Fraunhofer-Gesellschaft

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Hier finden Sie wissenschaftliche Publikationen aus den Fraunhofer-Instituten.
2018Biokontaminationskontrolle
Keller, Markus
Book Article
2018Einführung und Konzeption einer Sauberfertigung
Rochowicz, Markus
Conference Paper
2018Einführung und Konzeption einer Sauberfertigung
Rochowicz, Markus
Conference Paper
2018Reinraum - Prozessplanung und -betrieb
Kreck, Guido; Ernst, Christian
Book Article
2018Reinraumtechnik
: Gail, Lothar (Hrsg.); Gommel, Udo (Hrsg.)
Book
2018Systeme und Konzepte der Reinraumtechnik
Ernst, Christian; Kreck, Guido
Book Article
2018Umgebung
Brag, Patrick
Conference Paper
2017"Reinraumfahrt" - Ansprüche und Lösungen
Rochowicz, Markus
Journal Article
2017Cleanroom suitability qualification of a six axis robot system for aseptic processing
Keller, Markus
Presentation
2017Einführung und Konzeption einer Sauberfertigung
Rochowicz, Markus
Conference Paper
2017Einführung und Konzeption einer Sauberfertigung
Rochowicz, Markus
Conference Paper
2017Qualification of a 6-axis robot system for hygienic processes
Keller, Markus; Boos, Stefanie; Baum, Gabriela; Schweizer, Marion; Bürger, Frank; Gommel, Udo
Book Article
2017Umgebung
Brag, Patrick
Conference Paper
2017Umgebung
Brag, Patrick
Conference Paper
2017Zellassemblierung in Clusterbauweise - Chancen und Betriebsstrategien in der Industrie 4.0
Giesen, Tim
Conference Paper
2016Assessment and selection of ultraprecision cleaning technologies
Gommel, Udo; Kreck, Guido; Holzapfel, Yvonne
Conference Paper
2016Cleanroom suitability of equipment: Assessment methodology according to 14644-14 and its verification
Gommel, Udo; Kreck, Guido; Bürger, Frank
Conference Paper
2016Cleanroom suitability qualification of a six axis robot system for sterile pharmaceutical manufacturing: Holistic approach
Keller, Markus; Baum, Gabriela; Boos, Stefanie; Brückner, Mathias; Bürger, Frank; Gommel, Udo
Journal Article, Conference Paper
2016Cleanroom suitability qualification of a six axis robot system for sterile pharmaceutical manufacturing: Holistic approach
Keller, Markus; Boos, Stefan; Baum, Gabriela; Schweizer, Marion; Bürger, Frank; Gommel, Udo
Conference Paper
2016Cleanrooms with low molecular organic contamination (MOC): From material classification measurements to different assessment methods regarding organic condensables
Keller, Markus; Weisser, Stefanie; Gommel, Udo
Conference Paper
2016Einführung und Konzeption einer Sauberfertigung
Rochowicz, Markus
Conference Paper
2016Einführung und Konzeption einer Sauberfertigung
Rochowicz, Markus
Conference Paper
2016Ganzheitliche Methode zur Auslegung von Reinräumen mit definierter organischer Luftreinheit
Keller, Markus
: Verl, Alexander (Hauptberichter)
Dissertation
2016Produkt und Teilereinigung
Metzmacher, Max
Conference Paper
2016Produkt und Teilereinigung
Metzmacher, Max
Conference Paper
2016Reinheitstechnik am Fraunhofer IPA
Gommel, Udo; Kreck, Guido
Journal Article
2016Umgebung
Brag, Patrick
Conference Paper
2016Umgebung
Brag, Patrick
Conference Paper
2015Einführung und Konzeption einer Sauberfertigung
Rochowicz, Markus
Conference Paper
2015Einführung und Konzeption einer Sauberfertigung
Rochowicz, Markus
Conference Paper
2015Einführung und Konzeption einer Sauberfertigung
Rochowicz, Markus
Conference Paper
2015Die Geschichte der ISO/TC 209
Gommel, Udo; Kreck, Guido
Journal Article
2015Der Industrieverbund MEDIclean
Kreck, Guido; Holzapfel, Yvonne
Journal Article
2015Mehr Sicherheit beim Einsatz von Verbrauchsmaterialien in der reinen Produktion
Bürger, Frank; Gommel, Udo; Brückner, Mathias; Käfer, Sven
Journal Article
2015MOC-Kondensationsrate - Neue Bewertungszahl für die Leistungsbeurteilung von Reinräumen?
Keller, Markus; Weisser, Stefanie
Journal Article
2015MOC-Kondensationsrate - Neue Bewertungszahl für die Leistungsbeurteilung von Reinräumen?
Keller, Markus; Weisser, Stefanie
Journal Article
2015MOC-Kondensationsrate - Neue Bewertungszahl für die Leistungsbeurteilung von Reinräumen?
Keller, Markus; Weisser, Stefanie
Journal Article
2015Produkt und Teilereinigung
Metzmacher, Max
Conference Paper
2015Sinnvolle Vorgaben machen
Rochowicz, Markus
Journal Article
2015Umgebung
Brag, Patrick
Conference Paper
2015Umgebung
Brag, Patrick
Conference Paper
2015Umgebung
Brag, Patrick
Conference Paper
2014Adsorption/Desorption von VPHP durch Materialien
Keller, Markus; Weisser, Stefanie; Hägele, Sonja
Presentation
2014Auch Möbel müssen hygienisch sein
Keller, Markus
Journal Article
2014Challenges in the assessment of the cleanroom suitability of equipment and materials
Gommel, Udo; Kreck, Guido; Holzapfel, Yvonne
Conference Paper
2014Controlled environments for VOC-sensitive manufacturing processes: From material classification to controlled IAQ in cleanrooms
Keller, Markus; Gommel, Udo; Verl, Alexander
Conference Paper
2014Controlled environments for VOC-sensitive manufacturing processes: From material classification to controlled IAQ in cleanrooms
Keller, Markus; Gommel, Udo
Conference Paper
2014CSM - Reinraumtaugliche Materialien. Eine Einführung
Gommel, Udo
Presentation
2014Dreidimensionale Erfassung von Partikeln
Brückner, Mathias; Bürger, Frank
Journal Article
2014Einführung und Konzeption einer Sauberfertigung
Rochowicz, Markus
Conference Paper
2014Einführung und Konzeption einer Sauberfertigung
Rochowicz, Markus
Conference Paper
2014Examples and case studies
Asbach, Christoph; Aguerre, Olivier; Bressot, Christophe; Brouwer, Derk H.; Gommel, Udo; Gorbunov, Boris; Bihan, Olivier le; Jensen, Keld Alstrup; Kaminski, Heinz; Keller, Markus; Koponen, Ismo Kalevi; Kuhlbusch, Thomas A.J.; Lecloux, Andre; Morgeneyer, Martin; Muir, Ian; Shandilya, Neeraj; Stahlmecke, Burkhard; Todea, Ana María
Book Article
2014Luftgetragene molekulare Verunreinigungen (ACC). Aktuelle Forschungsergebnisse
Keller, Markus; Weisser, Stefanie
Presentation
2014Die neue VDA 19
Rochowicz, Markus
Journal Article
2014Die neue VDA 19. Das Regelwerk zur Technischen Sauberkeit nach der Überarbeitung
: Verl, Alexander (Hrsg.); Bauernhansl, Thomas (Hrsg.)
Conference Proceedings
2014Particulate cleanliness and cleaning validation in fields ranging from automotive industry to medical devices
Gommel, Udo; Holzapfel, Yvonne; Kreck, Guido
Conference Paper
2014Particulate emissions from equipment used in ultra clean areas of the semiconductor industry
Gommel, Udo; Keller, Markus
Book Article
2014Personal
Brag, Patrick
Conference Paper
2014Reinraumtauglichkeit von Werkstoffen
Keller, Markus
Conference Paper
2014Research on hygienic flooring systems: Release of particle due to friction, chemical and biological resistance and cleanability
Keller, Markus; Gommel, Udo; Baum, Gabriela
Conference Paper
2014Technische Sauberkeit als messbares Produktmerkmal
Rochowicz, Markus
Conference Paper
2014Technische Sauberkeit: Bestimmung der partikulären Reinheit
Holzapfel, Yvonne; Kreck, Guido
Journal Article
2014Umgebung
Rochowicz, Markus
Conference Paper
2014Umgebung
Rochowicz, Markus
Conference Paper
2014Verbrauchsmaterialien für den Reinraum
Bürger, Frank
Conference Paper
2014Verfahren: CO2-Reinigung und CSM-Partikelemission Übertragung - Reinraumlabor Fraunhofer IPA
Bürger, Frank; Grimme, Ralf; Wiesner, Lisa; Kreck, Guido
Presentation
2013AMC: Luftgetragene chemische Kontaminationen
Keller, Markus
Presentation
2013Clean Manufacturing - Conception & Realisation. Using the example of the LuminaLED research and production facility and the PERiMETER quality competence center for Eastern Europe
Bürger, Frank
Presentation
2013CSM - Standardisierung durch die Industrie
Gommel, Udo
Presentation
2013Fraunhofer TESTED DEVICE®
Bürger, Frank
Journal Article
2013Kritische Kontaminationen in Zukunftsindustrien
Bürger, Frank; Brückner, Mathias; Gommel, Udo
Presentation
2013Project »LuminaLED« and »PERiMETER«. Conception, realization and ramp-up of a LED research center (LuminaLED) including a quality competence center for Eastern Europe (PERiMETER)
Wertz, Roland
Presentation
2013Prozessgeräte als Kontaminationsquellen
Bürger, Frank
Presentation
2013Reinheit in der Produktion - die heimlich boomende Qualitätsgröße in der Fertigungstechnik
Rochowicz, Markus
Presentation
2013Reinheits- und Reinraumtauglichkeit von Werkstoffen und Equipment
Gommel, Udo
Presentation
2013Reinigbarkeit filmischer Kontaminationen von Boden- und Wandbeschichtungen - angepasster Riboflavintest
Keller, Markus; Baum, Gabriela
Journal Article
2013ReinRaumfahrt für die ESA
Kreck, Guido
Journal Article
2013Reinraumtaugliche Materialien (CSM)
Keller, Markus; Gommel, Udo
Journal Article
2013Technische Sauberkeit: Bestimmung der partikulären Reinheit - von der Automobilindustrie bis zur Medizintechnik
Holzapfel, Yvonne; Kreck, Guido
Journal Article
2013Technische Sauberkeit: Bestimmung der partikulären Reinheit - von der Automobilindustrie bis zur Medizintechnik
Holzapfel, Yvonne; Kreck, Guido
Journal Article
2013Verbrauchsmaterialien für den Reinraum
Bürger, Frank; Brückner, Mathias; Gommel, Udo
Presentation
2012AMC: An emerging class of contamination
Keller, M.
Journal Article
2012Anforderungsprofil geringster Emissionen aus Werkstoffen
Bürger, Frank; Keller, Markus
Presentation
2012Die aufstrebende Kontaminationsart
Keller, Markus
Journal Article
2012Biokontaminationskontrolle
Keller, Markus
Journal Article
2012Biokontaminationskontrolle
Keller, Markus
Book Article
2012Classifying VOC emissions from cleanroom materials
Keller, Markus
Journal Article
2012A clean LED production for a clean environment
Gommel, Udo; Kreck, Guido
Journal Article
2012Comparable measurement of VOC-emissions from building materials followed by a standardized classification system
Keller, Markus; Gommel, Udo
Journal Article
2012Contamination Control für Life-Science Anwendungen - VDI 2083 Blatt 18 -
Keller, Markus
Presentation
2012Datenbank zu reinraumtauglichen Werkstoffen und Fertigungsanlagen
Gommel, Udo
Presentation
2012Forschung Reinraumbodensysteme
Keller, Markus; Gommel, Udo
Journal Article
2012Hygienic Design in der Life Science Industrie: Konsequente Umsetzung der hygienischen Designvorgaben am Beispiel eines Edelstahlmöbels
Keller, Markus
Journal Article
2012Materials of construction: Flooring material. Hygienic requirements
Keller, Markus
Presentation
2012Measurement and classification method regarding the emission of volatile organic compounds from cleanroom materials
Keller, Markus; Gommel, Udo; Verl, Alexander
Conference Paper
2012Reinheitsgerechte Auslegung von Maschinen und Anlagen
Rochowicz, Markus; Keller, Markus; Bürger, Frank
Journal Article
2012Reinheitsspezifikationen der Halbleiterindustrie an Werkstoffen
Gommel, Udo
Presentation
2012Reinheitsvalidierung hinsichtlich partikulärer Kontaminationen
Kreck, Guido
Presentation
2012Reinigbarkeit von Oberflächen
Keller, Markus; Waldner, Alina; Baum, Gabriela
Journal Article
2012Reinraum - Prozessplanung und -betrieb
Kreck, Guido; Ernst, Christian
Book Article
2012Reinraumtechnik. 3., aktual. und erw. Aufl.
: Gail, Lothar (Hrsg.); Gommel, Udo (Hrsg.); Hortig, Hans-Peter (Hrsg.)
Book
2012Systeme und Konzepte der Reinraumtechnik
Ernst, Christian; Schmauz, Günther; Kreck, Guido
Book Article
2012VDI 2083 Blatt 9.2: Reinraumgerechte Verbrauchsmaterialien
Bürger, Frank
Presentation
2012VDI 2083-17: New test procedure to determine comparable specific emission rates from material surfaces
Keller, Markus
Presentation
2012Werkstoffe für die sauberkeitskritische Produktion
Gommel, Udo
Presentation
2012Werkstoffe für Life-Science-Anwendungen
Keller, Markus
Presentation
2012Wie sauber ist Ihr Reinstwasser?
Keller, Markus
Journal Article
2012Das Zusammenspiel Technik und Kleidung/Verbrauchsmaterialien
Bürger, Frank
Presentation
2011Anforderungen an Produktionsanlagen in der Life-Science Industrie
Keller, Markus
Presentation
2011Bestimmung der spezifischen VOC-Emissionsrate von Materialoberflächen
Keller, Markus
Presentation
2011Biokontaminationskontrolle
Keller, Markus
Conference Paper
2011Cleanroom suitability of materials and equipments
Gommel, Udo
Conference Paper
2011Detection and Avoidance of Contaminations on Solar Wafer and Cells
Bürger, Frank; Wertz, Roland; Verl, Alexander
Conference Paper
2011The Fraunhofer IPA Industrial Alliance "CSM"
Gommel, Udo
Conference Paper
2011Im Sinne der Gesundheit
Keller, Markus; Grimme, Ralf; Ernst, Christian
Journal Article
2011LuminaLED cleanroom lab
Gommel, Udo
Conference Paper
2011Messtechniken zur Charakterisierung von Reinräumen
Bürger, Frank
Conference Paper
2011Mobiles Probenahmesystem
Keller, Markus
Journal Article
2011Nachlese CSM-Treffen 2011
Keller, Markus
Journal Article, Conference Paper
2011Outgassing of clean room suitable materials (CSM)
 
Conference Proceedings
2011Partikelemission, chemische Resistenz und Reinigbarkeit von Werkstoffen
Gommel, Udo
Presentation
2011Prüfung der Sauberkeitsqualität
Ernst, Christian
Conference Paper
2011Reinraumtaugliche Betriebsmittel
Kreck, Guido
Conference Paper
2011Reinraumtauglichkeit von Werkstoffen
Keller, Markus
Conference Paper
2011Reinster Reinraum
Pidun, Ursula; Keller, Markus
Journal Article
2011Reinstwasseranalytik - Wie sauber ist Ihr Reinstwasser?
Keller, Markus
Journal Article
2011Reinstwasseranalytik: Wie sauber ist Ihr Reinstwasser?
Keller, Markus
Journal Article
2011Verbrauchsmaterialien: Reinraum- und Reinheitstauglichkeit - Begriffe, Testverfahren, Prüfungen
Bürger, Frank; Gommel, Udo
Conference Paper
2011VOC emissions test method
Keller, Markus
Journal Article
2011Werkstoffe für den Einsatz unter sauberkeitskritischen Bedingungen
Gommel, Udo; Bürger, Frank
Conference Paper
2011Wie sauber ist Ihr Reinstwasser?
Keller, Markus
Journal Article
2010Clean environment and equipment for precision assembly
Bürger, Frank; Gommel, Udo
Presentation
2010Clean technology for the ultra barrier layer production
Bürger, Frank
Presentation
2010Cleanroom suitability of equipments
Gommel, Udo; Bürger, Frank
Conference Paper
2010E-Mobility. Reinheitstaugliche Anlagenkonzepte statt mehr Reinraum
Rochowicz, M.; Schmauz, G.
Journal Article
2010Emissionen reinraumtauglicher Materialien
Keller, Markus
Journal Article
2010Informationsveranstaltung "Technische Sauberkeit von Blechumformteilen"
: Rochowicz, Markus (Referent); Ernst, Christian (Referent); Schmauz, Günther (Referent)
Conference Proceedings
2010Die Life-Science-Industrie
Keller, Markus
Journal Article
2010Messtechniken zur Charakterisierung von Reinräumen
Bürger, Frank
Conference Paper
2010Particle detection in the barrier layer production
Bürger, Frank
Presentation
2010Prüfung der Sauberkeitsqualität
Ernst, Christian
Conference Paper
2010Prüfung von Devices für die Medizintechnik
Gommel, Udo; Keller, Markus
Conference Paper
2010Reinraumtaugliche Betriebsmittel
Kreck, Guido
Conference Paper
2010Reinraumtaugliche Materialien
Keller, Markus; Gommel, Udo
Conference Paper
2010Reinraumtauglichkeit von Werkstoffen
Keller, Markus
Conference Paper
2010VDI 2083-17: VOC emissions from material surfaces
Keller, Markus; Bürger, Frank
Conference Paper
2009Design and test of industrial robots for the use in cleanrooms
Gommel, Udo; Keller, Markus
Conference Paper
2009Design von Equipment im reinen und hygienischen Bereich
Bürger, Frank; Schweizer, Marion
Book Article
2009Die Entwickler - Fraunhofer IPA
Bürger, Frank
Journal Article
2009Industrielle Produktion im Reinraum
Gommel, Udo; Keller, Markus
Presentation
2009Mechatronics Seminar 2009
: Granrath, L.
Conference Proceedings
2009Projektplanung Reinraumtechnik
: Gail, Lothar (Hrsg.); Gommel, Udo (Hrsg.); Weißsieker, Horst (Hrsg.)
Book
2009Reines Equipment. Mit Strömungssimulation Kontaminationsquellen vermeiden
Bürger, Frank
Journal Article
2009Reinraum- und Reinheitstauglichkeit von Materialien, Komponenten und Maschinen
Keller, Markus
Presentation
2009Reinraumtaugliche Materialien / Reinraumtaugliches Design
Keller, Markus
Conference Paper
2009Reinraumtaugliches Equipment Design
Gommel, Udo; Keller, Markus
Conference Paper
2008Equipment design for clean room use
Gommel, Udo; Bürger, Frank; Kreck, Guido; Keller, Markus
Conference Paper
2008Grundlagen der Reinraumtechnik und Personalverhalten - Trends in der reinen Produktion
Gommel, Udo
Conference Paper
2008Messtechniken zur Charakterisierung von Reinräumen
Bürger, Frank
Conference Paper
2008Methoden und Geräte zur Kontaminationskontrolle technischer Oberflächen
Grimme, Ralf; Schmauz, Günther; Modrich, Kai-Udo
Journal Article
2008Praxisnahe Filter-Prüfverfahren - Machbarkeitsstudie
Ernst, Christian; Gröning, Martin
Conference Paper
2008Produkthandhabung, Logistik und Reinraum
Schmauz, Günther
Conference Paper
2008Qualität als Ganzes
Rochowicz, Markus
Conference Paper
2008Reines Design von Equipment
Bürger, Frank; Gommel, Udo
Journal Article
2008Reinraumgerechtes Anlagen- und Equipment Design / Computational Fluid Dynamics (CFD)
Bürger, Frank; Gommel, Udo
Journal Article
2008Reinraumtaugliche Betriebsmittel
Kreck, Guido
Conference Paper
2008Reinraumtauglichkeit von Verbrauchsmaterialien - Anforderungen und Prüfmöglichkeiten
Bürger, Frank; Kreck, Guido
Presentation
2008Reinraumtauglichkeit von Werkstoffen
Keller, Markus
Conference Paper
2007Assessment of the cleanroom suitability of material pairings for use in cleanroom applications
Gommel, Udo
Conference Paper
2007Contamination control techniques on surfaces
Rochowicz, Markus
Conference Paper
2007Grundlagen der Reinraumtechnik und Personalverhalten - Trends in der reinen Produktion
Gommel, Udo
Conference Paper
2007Messtechniken zur Charakterisierung von Reinräumen
Bürger, Frank
Conference Paper
2007Partikelschmutz trotz sauberer Bauteile
Rochowicz, Markus; Ernst, Christian
Journal Article
2007Produkthandhabung, Logistik und Reinraum
Schmauz, Günther
Conference Paper
2007Qualität als Ganzes - VDI 2083
Rochowicz, Markus
Conference Paper
2007Reinraum- und Reinheitstauglichkeit von Werkstoffen
Gommel, Udo
Conference Paper
2007Reinraumtaugliche Betriebsmittel
Kreck, Guido
Conference Paper
2007Reinraumtaugliche Materialien - Aktueller Stand bei der Bewertung der Reinraum- und Reinheitstauglichkeit von Werkstoffen
Gommel, Udo
Conference Paper
2007Reinraumtauglichkeit von Werkstoffen
Gommel, Udo
Conference Paper
2007Sauberkeit als messbares Produktmerkmal
Rochowicz, Markus
Conference Paper
2007Werkstoffe auf dem Prüfstand
Rapp, Alexander; Gommel, Udo
Journal Article
2007Werkstoffe für den Einsatz in reinen Bereichen
Westkämper, Engelbert; Smolinski, Dirk; Kreck, Guido; Gommel, Udo
Journal Article
2006Entwicklung eines universellen und mobilen Kommunikationsframeworks "Message to Anywhere" in Hightech-Branchen (M2A)
Knoll, G.; Stiedl, T.; Gutbrodt, F.
Report
2006Fertigen unter reinen Bedingungen
 
Conference Proceedings
2006Grundlagen der Reinraumtechnik und Personalverhalten - Trends in der reinen Produktion
Schüle, A.
Conference Paper
2006Grundlagen der Reinraumtechnik und Personalverhalten - Trends in der reinen Produktion
Gommel, U.
Conference Paper
2006Messtechniken in der Reinraumluft zur Abnahme von Reinräumen
Grimme, R.
Conference Paper
2006Messtechniken in der Reinraumluft zur Abnahme von Reinräumen
Bürger, F.
Conference Paper
2006On-line monitoring and identification of bioaerosols
Rösch, P.; Harz, M.; Peschke, K.-D.; Ronneberger, O.; Burkhardt, H.; Schüle, A.; Schmauz, G.; Lankers, M.; Hofer, S.; Thiele, H.; Motzkus, H.-W.; Popp, J.
Journal Article
2006Das Reinheitsgebot der Mikrotechnik
Gommel, U.
Journal Article
2006Reinraumtauglichkeit von Werkstoffen
Gommel, U.
Conference Paper
2006Reinraumtauglichkeit von Werkstoffen
Gommel, U.
Conference Paper
2006Sauberkeit als messbares Produktmerkmal
Rochowicz, M.
Conference Paper
2006Sauberkeitsqualität als Ganzes
Ernst, C.
Conference Paper
2006Sauberkeitsqualität als Ganzes
Rochowicz, M.
Conference Paper
2006Verfahren zur Bestimmung der Reinraumtauglichkeit von Werkstoffpaarungen
Gommel, U.
Dissertation
2005Advanced production technologies in the photovoltaic industries
Dorner, J.
Conference Paper
2005Direct evaluation of the particulate cleanliness of surface
Schmauz, G.; Grimme, R.
Conference Paper
2005Grundlagen der Reinraumtechnik und Personalverhalten - Trends in der reinen Produktion
Schüle, A.
Conference Paper
2005Messtechniken in der Reinraumluft zur Abnahme von Reinräumen
Grimme, R.
Conference Paper
2005Methoden und Geräte zur Kontaminationskontrolle technischer Oberflächen
Grimme, R.; Schmauz, G.; Modrich, K.-U.
Conference Paper
2005Neue Verfahren zum chemisch-mechanischen Reinigen von Einzelwafern für Sub-100-mm-Technologie - CMC Cleaner
: Gentischer, Josef (Projektleiter)
Study
2005Reinraumtaugliche Werkstoffe
Gommel, U.
Journal Article
2005Reinraumtauglichkeit kundenspezifischer Werkstoffe
Gommel, U.; Rapp, A.
Journal Article
2005Reinraumtauglichkeit von Werkstoffen
Gommel, U.
Conference Paper
2005Sauberkeitsqualität als Ganzes
Ernst, C.
Conference Paper
2005Simulationsbaukasten für die Halbleiter- und Flachbildschirmfertigung
Bader, U.
Dissertation
2005Universal communications through message to anywhere (Poster Presentation)
Knoll, G.
Conference Paper
2004Anwendungen in der Praxis - Abnahme von Reinräumen nach VDI-Richtlinie 2083 Blatt 3
Rapp, A.
Conference Paper
2004Cleanroom suitable materials: Methods of testing and classification
Gommel, U.
Conference Paper
2004Energiezuführungen für den Reinraum auf dem Prüfstand
Gommel, U.; Nehring, H.
Journal Article
2004Factory logistics in cleanroom manufacturing, material flow, material scheduling and automation
 
Conference Proceedings
2004Fertigen unter reinen Bedingungen. Messtechnisches Praktikum 2004
 
Conference Proceedings
2004Grundlagen der Reinraumtechnik und Personalverhalten - Trends in der reinen Produktion
Schüle, A.
Conference Paper
2004In-situ detection of biocontamination on technical surfaces
Schüle, A.; Schmauz, G.; Schmitt, R.
Conference Paper
2004Manufacturing engineering for nanoproduction
Jäger, T.; Werner, D.; Stock, A.
Book Article
2004Preparation of contaminated monitor surfaces
Schmauz, G.; Schüle, A.; Gerami Sarabi, L.
Conference Paper
2004Saubere Sache
Gommel, U.
Journal Article
2004Sauberkeitsqualität als Ganzes
Ernst, C.
Conference Paper
2004Training mit Feedback für den virtuellen Reinraum
Fisser, F.; Joosten, H.; Shligerskiy, M.
Journal Article
2004Universal and mobile messaging framework M2A "Message to anywhere" for laboratory automation
Knoll, G.; Dorner, J.; Bölstler, F.; Seidelmann, J.
Conference Paper
2003Fertigen unter reinen Bedingungen. Messtechnisches Praktikum 2003
 
Conference Proceedings
2003Grundlagen der Reinraumtechnik und Personalverhalten - Trends in der reinen Produktion
Schüle, A.
Conference Paper
2003Messtechniken in der Reinraumluft zur Abnahme von Reinräumen
Rapp, A.
Conference Paper
2003Qualitätsverbesserung in reinen Produktionen
Ernst, C.
Conference Paper
2003Universal simulation kit in micro-production
Wiechers, O.; Zehtaban, M.; Seidelmann, J.; Schließer, J.
Conference Paper
2002"Reinheitstechnische" Logistik
Schließer, J.
Conference Paper
2002Fertigen unter reinen Bedingungen. Messtechnisches Praktikum 2002
 
Conference Proceedings
2002Fertigungsanlagen
Werner, D.
Conference Paper
2002Grundlagen der Reinraumtechnik und Personalverhalten - Trends in der reinen Produktion
Schüle, A.
Conference Paper
2002Integrales Reinheitssystem
Schließer, J.; Werner, D.
Book Article
2002Materialien zur Verwendung unter reinen Bedingungen
Gommel, U.
Conference Paper
2002Medien
Ernst, C.
Conference Paper
2002Messtechniken in der Reinraumluft zur Abnahme von Reinräumen
Schließer, J.
Conference Paper
2002Personal
Schließer, J.
Conference Paper
2002Produktionsmittel-Prüfung auf Reinheitstauglichkeit
Gommel, U.; Schließer, J.; Rapp, A.
Book Article
2002Produzieren unter reinen Bedingungen
Schließer, J.; Ernst, C.; Werner, D.
Conference Paper
2002Qualitätsverbesserung in reinen Produktionen
Ernst, C.
Conference Paper
2002Qualitätswesen
Ernst, C.
Conference Paper
2002Reinraumtechnik
Werner, D.
Conference Paper
2002Saubere Sache
Gommel, U.; Rapp, A.
Journal Article
2002Sauberkeitsgerechte Produktionsgestaltung
Schließer, J.; Rochowicz, M.
Conference Paper
2002XML- und Java-basiertes modulares Produktionssystem
Bengel, M.; Braatz, A.
Conference Paper
2001Elektrostatik - Ursachen, Wirkungen und Maßnahmen
Matuschek, P.
Conference Paper
2001Fertigen unter reinen Bedingungen. Messtechnisches Praktikum 2001
 
Conference Proceedings
2001Grundlagen der Reinraumtechnik und Personalverhalten - Trends in der reinen Produktion
Schüle, A.
Conference Paper
2001Kontaminationsarme Verarbeitung: Gezielter Einsatz der Reinraumtechnik kann Konkurrenzfähigkeit der Produkte verbessern
Schließer, J.; Huen, J.
Journal Article
2001Materialien, Komponenten, Anlagen und ihr Einfluss auf die staubfreie Reinstfertigung
Schließer, J.; Gommel, U.
Conference Paper
2001Messtechniken in der Reinraumluft zur Abnahme von Reinräumen
Schließer, J.
Conference Paper
2001The Miniaturization of Components and Parts in Mechanical Engineering
Westkämper, E.
Conference Paper
2001Qualitätsverbesserung in reinen Produktionen
Ernst, C.
Conference Paper
2001Das Reinheitssystem von der Idee bis zum Service
Gommel, U.; Pietsch, W.
Journal Article
2000Abnahme von Reinräumen nach VDI-Richtlinie 2083 Blatt 3
Schließer, J.
Conference Paper
2000Betrieb von Reinräumen
Werner, D.
Conference Paper
2000CleanRooms Europe 2000. Conference proceedings
 
Conference Proceedings
2000CO2-Verfahren zur Konditionierung nichtmetallischer Grenzflächen
Werner, D.; Zorn, C.
Conference Paper
2000Fertigen unter reinen Bedingungen. Meßtechnisches Praktikum 2000
 
Conference Proceedings
2000Fertigungsanlagendesign für reine Produktionsumgebungen
Gommel, U.
Conference Paper
2000Grundlagen und Anwendungen der Reinraumtechnik
Werner, D.
Conference Paper
2000Kontaminanten im Griff
Schließer, J.; Huen, J.
Journal Article
2000Messtechniken in der Reinraumluft zur Abnahme von Reinräumen
Schließer, J.
Conference Paper
2000The Miniaturization of Components and Parts in Mechanical Engineering
Westkämper, E.
Conference Paper
2000Montage in der Sauber- und Reinstfertigung
Schließer, J.
Conference Paper
2000Präzisionsreinigung von Mikrostrukturen mittels UV-Laser
Rochowicz, M.; Grimme, R.; Schäfer, W.
Conference Paper
2000Qualitätsverbesserung in reinen Produktionen
Ernst, C.
Conference Paper
2000Qualitätsverbesserungen in reinen Produktionen
Ernst, C.
Conference Paper
2000Tendances actuelles dans la production ultra-propre
Schließer, J.; Huen, J.
Journal Article
2000Trends in der "Reinen" Produktion
Schließer, J.
Conference Paper
2000Überwachung der Oberflächenreinheit von Bauteilen und Einrichtungen im reinen Umfeld
Grimme, R.; Rochowicz, M.
Conference Paper
2000Verfahren zur Reinheitskontrolle
Ernst, C.
Conference Paper
1999Anwendungen in der Praxis - Abnahme von Reinräumen nach VDI-Richtlinie 2083 Blatt 3
Schließer, J.
Conference Paper
1999CleanRooms Europe 1999. Conference proceedings
 
Conference Proceedings
1999Fertigen unter reinen Bedingungen. Meßtechnisches Praktikum 1999
 
Conference Proceedings
1999Grundlagen der Reinraumtechnik und Trends in der reinen Produktion
Gaugel, T.; Schließer, J.
Conference Paper
1999Grundlagen und Anwendungen der Reinraumtechnik
Dorner, J.
Conference Paper
1999Integrales Reinheitssystem
Werner, D.; Schließer, J.
Conference Paper
1999Meßeinrichtung zur direkten Unterscheidung von luftgetragenen biotischen und abiotischen Partikeln
Kölblin, R.
Dissertation
1999Meßtechnik im Reinraum
Ernst, C.
Conference Paper
1999Meßtechnik in der Sauber- und Reinstfertigung
Ernst, C.; Matuscheck, P.; Naffin, F.
Journal Article
1999Meßtechniken in der Reinraumluft zur Abnahme von Reinräumen
Schließer, J.
Conference Paper
1999Minienvironments and Thermal Effects
Schließer, J.; Staudt-Fischbach, P.
Conference Paper
1999Oberflächen-Partikelmeßtechnik
Grimme, R.; Rochowicz, M.
Conference Paper
1999Optimierung von Reinraumproduktionen
Dorner, J.; Schließer, J.; Ernst, C.; Werner, D.
Conference Paper
1999Personal im Reinraum
Werner, D.
Conference Paper
1999Personal und Hygiene im Reinraum
Güth, A.
Conference Paper
1999Qualification for Cleanroom Suitability
Gommel, U.
Conference Paper
1999Qualifizierung von Betriebsmitteln für die Sauber- und Reinstfertigung
Gommel, U.; Matuscheck, P.; Ernst, C.; Schließer, J.
Journal Article
1999Qualitätsverbesserungen in reinen Produktionen
Ernst, C.
Conference Paper
1999The Quality Chain for (U)HP Media and Joint Media in its Meaning
Dorner, J.; Matuscheck, P.; Ernst, C.
Conference Paper
1999Reinraumtauglichkeit von Betriebsmitteln
Schließer, J.; Gommel, U.
Conference Paper
1999Reinraumtauglichkeit von Produktionseinrichtungen und Verbrauchsgütern
Gommel, U.; Schließer, J.
Conference Paper
1999Standardisierungslösungen für ein modulares Fertigungssystem in der Mikrotechnik
Bader, U.; Schließer, J.; Hägele, K.-D.; Weinmann, A.
Journal Article
1999Strömung und Verhalten im Reinraum (Versuch 7)
Gaugel, T.
Conference Paper
1999Using an Adapted Strategy of Optimizing Cleanroom Production Sites
Schließer, J.; Werner, D.
Conference Paper
1999A View to the Future - A Modular Simulation Kit for Cost-Efficient Fab-Wide Planning and the Simulation of Automated Material Handling Systems in the Semiconductor Industry
Bader, U.; Besler, A.; Schließer, J.; Dorner, J.
Conference Paper
1998Anwendung in der Praxis - Abnahme von Reinräumen
Schließer, J.
Conference Paper
1998Cleanroom Technology 1998
: Kaufmann, T.; Gommel, U.
Conference Proceedings
1998Elektrostatik im Reinraum
Koptik, V.
Conference Paper
1998Fertigungstechnik im Reinraum. Meßtechnisches Praktikum '98
 
Conference Proceedings
1998Meßtechnik im Reinraum
Ernst, C.
Conference Paper
1998Meßtechniken in der Reinraumluft zur Abnahme von Reinräumen
Schließer, J.
Conference Paper
1998Personal im Reinraum
Werner, D.
Conference Paper
1998Personnel in Cleanrooms
Werner, D.
Conference Paper
1998Produzieren unter reinen Bedingungen: Grundlagen, Maßnahmen zur Qualitätssicherung und Trends
: Dorner, J.
Conference Proceedings
1998Qualification of Products for Equipping Cleanrooms
Gommel, U.
Conference Paper
1998Qualification of Products for Equipping Cleanrooms
Dorner, J.
Conference Paper
1997Elektrostatik im Reinraum
Koptik, V.
Conference Paper
1997Fertigungstechnik im Reinraum. Meßtechnisches Praktikum '97
 
Conference Proceedings
1997Meßtechniken in der Reinraumluft zur Abnahme von Reinräumen
Schließer, J.
Conference Paper
1997Meßverfahren zur Überwachung der Umgebungsluft hinsichtlich biotischer und abiotischer partikulärer Kontaminationen
Kölblin, R.
Conference Paper
1997Partikelmeßdatenverarbeitung
Naffin, F.
Conference Paper
1997Reinraumtechnik '97: Qualifizierung und Überwachung. Reinraum und Reinstmedien
 
Conference Proceedings
1997Verfahren zur Konzeption automatischer reinraumtauglicher Fertigungsanlagen und -zellen
Kaun, R.
Dissertation
1996Cleanroom Technology
: Dorner, J.; Klumpp, B.
Conference Proceedings
1996Cleanroom Technology
: Dorner, J.; Kaufmann, T.S.
Conference Proceedings
1996Design Methods and Recommended Practices for Developing a Minienvironment System
Schließer, J.; Klumpp, B.
Conference Paper
1996Development Trends and Cleanroom Concepts in the Industrial Production of Microelectromechanical Systems
Grimme, R.; Schünemann, M.; Schließer, J.; Kaufmann, T.S.; Schäfer, W.
Conference Paper
1996Development Trends and Cleanroom Concepts in the Industrial Production of Microelectromechanical Systems
Grimme, R.; Schünemann, M.; Schließer, J.; Kaufmann, T.S.; Schäfer, W.
Conference Paper
1996Experiences with thermal effects in minienvironments and methods for obtaining and optimized airflow pattern
Schließer, J.; Limperich, D.
Conference Paper
1996Fertigungstechnik im Reinraum. Meßtechnisches Praktikum '96
 
Conference Proceedings
1996Grundlagen der Streulichtpartikelmessung
Ernst, C.
Conference Paper
1996Materialien, Anforderungen und einfache Reinheitsprüfverfahren für Oberflächen der Reinraum-Fertigungsumgebung
Werner, D.
Conference Paper
1996Modulares Gerätekonzept zur Mikrolinsenmontage
Grimme, R.; Schlenker, D.; Stock, A.; Schäfer, W.
Conference Paper
1996New Cleanroom and Cleanliness Concepts for Microsystem Production
Dorner, J.; Grimme, R.; Schünemann, M.; Schließer, J.; Kaufmann, T.S.; Schäfer, W.
Conference Paper
1996Oberflächen im Reinraum - Reinigung und Trocknung
Schüle, A.
Conference Paper
1996Optimization of cleanroom production sites
Klumpp, B.; Schließer, J.; Dorner, J.
Conference Paper
1996Particle measurements in turbulent flow areas as as part of investigations at cleanroom equipment
Kahlden, T. von
Conference Paper
1996Partikelmessung in der Luft und Abnahmemessung von Reinräumen
Grimme, R.; Kaufmann, T.S.
Conference Paper
1996Produktion im reinen Umfeld - Branchen, Beispiele, Trends
Dorner, J.
Conference Paper
1996Qualitätssicherung in Reinräumen
Kölblin, R.; Herzog, O.
Conference Paper
1996Reinraumtechnik zur Fertigung von Displays
Dorner, J.
Conference Paper
1996Vorbereitung zur GMP / FDA-Validierung einer reinen Produktion
Kölblin, R.
Conference Paper
1995Fertigungsoptimierung - Reduzierung von schmutzbedingter Nacharbeit und Feldausfällen
Kölblin, R.
Conference Paper
1995Fertigungstechnik im Reinraum. Meßtechnisches Praktikum '95
 
Conference Proceedings
1995Materialien für Reinraumanwendungen
Werner, D.; Kölblin, R.
Conference Paper
1995Medienversorgungssysteme
Dorner, J.
Conference Paper
1995Oberflächen im Reinraum - Partikelmessung und Reinigung
Klumpp, B.
Conference Paper
1995An Optimized Procedure for Process Equipment and Minienvironment Specification with PWP Measurement
Klumpp, B.; Mayer, S.; Schließer, J.
Conference Paper
1995Partikelmessung in Luft und Abnahmemessungen von Reinräumen
Grimme, R.
Conference Paper
1995Personal und Fertigung im Reinraum
Schließer, J.
Conference Paper
1995Produktion im reinen Umfeld - Branchen, Beispiele, Trends
Dorner, J.
Conference Paper
1995Qualitätssicherung in Reinräumen
Herzog, O.
Conference Paper
1995Werkstückhandhabung
Warnecke, H.-J.
Book Article
1994Designing methods to obtain a less contaminated air-flow at the product level
Schließer, J.
Conference Paper
1994Fertigungsoptimierung - Reduzierung von schmutzbedingter Nacharbeit und Feldausfällen
Müller, B.
Conference Paper
1994Fertigungstechnik im Reinraum. Meßtechnisches Praktikum '94
 
Conference Proceedings
1994Industrieroboter im Reinraum
Geißinger, J.; Kaun, R.
Book Article
1994IPA-Workshop - "Fertigungstechnik im Reinraum - Meßtechnisches Praktikum"
Dorner, J.; Huppert, U.; Müller, B.
Conference Paper
1994Materialien für Reinraumanwendungen. Einfache Methoden zur Qualifizierung von Kontaminationen auf technischen Oberflächen
Kölblin, R.
Conference Paper
1994Oberflächen im Reinraum - Partikelmessung und Reinigung
Klumpp, B.
Conference Paper
1994Optimierte Durchführung von Partikelmessungen durch Steigerung des Know-hows des Meßdurchführenden
Kahlden, T. von
Conference Paper
1994Optimierung Reiner Fertigungen unter Gesichtspunkten minimalster Betriebskosten bei maximaler Reinheit
Klumpp, B.; Müller, B.
Conference Paper
1994Partikelmessung in Luft und Abnahmemessungen von Reinräumen
Grimme, R.
Conference Paper
1994Personal und Fertigung im Reinraum
Schließer, J.
Conference Paper
1994Produktion im reinen Umfeld - Branchen, Beispiele, Trends
Müller, B.
Conference Paper
1994Der Prozeßreinraum - Neue Strategien zur Qualitätssteigerung am Produkt
Schließer, J.
Conference Paper
1994Qualitätssicherung in Reinräumen
Herzog, O.
Conference Paper
1993Abnahmemessungen von Reinräumen - Meßgeräte und deren Einsatzgrenzen
Kahlden, T. von
Journal Article
1993Alles im Reinen - Fertigungsoptimierung im Reinraum
Herzog, O.
Book Article
1993Entwurf von Leitsystemen - Produktionstechnik im Reinraum
Warnecke, H.-J.; Herzog, O.
Journal Article
1993Feinstreinigung von Oberflächen
Klumpp, B.
Conference Paper
1993Fertigungsoptimierung
Müller, B.
Conference Paper
1993Fertigungstechnik im Reinraum. Meßtechnisches Praktikum '93
 
Conference Proceedings
1993Materialfluß bei Clustertools
Bader, U.
Conference Paper
1993Meßgeräte und Vorgehensweisen bei Abnahmemessungen in Reinräumen
Kahlden, T. von
Conference Paper
1993Partikelmessung in Luft und Abnahmemessungen von Reinräumen
Grimme, R.; Kahlden, T. von
Conference Paper
1993Personal und Fertigung im Reinraum
Kahlden, T. von
Conference Paper
1993Prüfverfahren zur Untersuchung der Partikelreinheit technischer Oberflächen
Klumpp, B.
Dissertation
1993Saubermänner - Konzeption und Entwicklung von hochautomatisierten Geräten für Reinraumfertigungen
Müller, B.
Book Article
1993Simulationsgestützte Planungsmethodik zur Integration von Materialdistributionssystemen
Bader, U.
Conference Paper
1993Standardisierung.
Dorner, J.
Conference Paper
1992Airflow considerations in the design of production facilities in cleanrooms
Degenhart, E.
Journal Article
1992Automatisierungskonzepte und -komponenten für Reinraumanwendungen
Frühauf, W.
Conference Paper
1992Durchgängiges Reinheitskonzept. Was es bei der Teilereinigung unter Reinraumbedingungen zu beachten gilt
Dorner, J.; Klumpp, B.
Journal Article
1992Einfluß von Schmierstoffen auf die Partikelemission von Anlagen. Optimierung von Anlagen
Kaun, R.; Magunna, J.
Journal Article
1992Einsatzmöglichkeiten von OSF/Motif für Produktionsanlagen im Reinraum
Herzog, O.
Conference Paper
1992Entwicklungsrichtlinien für reinraumtaugliche Fertigungsgeräte
Degenhart, E.
Conference Paper
1992Fertigung unter Reinraumbedingungen
Dorner, J.
Conference Paper
1992The future practice on contamination control. ICCS Symposium
Kahlden, T. von; Schließer, J.
Conference Paper
1992Inbetriebnahme von Reinräumen
Kahlden, T. von
Journal Article
1992Instrumentation for measuring and monitoring cleanroom suitability of equipment
Kahlden, T. von
Conference Paper
1992Partikelmessung auf Oberflächen. Vielzahl von Verfahren
Warnecke, H.-J.; Klumpp, B.
Journal Article
1992Qualifizierung von Fertigungsgeräten und Komponenten für den Einsatz unter Reinraumbedingungen
Kahlden, T. von
Conference Paper
1992Reibbeanspruchte Materialien für Reinraumanwendungen
Kaun, R.
Conference Paper
1992Reinigung technischer Oberflächen
Klumpp, B.
Conference Paper
1992Spezifikationen von Reinraum-Monitoring-Systemen
Schäfer, W.
Conference Paper
1992Strömungstechnische Auslegung reinraumtauglicher Fertigungseinrichtungen
Degenhart, E.
Dissertation
1991Handhabungstechnik im Reinraum
Kaun, R.
Conference Paper
1991Herstellung reinraumgerechter Fertigungsmittel
Kahlden, T. von
Conference Paper
1991Hohes Automatisierungspotential in der Chip-Produktion. Kommunikation als Schwachstelle, Fertigungszellen sollen Automatisierungsgrad im Reinraum erhöhen
Schäfer, W.; Wohnhas, S.
Journal Article
1991Materialdistribution und neue Konzepte für die Fertigung im Reinraumbereich
Frühauf, W.
Conference Paper
1991Meßtechnisches Praktikum im Reinraum 1991
 
Conference Proceedings
1991Partikelmessungen auf Oberflächen
Klumpp, B.
Conference Paper
1991Partikelmessungen in der Luft
Kahlden, T. von
Conference Paper
1991Reinraum und Arbeitsbereich. Anforderungen, Umgebungsüberwachung. Federal Standard 209D vom 15. Juni 1988, ersetzt Federal Standard 209C vom 27. Oktober 1987
: Kahlden, T. von
Book
1991Reinraumgerächt. Bei der Herstellung von Fertigungsmitteln für Reinräume rächen sich kleine Fehler mit großer Wirkung
Kahlden, T. von
Journal Article
1991Reinraumgerechte Konstruktion und Materialien
Degenhart, E.; Geißinger, J.
Conference Paper
1991Reinraumtauglichkeit von Materialien
Kaun, R.
Conference Paper
1991Systematical concept and statistical evaluation of airborne particle measurements during testing equipment for cleanroom suitability
Warnecke, H.-J.; Kahlden, T. von
Conference Paper
1991Systematische Vorgehensweise und statistische Auswertung von Messungen luftgetragener Partikel bei Untersuchungen von Fertigungsgeräten auf Reinheitstauglichkeit
Kahlden, T. von
Conference Paper
1991Wirtschaftliches Reinraumkonzept
Fissan, H.; Stamm, W.; Bussing, H.; Kück, H.
Journal Article
1990Anwendungen - Handhabungssysteme in Reinraumfertigungen
Geißinger, J.
Book Article
1990Automatisierte Ermittlung von Partikelkontamination. Integrierbare Softwarelösung als Voraussetzung
Warnecke, H.-J.; Sauter, K.-D.; Schäfer, W.
Journal Article
1990Automatisierungskonzepte für die Fertigung und Materialverteilung im Reinraum
Frühauf, W.
Conference Paper
1990Clean Equipment Design of Manufacturing Devices and Components
Degenhart, E.; Geißinger, J.
Conference Paper
1990Datenerfassung und Auswertung
Hofer, T.
Conference Paper
1990Datenerfassung und Auswertung auf dem Weg zum Facility Monitoring
Hofer, T.
Conference Paper
1990Economical feasibility study of local cleanrooms as an alternative for conventional cleanrooms in semiconductor manufacturing
Kahlden, T. von
Conference Paper
1990Einsatz des Laser-Lichtschnittverfahrens zur Optimierung von Reinraumströmungen
Kelemen, M.
Journal Article
1990Fertigen im Reinraum. Probleme und Lösungsansätze
Kahlden, T. von; Schmutz, W.; Schraft, R.D.
Journal Article
1990Flexibel Medien ver- und entsorgen
Warnecke, H.-J.; Müller, B.; Dorner, J.; Frühauf, W.; Mann, R.
Journal Article
1990Flexible Medienversorgung und -entsorgung. Für fotolithographisches Prozeßzentrum neuartiges Konzept realisiert
Warnecke, H.-J.; Dorner, J.; Frühauf, W.; Mann, R.; Müller, B.
Journal Article
1990Leitsysteme für die Halbleiterfertigung. Praxisnahe Forschungsförderung am IPA
Sauter, K.-D.
Journal Article
1990Meßtechnisches Praktikum im Reinraum. März 1990
 
Conference Proceedings
1990Meßtechnisches Praktikum im Reinraum. Oktober 1990
 
Conference Proceedings
1990Messung der Partikelemission bei Reibbeanspruchung
Warnecke, H.-J.; Kaun, R.
Journal Article
1990New manufacturing concepts for the production of integrated circuits
Warnecke, H.-J.; Frühauf, W.; Schmutz, W.
Conference Paper
1990Partikelmessung in der Luft
Kahlden, T. von
Conference Paper
1990Partikelmessung in Gasen
Dorner, J.
Conference Paper
1990Partikelmessungen auf Oberflächen
Klumpp, B.
Conference Paper
1990Partikelmessungen auf Oberflächen
Klumpp, B.
Conference Paper
1990Partikelmessungen in der Luft
Kahlden, T. von
Conference Paper
1990Reinraumgerechte Konstruktion von Fertigungsgeräten und -komponenten
Geißinger, J.
Conference Paper
1990Schrittweise Realisierung bringt den Erfolg. Automatisierungskonzepte für die Fertigung im Reinraum
Frühauf, W.
Journal Article
1990Standardlösungen sind Mangelware. IPA baut Reinraumtechnik aus
Dorner, J.
Journal Article
1990Strömungstechnische Gestaltung von Anlagenkomponenten
Degenhart, E.
Conference Paper
1990The support of FhG IPA to E and M manufacturers
Geißinger, J.
Conference Paper
1990Systematical concept and statistical evaluation of airborne particle measurements during testing equipment for cleanroom suitability
Warnecke, H.-J.; Kahlden, T. von
Journal Article
1990Trennung von Mensch und Maschine. Reinraumfertigung
Frühauf, W.
Journal Article
1990Turbulenzuntersuchungen im Reinraum. Auswirkungen auf die Umströmung sowie die Partikelausbreitung im Nachlauf von Bauteilen
Warnecke, H.-J.; Degenhart, E.
Journal Article
1990Vorgehensweisen zur Kontaminationsminimierung bei Fertigungsgeräten
Warnecke, H.-J.; Kahlden, T. von; Schmutz, W.
Conference Paper
1989Contamination measurement and analysis for ultra clean manufacturing devices
Herz, R.; Kahlden, T. von; Klumpp, B.; Schmutz, W.
Conference Paper
1989Fertigungstechnik im Reinraum. Nur so rein wie nötig - Trend zu hochautomatisierter Fertigung
Schmutz, W.; Schraft, R.D.
Journal Article
1989Forschung und Entwicklung für die Halbleitergeräte-Industrie. Teil II. Fertigungstechnik im Reinraum
Schmutz, W.; Schraft, R.D.
Conference Paper
1989Grundlagen zur Entwicklung reinraumtauglicher Handhabungssysteme
Geißinger, J.
Dissertation
1989Konzeption hilft Kosten sparen. Kapselung der Kontaminationsquellen durch lokale Reinräume
Schmutz, W.
Journal Article
1989Lokale Reinräume. Flexibles, fotolithographisches Prozeßzentrum für die Halbleiterfertigung
Warnecke, H.-J.; Frühauf, W.; Kelemen, M.; Mann, R.
Journal Article
1989Prozeßtechnische Aspekte fortschrittlicher Halbleiterfertigungsgeräte
Pfitzner, L.; Ryssel, H.; Schmutz, W.
Journal Article
1989Reinigung, Montage und Prüfung im Reinraumtunnel. Integrales Reinheitskonzept zur Herstellung hochreiner Gasversorgungskomponenten
Hase, M.; Herz, R.; Klumpp, B.; Siebald, H.J.
Journal Article
1989Der Reinraum als Produktionsumfeld für die Halbleiterfertigung
Schmutz, W.
Conference Paper
1989Reinraum-Pneumatik. Konstruktive Unterschiede zu Standardkomponenten
Schmutz, W.
Journal Article
1989Richtlinienentwurf - Standardisierung von Untersuchungen auf Reinraumtauglichkeit
Degenhart, E.; Geißinger, J.; Kahlden, T. von
Journal Article
1989Staubarm ist nicht rein. Partikelquellen bei Fertigungsabläufen im Reinraum
Geißinger, J.; Kahlden, T. von; Klumpp, B.
Journal Article
1989Trennung von Mensch und Produkt. Einsatz von Handhabungssystemen im Reinraum
Geißinger, J.; Schraft, R.D.
Journal Article
1989Trennung von Mensch und Produkt. Einsatz von Handhabungssystemen im Reinraum
Geißinger, J.; Schraft, R.D.
Journal Article
1989Untersuchungen auf Reinraumtauglichkeit. Prüfzentrum für Halbleiterfertigungsgeräte
Herz, R.; Kahlden, T. von; Schmutz, W.
Journal Article
1989Vorgehensweise zur Kontaminationsminimierung bei Fertigungsgeräten
Warnecke, H.-J.; Kahlden, T. von
Conference Paper
1988Halbleiterfertigungstechnik auf der Semicon Europe 1988
Fruehauf, W.
Journal Article
1988Partikelfrei handeln - Handhabungssysteme in reinen Räumen
Seitz, D.; Geissinger, J.
Journal Article
1988Stroemungsausbildung an Fertigungsgeraeten fuer den Reinraum-Einsatz. Tl.2
Warnecke, H.-J.; Degenhart, E.; Geissinger, J.; Kahlden, T. von
Journal Article
1986Anforderungen an den Reinraum aus der Sicht der Halbleitertechnologie
Ryssel, H.; Pfitzner, L.
Conference Paper
1986Roboter im Reinraum
Warnecke, H.-J.; Geissinger, J.
Journal Article