| | |
|---|
| | CSM® Cleanroom Suitable Materials
| Database |
| 2013 | AMC: Luftgetragene chemische Kontaminationen
Keller, Markus | Presentation |
| 2013 | CSM - Standardisierung durch die Industrie
Gommel, Udo | Presentation |
| 2013 | Fraunhofer TESTED DEVICE®
Bürger, Frank | Journal Article |
| 2013 | Kritische Kontaminationen in Zukunftsindustrien
Bürger, Frank; Brückner, Mathias; Gommel, Udo | Presentation |
| 2013 | Prozessgeräte als Kontaminationsquellen
Bürger, Frank | Presentation |
| 2013 | Reinheits- und Reinraumtauglichkeit von Werkstoffen und Equipment
Gommel, Udo | Presentation |
| 2013 | Reinigbarkeit filmischer Kontaminationen von Boden- und Wandbeschichtungen - angepasster Riboflavintest
Keller, Markus; Baum, Gabriela | Journal Article |
| 2013 | ReinRaumfahrt für die ESA
Kreck, Guido | Journal Article |
| 2013 | Verbrauchsmaterialien für den Reinraum
Bürger, Frank; Brückner, Mathias; Gommel, Udo | Presentation |
| 2012 | Anforderungsprofil geringster Emissionen aus Werkstoffen
Bürger, Frank; Keller, Markus | Presentation |
| 2012 | Die aufstrebende Kontaminationsart
Keller, Markus | Journal Article |
| 2012 | Biokontaminationskontrolle
Keller, Markus | Journal Article |
| 2012 | Biokontaminationskontrolle
Keller, Markus | Book Article |
| 2012 | Classifying VOC emissions from cleanroom materials
Keller, Markus | Journal Article |
| 2012 | A clean LED production for a clean environment
Gommel, Udo; Kreck, Guido | Journal Article |
| 2012 | Comparable measurement of VOC-emissions from building materials followed by a standardized classification system
Keller, Markus; Gommel, Udo | Journal Article |
| 2012 | Contamination Control für Life-Science Anwendungen - VDI 2083 Blatt 18 -
Keller, Markus | Presentation |
| 2012 | Datenbank zu reinraumtauglichen Werkstoffen und Fertigungsanlagen
Gommel, Udo | Presentation |
| 2012 | Forschung Reinraumbodensysteme
Keller, Markus; Gommel, Udo | Journal Article |
| 2012 | Hygienic Design in der Life Science Industrie: Konsequente Umsetzung der hygienischen Designvorgaben am Beispiel eines Edelstahlmöbels
Keller, Markus | Journal Article |
| 2012 | Materials of construction: Flooring material. Hygienic requirements
Keller, Markus | Presentation |
| 2012 | Measurement and classification method regarding the emission of volatile organic compounds from cleanroom materials
Keller, Markus; Gommel, Udo; Verl, Alexander | Conference Paper |
| 2012 | Reinheitsgerechte Auslegung von Maschinen und Anlagen
Rochowicz, Markus; Keller, Markus; Bürger, Frank | Journal Article |
| 2012 | Reinheitsspezifikationen der Halbleiterindustrie an Werkstoffen
Gommel, Udo | Presentation |
| 2012 | Reinheitsvalidierung hinsichtlich partikulärer Kontaminationen
Kreck, Guido | Presentation |
| 2012 | Reinigbarkeit von Oberflächen
Keller, Markus; Waldner, Alina; Baum, Gabriela | Journal Article |
| 2012 | Reinraum - Prozessplanung und -betrieb
Kreck, Guido; Ernst, Christian | Book Article |
| 2012 | Reinraumtechnik. 3., aktual. und erw. Aufl.
: Gail, Lothar (Hrsg.); Gommel, Udo (Hrsg.); Hortig, Hans-Peter (Hrsg.) | Book |
| 2012 | Systeme und Konzepte der Reinraumtechnik
Ernst, Christian; Schmauz, Günther; Kreck, Guido | Book Article |
| 2012 | VDI 2083 Blatt 9.2: Reinraumgerechte Verbrauchsmaterialien
Bürger, Frank | Presentation |
| 2012 | VDI 2083-17: New test procedure to determine comparable specific emission rates from material surfaces
Keller, Markus | Presentation |
| 2012 | Werkstoffe für die sauberkeitskritische Produktion
Gommel, Udo | Presentation |
| 2012 | Werkstoffe für Life-Science-Anwendungen
Keller, Markus | Presentation |
| 2012 | Wie sauber ist Ihr Reinstwasser?
Keller, Markus | Journal Article |
| 2012 | Das Zusammenspiel Technik und Kleidung/Verbrauchsmaterialien
Bürger, Frank | Presentation |
| 2011 | Anforderungen an Produktionsanlagen in der Life-Science Industrie
Keller, Markus | Presentation |
| 2011 | Bestimmung der spezifischen VOC-Emissionsrate von Materialoberflächen
Keller, Markus | Presentation |
| 2011 | Biokontaminationskontrolle
Keller, Markus | Conference Paper |
| 2011 | Cleanroom suitability of materials and equipments
Gommel, Udo | Conference Paper |
| 2011 | Detection and Avoidance of Contaminations on Solar Wafer and Cells
Bürger, Frank; Wertz, Roland; Verl, Alexander | Conference Paper |
| 2011 | The Fraunhofer IPA Industrial Alliance "CSM"
Gommel, Udo | Conference Paper |
| 2011 | Im Sinne der Gesundheit
Keller, Markus; Grimme, Ralf; Ernst, Christian | Journal Article |
| 2011 | LuminaLED cleanroom lab
Gommel, Udo | Conference Paper |
| 2011 | Messtechniken zur Charakterisierung von Reinräumen
Bürger, Frank | Conference Paper |
| 2011 | Mobiles Probenahmesystem
Keller, Markus | Journal Article |
| 2011 | Nachlese CSM-Treffen 2011
Keller, Markus | Journal Article, Conference Paper |
| 2011 | Outgassing of clean room suitable materials (CSM)
| Conference Proceedings |
| 2011 | Partikelemission, chemische Resistenz und Reinigbarkeit von Werkstoffen
Gommel, Udo | Presentation |
| 2011 | Prüfung der Sauberkeitsqualität
Ernst, Christian | Conference Paper |
| 2011 | Reinraumtaugliche Betriebsmittel
Kreck, Guido | Conference Paper |
| 2011 | Reinraumtauglichkeit von Werkstoffen
Keller, Markus | Conference Paper |
| 2011 | Reinster Reinraum
Pidun, Ursula; Keller, Markus (Interview) | Journal Article |
| 2011 | Reinstwasseranalytik - Wie sauber ist Ihr Reinstwasser?
Keller, Markus | Journal Article |
| 2011 | Reinstwasseranalytik: Wie sauber ist Ihr Reinstwasser?
Keller, Markus | Journal Article |
| 2011 | Verbrauchsmaterialien: Reinraum- und Reinheitstauglichkeit - Begriffe, Testverfahren, Prüfungen
Bürger, Frank; Gommel, Udo | Conference Paper |
| 2011 | VOC emissions test method
Keller, Markus | Journal Article |
| 2011 | Werkstoffe für den Einsatz unter sauberkeitskritischen Bedingungen
Gommel, Udo; Bürger, Frank | Conference Paper |
| 2011 | Wie sauber ist Ihr Reinstwasser?
Keller, Markus | Journal Article |
| 2010 | Clean environment and equipment for precision assembly
Bürger, Frank; Gommel, Udo | Presentation |
| 2010 | Clean technology for the ultra barrier layer production
Bürger, Frank | Presentation |
| 2010 | Cleanroom suitability of equipments
Gommel, Udo; Bürger, Frank | Conference Paper |
| 2010 | E-Mobility. Reinheitstaugliche Anlagenkonzepte statt mehr Reinraum
Rochowicz, M.; Schmauz, G. | Journal Article |
| 2010 | Emissionen reinraumtauglicher Materialien
Keller, Markus | Journal Article |
| 2010 | Informationsveranstaltung "Technische Sauberkeit von Blechumformteilen"
: Rochowicz, Markus (Referent); Ernst, Christian (Referent); Schmauz, Günther (Referent) | Conference Proceedings |
| 2010 | Die Life-Science-Industrie
Keller, Markus | Journal Article |
| 2010 | Messtechniken zur Charakterisierung von Reinräumen
Bürger, Frank | Conference Paper |
| 2010 | Particle detection in the barrier layer production
Bürger, Frank | Presentation |
| 2010 | Prüfung der Sauberkeitsqualität
Ernst, Christian | Conference Paper |
| 2010 | Prüfung von Devices für die Medizintechnik
Gommel, Udo; Keller, Markus | Conference Paper |
| 2010 | Reinraumtaugliche Betriebsmittel
Kreck, Guido | Conference Paper |
| 2010 | Reinraumtaugliche Materialien
Keller, Markus; Gommel, Udo | Conference Paper |
| 2010 | Reinraumtauglichkeit von Werkstoffen
Keller, Markus | Conference Paper |
| 2010 | VDI 2083-17: VOC emissions from material surfaces
Keller, Markus; Bürger, Frank | Conference Paper |
| 2009 | Design and test of industrial robots for the use in cleanrooms
Gommel, Udo; Keller, Markus | Conference Paper |
| 2009 | Design von Equipment im reinen und hygienischen Bereich
Bürger, Frank; Schweizer, Marion | Book Article |
| 2009 | Die Entwickler - Fraunhofer IPA
Bürger, Frank (Interview) | Journal Article |
| 2009 | Industrielle Produktion im Reinraum
Gommel, Udo; Keller, Markus | Presentation |
| 2009 | Mechatronics Seminar 2009
: Granrath, L. | Conference Proceedings |
| 2009 | Projektplanung Reinraumtechnik
: Gail, Lothar (Hrsg.); Gommel, Udo (Hrsg.); Weißsieker, Horst (Hrsg.) | Book |
| 2009 | Reines Equipment. Mit Strömungssimulation Kontaminationsquellen vermeiden
Bürger, Frank | Journal Article |
| 2009 | Reinraum- und Reinheitstauglichkeit von Materialien, Komponenten und Maschinen
Keller, Markus | Presentation |
| 2009 | Reinraumtaugliche Materialien / Reinraumtaugliches Design
Keller, Markus | Conference Paper |
| 2009 | Reinraumtaugliches Equipment Design
Gommel, Udo; Keller, Markus | Conference Paper |
| 2008 | Equipment design for clean room use
Gommel, Udo; Bürger, Frank; Kreck, Guido; Keller, Markus | Conference Paper |
| 2008 | Grundlagen der Reinraumtechnik und Personalverhalten - Trends in der reinen Produktion
Gommel, Udo | Conference Paper |
| 2008 | Messtechniken zur Charakterisierung von Reinräumen
Bürger, Frank | Conference Paper |
| 2008 | Methoden und Geräte zur Kontaminationskontrolle technischer Oberflächen
Grimme, Ralf; Schmauz, Günther; Modrich, Kai-Udo | Journal Article |
| 2008 | Praxisnahe Filter-Prüfverfahren - Machbarkeitsstudie
Ernst, Christian; Gröning, Martin | Conference Paper |
| 2008 | Produkthandhabung, Logistik und Reinraum
Schmauz, Günther | Conference Paper |
| 2008 | Qualität als Ganzes
Rochowicz, Markus | Conference Paper |
| 2008 | Reines Design von Equipment
Bürger, Frank; Gommel, Udo | Journal Article |
| 2008 | Reinraumgerechtes Anlagen- und Equipment Design / Computational Fluid Dynamics (CFD)
Bürger, Frank; Gommel, Udo | Journal Article |
| 2008 | Reinraumtaugliche Betriebsmittel
Kreck, Guido | Conference Paper |
| 2008 | Reinraumtauglichkeit von Verbrauchsmaterialien - Anforderungen und Prüfmöglichkeiten
Bürger, Frank; Kreck, Guido | Presentation |
| 2008 | Reinraumtauglichkeit von Werkstoffen
Keller, Markus | Conference Paper |
| 2007 | Assessment of the cleanroom suitability of material pairings for use in cleanroom applications
Gommel, Udo | Conference Paper |
| 2007 | Contamination control techniques on surfaces
Rochowicz, Markus | Conference Paper |
| 2007 | Grundlagen der Reinraumtechnik und Personalverhalten - Trends in der reinen Produktion
Gommel, Udo | Conference Paper |
| 2007 | Messtechniken zur Charakterisierung von Reinräumen
Bürger, Frank | Conference Paper |
| 2007 | Partikelschmutz trotz sauberer Bauteile
Rochowicz, Markus; Ernst, Christian | Journal Article |
| 2007 | Produkthandhabung, Logistik und Reinraum
Schmauz, Günther | Conference Paper |
| 2007 | Qualität als Ganzes - VDI 2083
Rochowicz, Markus | Conference Paper |
| 2007 | Reinraum- und Reinheitstauglichkeit von Werkstoffen
Gommel, Udo | Conference Paper |
| 2007 | Reinraumtaugliche Betriebsmittel
Kreck, Guido | Conference Paper |
| 2007 | Reinraumtaugliche Materialien - Aktueller Stand bei der Bewertung der Reinraum- und Reinheitstauglichkeit von Werkstoffen
Gommel, Udo | Conference Paper |
| 2007 | Reinraumtauglichkeit von Werkstoffen
Gommel, Udo | Conference Paper |
| 2007 | Sauberkeit als messbares Produktmerkmal
Rochowicz, Markus | Conference Paper |
| 2007 | Werkstoffe auf dem Prüfstand
Rapp, Alexander; Gommel, Udo | Journal Article |
| 2007 | Werkstoffe für den Einsatz in reinen Bereichen
Westkämper, Engelbert; Smolinski, Dirk; Kreck, Guido; Gommel, Udo | Journal Article |
| 2006 | Entwicklung eines universellen und mobilen Kommunikationsframeworks "Message to Anywhere" in Hightech-Branchen (M2A)
Knoll, G.; Stiedl, T.; Gutbrodt, F. | Research Report |
| 2006 | Fertigen unter reinen Bedingungen
| Conference Proceedings |
| 2006 | Grundlagen der Reinraumtechnik und Personalverhalten - Trends in der reinen Produktion
Schüle, A. | Conference Paper |
| 2006 | Grundlagen der Reinraumtechnik und Personalverhalten - Trends in der reinen Produktion
Gommel, U. | Conference Paper |
| 2006 | Messtechniken in der Reinraumluft zur Abnahme von Reinräumen
Grimme, R. | Conference Paper |
| 2006 | Messtechniken in der Reinraumluft zur Abnahme von Reinräumen
Bürger, F. | Conference Paper |
| 2006 | On-line monitoring and identification of bioaerosols
Rösch, P.; Harz, M.; Peschke, K.-D.; Ronneberger, O.; Burkhardt, H.; Schüle, A.; Schmauz, G.; Lankers, M.; Hofer, S.; Thiele, H.; Motzkus, H.-W.; Popp, J. | Journal Article |
| 2006 | Das Reinheitsgebot der Mikrotechnik
Gommel, U. | Journal Article |
| 2006 | Reinraumtauglichkeit von Werkstoffen
Gommel, U. | Conference Paper |
| 2006 | Reinraumtauglichkeit von Werkstoffen
Gommel, U. | Conference Paper |
| 2006 | Sauberkeit als messbares Produktmerkmal
Rochowicz, M. | Conference Paper |
| 2006 | Sauberkeitsqualität als Ganzes
Ernst, C. | Conference Paper |
| 2006 | Sauberkeitsqualität als Ganzes
Rochowicz, M. | Conference Paper |
| 2006 | Verfahren zur Bestimmung der Reinraumtauglichkeit von Werkstoffpaarungen
Gommel, U. | Dissertation |
| 2005 | Advanced production technologies in the photovoltaic industries
Dorner, J. | Conference Paper |
| 2005 | Direct evaluation of the particulate cleanliness of surface
Schmauz, G.; Grimme, R. | Conference Paper |
| 2005 | Grundlagen der Reinraumtechnik und Personalverhalten - Trends in der reinen Produktion
Schüle, A. | Conference Paper |
| 2005 | Messtechniken in der Reinraumluft zur Abnahme von Reinräumen
Grimme, R. | Conference Paper |
| 2005 | Methoden und Geräte zur Kontaminationskontrolle technischer Oberflächen
Grimme, R.; Schmauz, G.; Modrich, K.-U. | Conference Paper |
| 2005 | Neue Verfahren zum chemisch-mechanischen Reinigen von Einzelwafern für Sub-100-mm-Technologie - CMC Cleaner
: Gentischer, Josef (Projektleiter) | Study |
| 2005 | Reinraumtaugliche Werkstoffe
Gommel, U. | Journal Article |
| 2005 | Reinraumtauglichkeit kundenspezifischer Werkstoffe
Gommel, U.; Rapp, A. | Journal Article |
| 2005 | Reinraumtauglichkeit von Werkstoffen
Gommel, U. | Conference Paper |
| 2005 | Sauberkeitsqualität als Ganzes
Ernst, C. | Conference Paper |
| 2005 | Simulationsbaukasten für die Halbleiter- und Flachbildschirmfertigung
Bader, U. | Dissertation |
| 2005 | Universal communications through message to anywhere (Poster Presentation)
Knoll, G. | Conference Paper |
| 2004 | Anwendungen in der Praxis - Abnahme von Reinräumen nach VDI-Richtlinie 2083 Blatt 3
Rapp, A. | Conference Paper |
| 2004 | Cleanroom suitable materials: Methods of testing and classification
Gommel, U. | Conference Paper |
| 2004 | Energiezuführungen für den Reinraum auf dem Prüfstand
Gommel, U.; Nehring, H. | Journal Article |
| 2004 | Factory logistics in cleanroom manufacturing, material flow, material scheduling and automation
| Conference Proceedings |
| 2004 | Fertigen unter reinen Bedingungen. Messtechnisches Praktikum 2004
| Conference Proceedings |
| 2004 | Grundlagen der Reinraumtechnik und Personalverhalten - Trends in der reinen Produktion
Schüle, A. | Conference Paper |
| 2004 | In-situ detection of biocontamination on technical surfaces
Schüle, A.; Schmauz, G.; Schmitt, R. | Conference Paper |
| 2004 | Manufacturing engineering for nanoproduction
Jäger, T.; Werner, D.; Stock, A. | Book Article |
| 2004 | Preparation of contaminated monitor surfaces
Schmauz, G.; Schüle, A.; Gerami Sarabi, L. | Conference Paper |
| 2004 | Saubere Sache
Gommel, U. | Journal Article |
| 2004 | Sauberkeitsqualität als Ganzes
Ernst, C. | Conference Paper |
| 2004 | Training mit Feedback für den virtuellen Reinraum
Fisser, F.; Joosten, H.; Shligerskiy, M. | Journal Article |
| 2004 | Universal and mobile messaging framework M2A "Message to anywhere" for laboratory automation
Knoll, G.; Dorner, J.; Bölstler, F.; Seidelmann, J. | Conference Paper |
| 2003 | Fertigen unter reinen Bedingungen. Messtechnisches Praktikum 2003
| Conference Proceedings |
| 2003 | Grundlagen der Reinraumtechnik und Personalverhalten - Trends in der reinen Produktion
Schüle, A. | Conference Paper |
| 2003 | Messtechniken in der Reinraumluft zur Abnahme von Reinräumen
Rapp, A. | Conference Paper |
| 2003 | Qualitätsverbesserung in reinen Produktionen
Ernst, C. | Conference Paper |
| 2003 | Universal simulation kit in micro-production
Wiechers, O.; Zehtaban, M.; Seidelmann, J.; Schließer, J. | Conference Paper |
| 2002 | "Reinheitstechnische" Logistik
Schließer, J. | Conference Paper |
| 2002 | Fertigen unter reinen Bedingungen. Messtechnisches Praktikum 2002
| Conference Proceedings |
| 2002 | Fertigungsanlagen
Werner, D. | Conference Paper |
| 2002 | Grundlagen der Reinraumtechnik und Personalverhalten - Trends in der reinen Produktion
Schüle, A. | Conference Paper |
| 2002 | Integrales Reinheitssystem
Schließer, J.; Werner, D. | Book Article |
| 2002 | Materialien zur Verwendung unter reinen Bedingungen
Gommel, U. | Conference Paper |
| 2002 | Medien
Ernst, C. | Conference Paper |
| 2002 | Messtechniken in der Reinraumluft zur Abnahme von Reinräumen
Schließer, J. | Conference Paper |
| 2002 | Personal
Schließer, J. | Conference Paper |
| 2002 | Produktionsmittel-Prüfung auf Reinheitstauglichkeit
Gommel, U.; Schließer, J.; Rapp, A. | Book Article |
| 2002 | Produzieren unter reinen Bedingungen
Schließer, J.; Ernst, C.; Werner, D. | Conference Paper |
| 2002 | Qualitätsverbesserung in reinen Produktionen
Ernst, C. | Conference Paper |
| 2002 | Qualitätswesen
Ernst, C. | Conference Paper |
| 2002 | Reinraumtechnik
Werner, D. | Conference Paper |
| 2002 | Saubere Sache
Gommel, U.; Rapp, A. | Journal Article |
| 2002 | Sauberkeitsgerechte Produktionsgestaltung
Schließer, J.; Rochowicz, M. | Conference Paper |
| 2002 | XML- und Java-basiertes modulares Produktionssystem
Bengel, M.; Braatz, A. | Conference Paper |
| 2001 | Elektrostatik - Ursachen, Wirkungen und Maßnahmen
Matuschek, P. | Conference Paper |
| 2001 | Fertigen unter reinen Bedingungen. Messtechnisches Praktikum 2001
| Conference Proceedings |
| 2001 | Grundlagen der Reinraumtechnik und Personalverhalten - Trends in der reinen Produktion
Schüle, A. | Conference Paper |
| 2001 | Kontaminationsarme Verarbeitung: Gezielter Einsatz der Reinraumtechnik kann Konkurrenzfähigkeit der Produkte verbessern
Schließer, J.; Huen, J. | Journal Article |
| 2001 | Materialien, Komponenten, Anlagen und ihr Einfluss auf die staubfreie Reinstfertigung
Schließer, J.; Gommel, U. | Conference Paper |
| 2001 | Messtechniken in der Reinraumluft zur Abnahme von Reinräumen
Schließer, J. | Conference Paper |
| 2001 | The Miniaturization of Components and Parts in Mechanical Engineering
Westkämper, E. | Conference Paper |
| 2001 | Qualitätsverbesserung in reinen Produktionen
Ernst, C. | Conference Paper |
| 2001 | Das Reinheitssystem von der Idee bis zum Service
Gommel, U.; Pietsch, W. | Journal Article |
| 2000 | Abnahme von Reinräumen nach VDI-Richtlinie 2083 Blatt 3
Schließer, J. | Conference Paper |
| 2000 | Betrieb von Reinräumen
Werner, D. | Conference Paper |
| 2000 | CleanRooms Europe 2000. Conference proceedings
| Conference Proceedings |
| 2000 | CO2-Verfahren zur Konditionierung nichtmetallischer Grenzflächen
Werner, D.; Zorn, C. | Conference Paper |
| 2000 | Fertigen unter reinen Bedingungen. Meßtechnisches Praktikum 2000
| Conference Proceedings |
| 2000 | Fertigungsanlagendesign für reine Produktionsumgebungen
Gommel, U. | Conference Paper |
| 2000 | Grundlagen und Anwendungen der Reinraumtechnik
Werner, D. | Conference Paper |
| 2000 | Kontaminanten im Griff
Schließer, J.; Huen, J. | Journal Article |
| 2000 | Messtechniken in der Reinraumluft zur Abnahme von Reinräumen
Schließer, J. | Conference Paper |
| 2000 | The Miniaturization of Components and Parts in Mechanical Engineering
Westkämper, E. | Conference Paper |
| 2000 | Montage in der Sauber- und Reinstfertigung
Schließer, J. | Conference Paper |
| 2000 | Präzisionsreinigung von Mikrostrukturen mittels UV-Laser
Rochowicz, M.; Grimme, R.; Schäfer, W. | Conference Paper |
| 2000 | Qualitätsverbesserung in reinen Produktionen
Ernst, C. | Conference Paper |
| 2000 | Qualitätsverbesserungen in reinen Produktionen
Ernst, C. | Conference Paper |
| 2000 | Tendances actuelles dans la production ultra-propre
Schließer, J.; Huen, J. | Journal Article |
| 2000 | Trends in der "Reinen" Produktion
Schließer, J. | Conference Paper |
| 2000 | Überwachung der Oberflächenreinheit von Bauteilen und Einrichtungen im reinen Umfeld
Grimme, R.; Rochowicz, M. | Conference Paper |
| 2000 | Verfahren zur Reinheitskontrolle
Ernst, C. | Conference Paper |
| 1999 | Anwendungen in der Praxis - Abnahme von Reinräumen nach VDI-Richtlinie 2083 Blatt 3
Schließer, J. | Conference Paper |
| 1999 | CleanRooms Europe 1999. Conference proceedings
| Conference Proceedings |
| 1999 | Fertigen unter reinen Bedingungen. Meßtechnisches Praktikum 1999
| Conference Proceedings |
| 1999 | Grundlagen der Reinraumtechnik und Trends in der reinen Produktion
Gaugel, T.; Schließer, J. | Conference Paper |
| 1999 | Grundlagen und Anwendungen der Reinraumtechnik
Dorner, J. | Conference Paper |
| 1999 | Integrales Reinheitssystem
Werner, D.; Schließer, J. | Conference Paper |
| 1999 | Meßeinrichtung zur direkten Unterscheidung von luftgetragenen biotischen und abiotischen Partikeln
Kölblin, R. | Dissertation |
| 1999 | Meßtechnik im Reinraum
Ernst, C. | Conference Paper |
| 1999 | Meßtechnik in der Sauber- und Reinstfertigung
Ernst, C.; Matuscheck, P.; Naffin, F. | Journal Article |
| 1999 | Meßtechniken in der Reinraumluft zur Abnahme von Reinräumen
Schließer, J. | Conference Paper |
| 1999 | Minienvironments and Thermal Effects
Schließer, J.; Staudt-Fischbach, P. | Conference Paper |
| 1999 | Oberflächen-Partikelmeßtechnik
Grimme, R.; Rochowicz, M. | Conference Paper |
| 1999 | Optimierung von Reinraumproduktionen
Dorner, J.; Schließer, J.; Ernst, C.; Werner, D. | Conference Paper |
| 1999 | Personal im Reinraum
Werner, D. | Conference Paper |
| 1999 | Personal und Hygiene im Reinraum
Güth, A. | Conference Paper |
| 1999 | Qualification for Cleanroom Suitability
Gommel, U. | Conference Paper |
| 1999 | Qualifizierung von Betriebsmitteln für die Sauber- und Reinstfertigung
Gommel, U.; Matuscheck, P.; Ernst, C.; Schließer, J. | Journal Article |
| 1999 | Qualitätsverbesserungen in reinen Produktionen
Ernst, C. | Conference Paper |
| 1999 | The Quality Chain for (U)HP Media and Joint Media in its Meaning
Dorner, J.; Matuscheck, P.; Ernst, C. | Conference Paper |
| 1999 | Reinraumtauglichkeit von Betriebsmitteln
Schließer, J.; Gommel, U. | Conference Paper |
| 1999 | Reinraumtauglichkeit von Produktionseinrichtungen und Verbrauchsgütern
Gommel, U.; Schließer, J. | Conference Paper |
| 1999 | Standardisierungslösungen für ein modulares Fertigungssystem in der Mikrotechnik
Bader, U.; Schließer, J.; Hägele, K.-D.; Weinmann, A. | Journal Article |
| 1999 | Strömung und Verhalten im Reinraum (Versuch 7)
Gaugel, T. | Conference Paper |
| 1999 | Using an Adapted Strategy of Optimizing Cleanroom Production Sites
Schließer, J.; Werner, D. | Conference Paper |
| 1999 | A View to the Future - A Modular Simulation Kit for Cost-Efficient Fab-Wide Planning and the Simulation of Automated Material Handling Systems in the Semiconductor Industry
Bader, U.; Besler, A.; Schließer, J.; Dorner, J. | Conference Paper |
| 1998 | Anwendung in der Praxis - Abnahme von Reinräumen
Schließer, J. | Conference Paper |
| 1998 | Cleanroom Technology 1998
: Kaufmann, T.; Gommel, U. | Conference Proceedings |
| 1998 | Elektrostatik im Reinraum
Koptik, V. | Conference Paper |
| 1998 | Fertigungstechnik im Reinraum. Meßtechnisches Praktikum '98
| Conference Proceedings |
| 1998 | Meßtechnik im Reinraum
Ernst, C. | Conference Paper |
| 1998 | Meßtechniken in der Reinraumluft zur Abnahme von Reinräumen
Schließer, J. | Conference Paper |
| 1998 | Personal im Reinraum
Werner, D. | Conference Paper |
| 1998 | Personnel in Cleanrooms
Werner, D. | Conference Paper |
| 1998 | Produzieren unter reinen Bedingungen: Grundlagen, Maßnahmen zur Qualitätssicherung und Trends
: Dorner, J. | Conference Proceedings |
| 1998 | Qualification of Products for Equipping Cleanrooms
Gommel, U. | Conference Paper |
| 1998 | Qualification of Products for Equipping Cleanrooms
Dorner, J. | Conference Paper |
| 1997 | Elektrostatik im Reinraum
Koptik, V. | Conference Paper |
| 1997 | Fertigungstechnik im Reinraum. Meßtechnisches Praktikum '97
| Conference Proceedings |
| 1997 | Meßtechniken in der Reinraumluft zur Abnahme von Reinräumen
Schließer, J. | Conference Paper |
| 1997 | Meßverfahren zur Überwachung der Umgebungsluft hinsichtlich biotischer und abiotischer partikulärer Kontaminationen
Kölblin, R. | Conference Paper |
| 1997 | Partikelmeßdatenverarbeitung
Naffin, F. | Conference Paper |
| 1997 | Reinraumtechnik '97: Qualifizierung und Überwachung. Reinraum und Reinstmedien
| Conference Proceedings |
| 1997 | Verfahren zur Konzeption automatischer reinraumtauglicher Fertigungsanlagen und -zellen
Kaun, R. | Dissertation |
| 1996 | Cleanroom Technology
: Dorner, J.; Klumpp, B. | Conference Proceedings |
| 1996 | Cleanroom Technology
: Dorner, J.; Kaufmann, T.S. | Conference Proceedings |
| 1996 | Design Methods and Recommended Practices for Developing a Minienvironment System
Schließer, J.; Klumpp, B. | Conference Paper |
| 1996 | Development Trends and Cleanroom Concepts in the Industrial Production of Microelectromechanical Systems
Grimme, R.; Schünemann, M.; Schließer, J.; Kaufmann, T.S.; Schäfer, W. | Conference Paper |
| 1996 | Development Trends and Cleanroom Concepts in the Industrial Production of Microelectromechanical Systems
Grimme, R.; Schünemann, M.; Schließer, J.; Kaufmann, T.S.; Schäfer, W. | Conference Paper |
| 1996 | Experiences with thermal effects in minienvironments and methods for obtaining and optimized airflow pattern
Schließer, J.; Limperich, D. | Conference Paper |
| 1996 | Fertigungstechnik im Reinraum. Meßtechnisches Praktikum '96
| Conference Proceedings |
| 1996 | Grundlagen der Streulichtpartikelmessung
Ernst, C. | Conference Paper |
| 1996 | Materialien, Anforderungen und einfache Reinheitsprüfverfahren für Oberflächen der Reinraum-Fertigungsumgebung
Werner, D. | Conference Paper |
| 1996 | Modulares Gerätekonzept zur Mikrolinsenmontage
Grimme, R.; Schlenker, D.; Stock, A.; Schäfer, W. | Conference Paper |
| 1996 | New Cleanroom and Cleanliness Concepts for Microsystem Production
Dorner, J.; Grimme, R.; Schünemann, M.; Schließer, J.; Kaufmann, T.S.; Schäfer, W. | Conference Paper |
| 1996 | Oberflächen im Reinraum - Reinigung und Trocknung
Schüle, A. | Conference Paper |
| 1996 | Optimization of cleanroom production sites
Klumpp, B.; Schließer, J.; Dorner, J. | Conference Paper |
| 1996 | Particle measurements in turbulent flow areas as as part of investigations at cleanroom equipment
Kahlden, T. von | Conference Paper |
| 1996 | Partikelmessung in der Luft und Abnahmemessung von Reinräumen
Grimme, R.; Kaufmann, T.S. | Conference Paper |
| 1996 | Produktion im reinen Umfeld - Branchen, Beispiele, Trends
Dorner, J. | Conference Paper |
| 1996 | Qualitätssicherung in Reinräumen
Kölblin, R.; Herzog, O. | Conference Paper |
| 1996 | Reinraumtechnik zur Fertigung von Displays
Dorner, J. | Conference Paper |
| 1996 | Vorbereitung zur GMP / FDA-Validierung einer reinen Produktion
Kölblin, R. | Conference Paper |
| 1995 | Fertigungsoptimierung - Reduzierung von schmutzbedingter Nacharbeit und Feldausfällen
Kölblin, R. | Conference Paper |
| 1995 | Fertigungstechnik im Reinraum. Meßtechnisches Praktikum '95
| Conference Proceedings |
| 1995 | Materialien für Reinraumanwendungen
Werner, D.; Kölblin, R. | Conference Paper |
| 1995 | Medienversorgungssysteme
Dorner, J. | Conference Paper |
| 1995 | Oberflächen im Reinraum - Partikelmessung und Reinigung
Klumpp, B. | Conference Paper |
| 1995 | An Optimized Procedure for Process Equipment and Minienvironment Specification with PWP Measurement
Klumpp, B.; Mayer, S.; Schließer, J. | Conference Paper |
| 1995 | Partikelmessung in Luft und Abnahmemessungen von Reinräumen
Grimme, R. | Conference Paper |
| 1995 | Personal und Fertigung im Reinraum
Schließer, J. | Conference Paper |
| 1995 | Produktion im reinen Umfeld - Branchen, Beispiele, Trends
Dorner, J. | Conference Paper |
| 1995 | Qualitätssicherung in Reinräumen
Herzog, O. | Conference Paper |
| 1995 | Werkstückhandhabung
Warnecke, H.-J. | Book Article |
| 1994 | Designing methods to obtain a less contaminated air-flow at the product level
Schließer, J. | Conference Paper |
| 1994 | Fertigungsoptimierung - Reduzierung von schmutzbedingter Nacharbeit und Feldausfällen
Müller, B. | Conference Paper |
| 1994 | Fertigungstechnik im Reinraum. Meßtechnisches Praktikum '94
| Conference Proceedings |
| 1994 | Industrieroboter im Reinraum
Geißinger, J.; Kaun, R. | Book Article |
| 1994 | IPA-Workshop - "Fertigungstechnik im Reinraum - Meßtechnisches Praktikum"
Dorner, J.; Huppert, U.; Müller, B. | Conference Paper |
| 1994 | Materialien für Reinraumanwendungen. Einfache Methoden zur Qualifizierung von Kontaminationen auf technischen Oberflächen
Kölblin, R. | Conference Paper |
| 1994 | Oberflächen im Reinraum - Partikelmessung und Reinigung
Klumpp, B. | Conference Paper |
| 1994 | Optimierte Durchführung von Partikelmessungen durch Steigerung des Know-hows des Meßdurchführenden
Kahlden, T. von | Conference Paper |
| 1994 | Optimierung Reiner Fertigungen unter Gesichtspunkten minimalster Betriebskosten bei maximaler Reinheit
Klumpp, B.; Müller, B. | Conference Paper |
| 1994 | Partikelmessung in Luft und Abnahmemessungen von Reinräumen
Grimme, R. | Conference Paper |
| 1994 | Personal und Fertigung im Reinraum
Schließer, J. | Conference Paper |
| 1994 | Produktion im reinen Umfeld - Branchen, Beispiele, Trends
Müller, B. | Conference Paper |
| 1994 | Der Prozeßreinraum - Neue Strategien zur Qualitätssteigerung am Produkt
Schließer, J. | Conference Paper |
| 1994 | Qualitätssicherung in Reinräumen
Herzog, O. | Conference Paper |
| 1993 | Abnahmemessungen von Reinräumen - Meßgeräte und deren Einsatzgrenzen
Kahlden, T. von | Journal Article |
| 1993 | Alles im Reinen - Fertigungsoptimierung im Reinraum
Herzog, O. | Book Article |
| 1993 | Entwurf von Leitsystemen - Produktionstechnik im Reinraum
Warnecke, H.-J.; Herzog, O. | Journal Article |
| 1993 | Feinstreinigung von Oberflächen
Klumpp, B. | Conference Paper |
| 1993 | Fertigungsoptimierung
Müller, B. | Conference Paper |
| 1993 | Fertigungstechnik im Reinraum. Meßtechnisches Praktikum '93
| Conference Proceedings |
| 1993 | Materialfluß bei Clustertools
Bader, U. | Conference Paper |
| 1993 | Meßgeräte und Vorgehensweisen bei Abnahmemessungen in Reinräumen
Kahlden, T. von | Conference Paper |
| 1993 | Partikelmessung in Luft und Abnahmemessungen von Reinräumen
Grimme, R.; Kahlden, T. von | Conference Paper |
| 1993 | Personal und Fertigung im Reinraum
Kahlden, T. von | Conference Paper |
| 1993 | Prüfverfahren zur Untersuchung der Partikelreinheit technischer Oberflächen
Klumpp, B. | Dissertation |
| 1993 | Saubermänner - Konzeption und Entwicklung von hochautomatisierten Geräten für Reinraumfertigungen
Müller, B. | Book Article |
| 1993 | Simulationsgestützte Planungsmethodik zur Integration von Materialdistributionssystemen
Bader, U. | Conference Paper |
| 1993 | Standardisierung.
Dorner, J. | Conference Paper |
| 1992 | Airflow considerations in the design of production facilities in cleanrooms
Degenhart, E. | Journal Article |
| 1992 | Automatisierungskonzepte und -komponenten für Reinraumanwendungen
Frühauf, W. | Conference Paper |
| 1992 | Durchgängiges Reinheitskonzept. Was es bei der Teilereinigung unter Reinraumbedingungen zu beachten gilt
Dorner, J.; Klumpp, B. | Journal Article |
| 1992 | Einfluß von Schmierstoffen auf die Partikelemission von Anlagen. Optimierung von Anlagen
Kaun, R.; Magunna, J. | Journal Article |
| 1992 | Einsatzmöglichkeiten von OSF/Motif für Produktionsanlagen im Reinraum
Herzog, O. | Conference Paper |
| 1992 | Entwicklungsrichtlinien für reinraumtaugliche Fertigungsgeräte
Degenhart, E. | Conference Paper |
| 1992 | Fertigung unter Reinraumbedingungen
Dorner, J. | Conference Paper |
| 1992 | The future practice on contamination control. ICCS Symposium
Kahlden, T. von; Schließer, J. | Conference Paper |
| 1992 | Inbetriebnahme von Reinräumen
Kahlden, T. von | Journal Article |
| 1992 | Instrumentation for measuring and monitoring cleanroom suitability of equipment
Kahlden, T. von | Conference Paper |
| 1992 | Partikelmessung auf Oberflächen. Vielzahl von Verfahren
Warnecke, H.-J.; Klumpp, B. | Journal Article |
| 1992 | Qualifizierung von Fertigungsgeräten und Komponenten für den Einsatz unter Reinraumbedingungen
Kahlden, T. von | Conference Paper |
| 1992 | Reibbeanspruchte Materialien für Reinraumanwendungen
Kaun, R. | Conference Paper |
| 1992 | Reinigung technischer Oberflächen
Klumpp, B. | Conference Paper |
| 1992 | Spezifikationen von Reinraum-Monitoring-Systemen
Schäfer, W. | Conference Paper |
| 1992 | Strömungstechnische Auslegung reinraumtauglicher Fertigungseinrichtungen
Degenhart, E. | Dissertation |
| 1991 | Handhabungstechnik im Reinraum
Kaun, R. | Conference Paper |
| 1991 | Herstellung reinraumgerechter Fertigungsmittel
Kahlden, T. von | Conference Paper |
| 1991 | Hohes Automatisierungspotential in der Chip-Produktion. Kommunikation als Schwachstelle, Fertigungszellen sollen Automatisierungsgrad im Reinraum erhöhen
Schäfer, W.; Wohnhas, S. | Journal Article |
| 1991 | Materialdistribution und neue Konzepte für die Fertigung im Reinraumbereich
Frühauf, W. | Conference Paper |
| 1991 | Meßtechnisches Praktikum im Reinraum 1991
| Conference Proceedings |
| 1991 | Partikelmessungen auf Oberflächen
Klumpp, B. | Conference Paper |
| 1991 | Partikelmessungen in der Luft
Kahlden, T. von | Conference Paper |
| 1991 | Reinraum und Arbeitsbereich. Anforderungen, Umgebungsüberwachung. Federal Standard 209D vom 15. Juni 1988, ersetzt Federal Standard 209C vom 27. Oktober 1987
: Kahlden, T. von | Book |
| 1991 | Reinraumgerächt. Bei der Herstellung von Fertigungsmitteln für Reinräume rächen sich kleine Fehler mit großer Wirkung
Kahlden, T. von | Journal Article |
| 1991 | Reinraumgerechte Konstruktion und Materialien
Degenhart, E.; Geißinger, J. | Conference Paper |
| 1991 | Reinraumtauglichkeit von Materialien
Kaun, R. | Conference Paper |
| 1991 | Systematical concept and statistical evaluation of airborne particle measurements during testing equipment for cleanroom suitability
Warnecke, H.-J.; Kahlden, T. von | Conference Paper |
| 1991 | Systematische Vorgehensweise und statistische Auswertung von Messungen luftgetragener Partikel bei Untersuchungen von Fertigungsgeräten auf Reinheitstauglichkeit
Kahlden, T. von | Conference Paper |
| 1991 | Wirtschaftliches Reinraumkonzept
Fissan, H.; Stamm, W.; Bussing, H.; Kück, H. | Journal Article |
| 1990 | Anwendungen - Handhabungssysteme in Reinraumfertigungen
Geißinger, J. | Book Article |
| 1990 | Automatisierte Ermittlung von Partikelkontamination. Integrierbare Softwarelösung als Voraussetzung
Warnecke, H.-J.; Sauter, K.-D.; Schäfer, W. | Journal Article |
| 1990 | Automatisierungskonzepte für die Fertigung und Materialverteilung im Reinraum
Frühauf, W. | Conference Paper |
| 1990 | Clean Equipment Design of Manufacturing Devices and Components
Degenhart, E.; Geißinger, J. | Conference Paper |
| 1990 | Datenerfassung und Auswertung
Hofer, T. | Conference Paper |
| 1990 | Datenerfassung und Auswertung auf dem Weg zum Facility Monitoring
Hofer, T. | Conference Paper |
| 1990 | Economical feasibility study of local cleanrooms as an alternative for conventional cleanrooms in semiconductor manufacturing
Kahlden, T. von | Conference Paper |
| 1990 | Einsatz des Laser-Lichtschnittverfahrens zur Optimierung von Reinraumströmungen
Kelemen, M. | Journal Article |
| 1990 | Fertigen im Reinraum. Probleme und Lösungsansätze
Kahlden, T. von; Schmutz, W.; Schraft, R.D. | Journal Article |
| 1990 | Flexibel Medien ver- und entsorgen
Warnecke, H.-J.; Müller, B.; Dorner, J.; Frühauf, W.; Mann, R. | Journal Article |
| 1990 | Flexible Medienversorgung und -entsorgung. Für fotolithographisches Prozeßzentrum neuartiges Konzept realisiert
Warnecke, H.-J.; Dorner, J.; Frühauf, W.; Mann, R.; Müller, B. | Journal Article |
| 1990 | Leitsysteme für die Halbleiterfertigung. Praxisnahe Forschungsförderung am IPA
Sauter, K.-D. | Journal Article |
| 1990 | Meßtechnisches Praktikum im Reinraum. März 1990
| Conference Proceedings |
| 1990 | Meßtechnisches Praktikum im Reinraum. Oktober 1990
| Conference Proceedings |
| 1990 | Messung der Partikelemission bei Reibbeanspruchung
Warnecke, H.-J.; Kaun, R. | Journal Article |
| 1990 | New manufacturing concepts for the production of integrated circuits
Warnecke, H.-J.; Frühauf, W.; Schmutz, W. | Conference Paper |
| 1990 | Partikelmessung in der Luft
Kahlden, T. von | Conference Paper |
| 1990 | Partikelmessung in Gasen
Dorner, J. | Conference Paper |
| 1990 | Partikelmessungen auf Oberflächen
Klumpp, B. | Conference Paper |
| 1990 | Partikelmessungen auf Oberflächen
Klumpp, B. | Conference Paper |
| 1990 | Partikelmessungen in der Luft
Kahlden, T. von | Conference Paper |
| 1990 | Reinraumgerechte Konstruktion von Fertigungsgeräten und -komponenten
Geißinger, J. | Conference Paper |
| 1990 | Schrittweise Realisierung bringt den Erfolg. Automatisierungskonzepte für die Fertigung im Reinraum
Frühauf, W. | Journal Article |
| 1990 | Standardlösungen sind Mangelware. IPA baut Reinraumtechnik aus
Dorner, J. | Journal Article |
| 1990 | Strömungstechnische Gestaltung von Anlagenkomponenten
Degenhart, E. | Conference Paper |
| 1990 | The support of FhG IPA to E and M manufacturers
Geißinger, J. | Conference Paper |
| 1990 | Systematical concept and statistical evaluation of airborne particle measurements during testing equipment for cleanroom suitability
Warnecke, H.-J.; Kahlden, T. von | Journal Article |
| 1990 | Trennung von Mensch und Maschine. Reinraumfertigung
Frühauf, W. | Journal Article |
| 1990 | Turbulenzuntersuchungen im Reinraum. Auswirkungen auf die Umströmung sowie die Partikelausbreitung im Nachlauf von Bauteilen
Warnecke, H.-J.; Degenhart, E. | Journal Article |
| 1990 | Vorgehensweisen zur Kontaminationsminimierung bei Fertigungsgeräten
Warnecke, H.-J.; Kahlden, T. von; Schmutz, W. | Conference Paper |
| 1989 | Contamination measurement and analysis for ultra clean manufacturing devices
Herz, R.; Kahlden, T. von; Klumpp, B.; Schmutz, W. | Conference Paper |
| 1989 | Fertigungstechnik im Reinraum. Nur so rein wie nötig - Trend zu hochautomatisierter Fertigung
Schmutz, W.; Schraft, R.D. | Journal Article |
| 1989 | Forschung und Entwicklung für die Halbleitergeräte-Industrie. Teil II. Fertigungstechnik im Reinraum
Schmutz, W.; Schraft, R.D. | Conference Paper |
| 1989 | Grundlagen zur Entwicklung reinraumtauglicher Handhabungssysteme
Geißinger, J. | Dissertation |
| 1989 | Konzeption hilft Kosten sparen. Kapselung der Kontaminationsquellen durch lokale Reinräume
Schmutz, W. | Journal Article |
| 1989 | Lokale Reinräume. Flexibles, fotolithographisches Prozeßzentrum für die Halbleiterfertigung
Warnecke, H.-J.; Frühauf, W.; Kelemen, M.; Mann, R. | Journal Article |
| 1989 | Prozeßtechnische Aspekte fortschrittlicher Halbleiterfertigungsgeräte
Pfitzner, L.; Ryssel, H.; Schmutz, W. | Journal Article |
| 1989 | Reinigung, Montage und Prüfung im Reinraumtunnel. Integrales Reinheitskonzept zur Herstellung hochreiner Gasversorgungskomponenten
Hase, M.; Herz, R.; Klumpp, B.; Siebald, H.J. | Journal Article |
| 1989 | Der Reinraum als Produktionsumfeld für die Halbleiterfertigung
Schmutz, W. | Conference Paper |
| 1989 | Reinraum-Pneumatik. Konstruktive Unterschiede zu Standardkomponenten
Schmutz, W. | Journal Article |
| 1989 | Richtlinienentwurf - Standardisierung von Untersuchungen auf Reinraumtauglichkeit
Degenhart, E.; Geißinger, J.; Kahlden, T. von | Journal Article |
| 1989 | Staubarm ist nicht rein. Partikelquellen bei Fertigungsabläufen im Reinraum
Geißinger, J.; Kahlden, T. von; Klumpp, B. | Journal Article |
| 1989 | Trennung von Mensch und Produkt. Einsatz von Handhabungssystemen im Reinraum
Geißinger, J.; Schraft, R.D. | Journal Article |
| 1989 | Trennung von Mensch und Produkt. Einsatz von Handhabungssystemen im Reinraum
Geißinger, J.; Schraft, R.D. | Journal Article |
| 1989 | Untersuchungen auf Reinraumtauglichkeit. Prüfzentrum für Halbleiterfertigungsgeräte
Herz, R.; Kahlden, T. von; Schmutz, W. | Journal Article |
| 1989 | Vorgehensweise zur Kontaminationsminimierung bei Fertigungsgeräten
Warnecke, H.-J.; Kahlden, T. von | Conference Paper |
| 1988 | Halbleiterfertigungstechnik auf der Semicon Europe 1988
Fruehauf, W. | Journal Article |
| 1988 | Partikelfrei handeln - Handhabungssysteme in reinen Räumen
Seitz, D.; Geissinger, J. | Journal Article |
| 1988 | Stroemungsausbildung an Fertigungsgeraeten fuer den Reinraum-Einsatz. Tl.2
Warnecke, H.-J.; Degenhart, E.; Geissinger, J.; Kahlden, T. von | Journal Article |
| 1986 | Anforderungen an den Reinraum aus der Sicht der Halbleitertechnologie
Ryssel, H.; Pfitzner, L. | Conference Paper |
| 1986 | Roboter im Reinraum
Warnecke, H.-J.; Geissinger, J. | Journal Article |