceedings
1994Personal und Fertigung im Reinraum
Schließer, J.
Conference Paper
1994Produktion im reinen Umfeld - Branchen, Beispiele, Trends
Müller, B.
Conference Paper
1993Braucht die Mikromechanik die Reinraumtechnik?
Dorner, J.
Conference Paper
1993Einschlußtechniken zur Qualitätssicherung in der Reinraumtechnik. Tl.1. Lokale Reinräume, Minienvironments, SMIF, CIP/SIP, Enclosures - Begriffliche Gemeinsamkeiten und Auswirkungen auf die Qualität der Produkte
Weißsieker, H.; Warnecke, H.-J.; Ludwig, J.
Journal Article
1993Fertigungstechnik im Reinraum. Meßtechnisches Praktikum '93
 
Conference Proceedings
1993Prüfverfahren zur Untersuchung der Partikelreinheit technischer Oberflächen
Klumpp, B.
Dissertation
1993Standardisierung.
Dorner, J.
Conference Paper
1992Anwendungen der Reinraumtechnik außerhalb der Halbleiterherstellung und der Pharmazie - Übersicht
Dorner, J.
Conference Paper
1992Entwicklungsrichtlinien für reinraumtaugliche Fertigungsgeräte
Degenhart, E.
Conference Paper
1992Schmierfette in der Reinraumtechnik. Einfluß von Schmierfetten auf das Partikelemissionsverhalten von Anlagen. Tl.1. Grundlagen
Magunna, J.; Kaun, R.
Journal Article
1992Schmierfette in der Reinraumtechnik. Einfluß von Schmierfetten auf das Partikelemissionsverhalten von Anlagen. Tl.2. Untersuchungsergebnisse
Magunna, J.; Kaun, R.
Journal Article
1991Meßtechnisches Praktikum im Reinraum 1991
 
Conference Proceedings
1991Peripherie im Mittelpunkt. Entwicklungstendenzen beim Einsatz von Industrierobotern
Schweizer, M.; Würtz, G.
Journal Article
1991Prozeßtechnologie
Schumicki, G.; Seegebrecht, P.
Book
1990Automatisierte Ermittlung von Partikelkontamination. Integrierbare Softwarelösung als Voraussetzung
Warnecke, H.-J.; Sauter, K.-D.; Schäfer, W.
Journal Article
1990Automatisierungskonzepte für die Fertigung und Materialverteilung im Reinraum
Frühauf, W.
Conference Paper
1990Clean Equipment Design of Manufacturing Devices and Components
Degenhart, E.; Geißinger, J.
Conference Paper
1990Den Gigachip im Visier
Dorner, J.; Geißinger, J.
Conference Paper
1990Einsatz des Laser-Lichtschnittverfahrens zur Optimierung von Reinraumströmungen
Kelemen, M.
Journal Article
1990Meßtechnisches Praktikum im Reinraum. März 1990
 
Conference Proceedings
1990Meßtechnisches Praktikum im Reinraum. Oktober 1990
 
Conference Proceedings
1990Reinraumgerechte Konstruktion von Fertigungsgeräten und -komponenten
Geißinger, J.
Conference Paper
1990Standardlösungen sind Mangelware. IPA baut Reinraumtechnik aus
Dorner, J.
Journal Article
1990Strömungstechnische Gestaltung von Anlagenkomponenten
Degenhart, E.
Conference Paper
1990The support of FhG IPA to E and M manufacturers
Geißinger, J.
Conference Paper
1990Trennung von Mensch und Maschine. Reinraumfertigung
Frühauf, W.
Journal Article
1990Turbulenzuntersuchungen im Reinraum. Auswirkungen auf die Umströmung sowie die Partikelausbreitung im Nachlauf von Bauteilen
Warnecke, H.-J.; Degenhart, E.
Journal Article
1990Vorgehensweisen zur Kontaminationsminimierung bei Fertigungsgeräten
Warnecke, H.-J.; Kahlden, T. von; Schmutz, W.
Conference Paper
1989Auslegung unter strömungstechnischen Gesichtspunkten. Reinraumtaugliche Fertigungseinrichtungen
Warnecke, H.-J.; Degenhart, E.
Journal Article
1989Lokale Reinräume. Flexibles, fotolithographisches Prozeßzentrum für die Halbleiterfertigung
Warnecke, H.-J.; Frühauf, W.; Kelemen, M.; Mann, R.
Journal Article
1989Prozeßtechnische Aspekte fortschrittlicher Halbleiterfertigungsgeräte
Pfitzner, L.; Ryssel, H.; Schmutz, W.
Journal Article
1989Der Reinraum als Produktionsumfeld für die Halbleiterfertigung
Schmutz, W.
Conference Paper
1989Reinraum-Pneumatik. Konstruktive Unterschiede zu Standardkomponenten
Schmutz, W.
Journal Article
1989Reinraumtechnik
Siegfried, F.
Book Article
1989Trennung von Mensch und Produkt. Einsatz von Handhabungssystemen im Reinraum
Geißinger, J.; Schraft, R.D.
Journal Article
1989Trennung von Mensch und Produkt. Einsatz von Handhabungssystemen im Reinraum
Geißinger, J.; Schraft, R.D.
Journal Article
1989Vorgehensweise zur Kontaminationsminimierung bei Fertigungsgeräten
Warnecke, H.-J.; Kahlden, T. von
Conference Paper
1988Evaluation of semiconductor manufacturing equipment with respect to particle generation
Herz, R.; Kahlden, T. von; Schmutz, W.; Schraft, R.D.
Conference Paper
1988Fertigungstechnik im Reinraum. Nur so rein wie noetig - Trend zu hochautomatisierter Fertigung
Schraft, R.D.; Schmutz, W.
Journal Article
1988Procedures for testing clean room suitability of manufacturing equipment
Warnecke, H.-J.; Degenhart, E.; Geissinger, J.; Kahlden, T. von
Conference Paper
1988TUEV fuer Reinraeume. Pruefzentrum im IPA untersucht Reinraumtauglichkeit
Klumpp, B.; Schmutz, W.
Journal Article
1986Mikroelektronik und Reinraumtechnik
Ryssel, H.
Conference Paper