| | |
---|
2020 | Cleaner than clean | Journal Article |
2019 | Digitale Revolution für den Reinraum Schulz, Fabian; Lodwig, Ragnar | Journal Article |
2018 | Biokontaminationskontrolle Keller, Markus | Book Article |
2018 | Einführung und Konzeption einer Sauberfertigung Rochowicz, Markus | Conference Paper |
2018 | Einführung und Konzeption einer Sauberfertigung Rochowicz, Markus | Conference Paper |
2018 | Reinraum - Prozessplanung und -betrieb Kreck, Guido; Ernst, Christian | Book Article |
2018 | Reinraumtechnik : Gail, Lothar (Hrsg.); Gommel, Udo (Hrsg.) | Book |
2018 | Systeme und Konzepte der Reinraumtechnik Ernst, Christian; Kreck, Guido | Book Article |
2018 | Umgebung Brag, Patrick | Conference Paper |
2017 | "Reinraumfahrt" - Ansprüche und Lösungen Rochowicz, Markus | Journal Article |
2017 | Cleanroom suitability qualification of a six axis robot system for aseptic processing Keller, Markus | Presentation |
2017 | Einführung und Konzeption einer Sauberfertigung Rochowicz, Markus | Conference Paper |
2017 | Einführung und Konzeption einer Sauberfertigung Rochowicz, Markus | Conference Paper |
2017 | Qualification of a 6-axis robot system for hygienic processes Keller, Markus; Boos, Stefanie; Baum, Gabriela; Schweizer, Marion; Bürger, Frank; Gommel, Udo | Book Article |
2017 | Umgebung Brag, Patrick | Conference Paper |
2017 | Umgebung Brag, Patrick | Conference Paper |
2017 | Zellassemblierung in Clusterbauweise - Chancen und Betriebsstrategien in der Industrie 4.0 Giesen, Tim | Conference Paper |
2016 | Assessment and selection of ultraprecision cleaning technologies Gommel, Udo; Kreck, Guido; Holzapfel, Yvonne | Conference Paper |
2016 | Cleanroom suitability of equipment: Assessment methodology according to 14644-14 and its verification Gommel, Udo; Kreck, Guido; Bürger, Frank | Conference Paper |
2016 | Cleanroom suitability qualification of a six axis robot system for sterile pharmaceutical manufacturing: Holistic approach Keller, Markus; Baum, Gabriela; Boos, Stefanie; Brückner, Mathias; Bürger, Frank; Gommel, Udo | Journal Article, Conference Paper |
2016 | Cleanroom suitability qualification of a six axis robot system for sterile pharmaceutical manufacturing: Holistic approach Keller, Markus; Boos, Stefan; Baum, Gabriela; Schweizer, Marion; Bürger, Frank; Gommel, Udo | Conference Paper |
2016 | Cleanrooms with low molecular organic contamination (MOC): From material classification measurements to different assessment methods regarding organic condensables Keller, Markus; Weisser, Stefanie; Gommel, Udo | Conference Paper |
2016 | Einführung und Konzeption einer Sauberfertigung Rochowicz, Markus | Conference Paper |
2016 | Einführung und Konzeption einer Sauberfertigung Rochowicz, Markus | Conference Paper |
2016 | Ganzheitliche Methode zur Auslegung von Reinräumen mit definierter organischer Luftreinheit Keller, Markus : Verl, Alexander (Hauptberichter) | Dissertation |
2016 | Produkt und Teilereinigung Metzmacher, Max | Conference Paper |
2016 | Produkt und Teilereinigung Metzmacher, Max | Conference Paper |
2016 | Reinheitstechnik am Fraunhofer IPA Gommel, Udo; Kreck, Guido | Journal Article |
2016 | Umgebung Brag, Patrick | Conference Paper |
2016 | Umgebung Brag, Patrick | Conference Paper |
2015 | Einführung und Konzeption einer Sauberfertigung Rochowicz, Markus | Conference Paper |
2015 | Einführung und Konzeption einer Sauberfertigung Rochowicz, Markus | Conference Paper |
2015 | Einführung und Konzeption einer Sauberfertigung Rochowicz, Markus | Conference Paper |
2015 | Die Geschichte der ISO/TC 209 Gommel, Udo; Kreck, Guido | Journal Article |
2015 | Der Industrieverbund MEDIclean Kreck, Guido; Holzapfel, Yvonne | Journal Article |
2015 | Mehr Sicherheit beim Einsatz von Verbrauchsmaterialien in der reinen Produktion Bürger, Frank; Gommel, Udo; Brückner, Mathias; Käfer, Sven | Journal Article |
2015 | MOC-Kondensationsrate - Neue Bewertungszahl für die Leistungsbeurteilung von Reinräumen? Keller, Markus; Weisser, Stefanie | Journal Article |
2015 | MOC-Kondensationsrate - Neue Bewertungszahl für die Leistungsbeurteilung von Reinräumen? Keller, Markus; Weisser, Stefanie | Journal Article |
2015 | MOC-Kondensationsrate - Neue Bewertungszahl für die Leistungsbeurteilung von Reinräumen? Keller, Markus; Weisser, Stefanie | Journal Article |
2015 | Produkt und Teilereinigung Metzmacher, Max | Conference Paper |
2015 | Sinnvolle Vorgaben machen Rochowicz, Markus | Journal Article |
2015 | Umgebung Brag, Patrick | Conference Paper |
2015 | Umgebung Brag, Patrick | Conference Paper |
2015 | Umgebung Brag, Patrick | Conference Paper |
2014 | Adsorption/Desorption von VPHP durch Materialien Keller, Markus; Weisser, Stefanie; Hägele, Sonja | Presentation |
2014 | Auch Möbel müssen hygienisch sein Keller, Markus | Journal Article |
2014 | Challenges in the assessment of the cleanroom suitability of equipment and materials Gommel, Udo; Kreck, Guido; Holzapfel, Yvonne | Conference Paper |
2014 | Controlled environments for VOC-sensitive manufacturing processes: From material classification to controlled IAQ in cleanrooms Keller, Markus; Gommel, Udo; Verl, Alexander | Conference Paper |
2014 | Controlled environments for VOC-sensitive manufacturing processes: From material classification to controlled IAQ in cleanrooms Keller, Markus; Gommel, Udo | Conference Paper |
2014 | CSM - Reinraumtaugliche Materialien. Eine Einführung Gommel, Udo | Presentation |
2014 | Dreidimensionale Erfassung von Partikeln Brückner, Mathias; Bürger, Frank | Journal Article |
2014 | Einführung und Konzeption einer Sauberfertigung Rochowicz, Markus | Conference Paper |
2014 | Einführung und Konzeption einer Sauberfertigung Rochowicz, Markus | Conference Paper |
2014 | Examples and case studies Asbach, Christoph; Aguerre, Olivier; Bressot, Christophe; Brouwer, Derk H.; Gommel, Udo; Gorbunov, Boris; Bihan, Olivier le; Jensen, Keld Alstrup; Kaminski, Heinz; Keller, Markus; Koponen, Ismo Kalevi; Kuhlbusch, Thomas A.J.; Lecloux, Andre; Morgeneyer, Martin; Muir, Ian; Shandilya, Neeraj; Stahlmecke, Burkhard; Todea, Ana María | Book Article |
2014 | Luftgetragene molekulare Verunreinigungen (ACC). Aktuelle Forschungsergebnisse Keller, Markus; Weisser, Stefanie | Presentation |
2014 | Die neue VDA 19 Rochowicz, Markus | Journal Article |
2014 | Die neue VDA 19. Das Regelwerk zur Technischen Sauberkeit nach der Überarbeitung : Verl, Alexander (Hrsg.); Bauernhansl, Thomas (Hrsg.) | Conference Proceedings |
2014 | Particulate cleanliness and cleaning validation in fields ranging from automotive industry to medical devices Gommel, Udo; Holzapfel, Yvonne; Kreck, Guido | Conference Paper |
2014 | Particulate emissions from equipment used in ultra clean areas of the semiconductor industry Gommel, Udo; Keller, Markus | Book Article |
2014 | Personal Brag, Patrick | Conference Paper |
2014 | Reinraumtauglichkeit von Werkstoffen Keller, Markus | Conference Paper |
2014 | Research on hygienic flooring systems: Release of particle due to friction, chemical and biological resistance and cleanability Keller, Markus; Gommel, Udo; Baum, Gabriela | Conference Paper |
2014 | Technische Sauberkeit als messbares Produktmerkmal Rochowicz, Markus | Conference Paper |
2014 | Technische Sauberkeit: Bestimmung der partikulären Reinheit Holzapfel, Yvonne; Kreck, Guido | Journal Article |
2014 | Umgebung Rochowicz, Markus | Conference Paper |
2014 | Umgebung Rochowicz, Markus | Conference Paper |
2014 | Verbrauchsmaterialien für den Reinraum Bürger, Frank | Conference Paper |
2014 | Verfahren: CO2-Reinigung und CSM-Partikelemission Übertragung - Reinraumlabor Fraunhofer IPA Bürger, Frank; Grimme, Ralf; Wiesner, Lisa; Kreck, Guido | Presentation |
2013 | AMC: Luftgetragene chemische Kontaminationen Keller, Markus | Presentation |
2013 | Clean Manufacturing - Conception & Realisation. Using the example of the LuminaLED research and production facility and the PERiMETER quality competence center for Eastern Europe Bürger, Frank | Presentation |
2013 | CSM - Standardisierung durch die Industrie Gommel, Udo | Presentation |
2013 | Fraunhofer TESTED DEVICE® Bürger, Frank | Journal Article |
2013 | Kritische Kontaminationen in Zukunftsindustrien Bürger, Frank; Brückner, Mathias; Gommel, Udo | Presentation |
2013 | Project »LuminaLED« and »PERiMETER«. Conception, realization and ramp-up of a LED research center (LuminaLED) including a quality competence center for Eastern Europe (PERiMETER) Wertz, Roland | Presentation |
2013 | Prozessgeräte als Kontaminationsquellen Bürger, Frank | Presentation |
2013 | Reinheit in der Produktion - die heimlich boomende Qualitätsgröße in der Fertigungstechnik Rochowicz, Markus | Presentation |
2013 | Reinheits- und Reinraumtauglichkeit von Werkstoffen und Equipment Gommel, Udo | Presentation |
2013 | Reinigbarkeit filmischer Kontaminationen von Boden- und Wandbeschichtungen - angepasster Riboflavintest Keller, Markus; Baum, Gabriela | Journal Article |
2013 | ReinRaumfahrt für die ESA Kreck, Guido | Journal Article |
2013 | Reinraumtaugliche Materialien (CSM) Keller, Markus; Gommel, Udo | Journal Article |
2013 | Technische Sauberkeit: Bestimmung der partikulären Reinheit - von der Automobilindustrie bis zur Medizintechnik Holzapfel, Yvonne; Kreck, Guido | Journal Article |
2013 | Technische Sauberkeit: Bestimmung der partikulären Reinheit - von der Automobilindustrie bis zur Medizintechnik Holzapfel, Yvonne; Kreck, Guido | Journal Article |
2013 | Verbrauchsmaterialien für den Reinraum Bürger, Frank; Brückner, Mathias; Gommel, Udo | Presentation |
2012 | AMC: An emerging class of contamination Keller, M. | Journal Article |
2012 | Anforderungsprofil geringster Emissionen aus Werkstoffen Bürger, Frank; Keller, Markus | Presentation |
2012 | Die aufstrebende Kontaminationsart Keller, Markus | Journal Article |
2012 | Biokontaminationskontrolle Keller, Markus | Journal Article |
2012 | Biokontaminationskontrolle Keller, Markus | Book Article |
2012 | Classifying VOC emissions from cleanroom materials Keller, Markus | Journal Article |
2012 | A clean LED production for a clean environment Gommel, Udo; Kreck, Guido | Journal Article |
2012 | Comparable measurement of VOC-emissions from building materials followed by a standardized classification system Keller, Markus; Gommel, Udo | Journal Article |
2012 | Contamination Control für Life-Science Anwendungen - VDI 2083 Blatt 18 - Keller, Markus | Presentation |
2012 | Datenbank zu reinraumtauglichen Werkstoffen und Fertigungsanlagen Gommel, Udo | Presentation |
2012 | Forschung Reinraumbodensysteme Keller, Markus; Gommel, Udo | Journal Article |
2012 | Hygienic Design in der Life Science Industrie: Konsequente Umsetzung der hygienischen Designvorgaben am Beispiel eines Edelstahlmöbels Keller, Markus | Journal Article |
2012 | Materials of construction: Flooring material. Hygienic requirements Keller, Markus | Presentation |
2012 | Measurement and classification method regarding the emission of volatile organic compounds from cleanroom materials Keller, Markus; Gommel, Udo; Verl, Alexander | Conference Paper |
2012 | Reinheitsgerechte Auslegung von Maschinen und Anlagen Rochowicz, Markus; Keller, Markus; Bürger, Frank | Journal Article |
2012 | Reinheitsspezifikationen der Halbleiterindustrie an Werkstoffen Gommel, Udo | Presentation |
2012 | Reinheitsvalidierung hinsichtlich partikulärer Kontaminationen Kreck, Guido | Presentation |
2012 | Reinigbarkeit von Oberflächen Keller, Markus; Waldner, Alina; Baum, Gabriela | Journal Article |
2012 | Reinraum - Prozessplanung und -betrieb Kreck, Guido; Ernst, Christian | Book Article |
2012 | Reinraumtechnik. 3., aktual. und erw. Aufl. : Gail, Lothar (Hrsg.); Gommel, Udo (Hrsg.); Hortig, Hans-Peter (Hrsg.) | Book |
2012 | Systeme und Konzepte der Reinraumtechnik Ernst, Christian; Schmauz, Günther; Kreck, Guido | Book Article |
2012 | VDI 2083 Blatt 9.2: Reinraumgerechte Verbrauchsmaterialien Bürger, Frank | Presentation |
2012 | VDI 2083-17: New test procedure to determine comparable specific emission rates from material surfaces Keller, Markus | Presentation |
2012 | Werkstoffe für die sauberkeitskritische Produktion Gommel, Udo | Presentation |
2012 | Werkstoffe für Life-Science-Anwendungen Keller, Markus | Presentation |
2012 | Wie sauber ist Ihr Reinstwasser? Keller, Markus | Journal Article |
2012 | Das Zusammenspiel Technik und Kleidung/Verbrauchsmaterialien Bürger, Frank | Presentation |
2011 | Anforderungen an Produktionsanlagen in der Life-Science Industrie Keller, Markus | Presentation |
2011 | Bestimmung der spezifischen VOC-Emissionsrate von Materialoberflächen Keller, Markus | Presentation |
2011 | Biokontaminationskontrolle Keller, Markus | Conference Paper |
2011 | Cleanroom suitability of materials and equipments Gommel, Udo | Conference Paper |
2011 | Detection and Avoidance of Contaminations on Solar Wafer and Cells Bürger, Frank; Wertz, Roland; Verl, Alexander | Conference Paper |
2011 | The Fraunhofer IPA Industrial Alliance "CSM" Gommel, Udo | Conference Paper |
2011 | Im Sinne der Gesundheit Keller, Markus; Grimme, Ralf; Ernst, Christian | Journal Article |
2011 | LuminaLED cleanroom lab Gommel, Udo | Conference Paper |
2011 | Messtechniken zur Charakterisierung von Reinräumen Bürger, Frank | Conference Paper |
2011 | Mobiles Probenahmesystem Keller, Markus | Journal Article |
2011 | Nachlese CSM-Treffen 2011 Keller, Markus | Journal Article, Conference Paper |
2011 | Outgassing of clean room suitable materials (CSM) | Conference Proceedings |
2011 | Partikelemission, chemische Resistenz und Reinigbarkeit von Werkstoffen Gommel, Udo | Presentation |
2011 | Prüfung der Sauberkeitsqualität Ernst, Christian | Conference Paper |
2011 | Reinraumtaugliche Betriebsmittel Kreck, Guido | Conference Paper |
2011 | Reinraumtauglichkeit von Werkstoffen Keller, Markus | Conference Paper |
2011 | Reinster Reinraum Pidun, Ursula; Keller, Markus | Journal Article |
2011 | Reinstwasseranalytik - Wie sauber ist Ihr Reinstwasser? Keller, Markus | Journal Article |
2011 | Reinstwasseranalytik: Wie sauber ist Ihr Reinstwasser? Keller, Markus | Journal Article |
2011 | Verbrauchsmaterialien: Reinraum- und Reinheitstauglichkeit - Begriffe, Testverfahren, Prüfungen Bürger, Frank; Gommel, Udo | Conference Paper |
2011 | VOC emissions test method Keller, Markus | Journal Article |
2011 | Werkstoffe für den Einsatz unter sauberkeitskritischen Bedingungen Gommel, Udo; Bürger, Frank | Conference Paper |
2011 | Wie sauber ist Ihr Reinstwasser? Keller, Markus | Journal Article |
2010 | Clean environment and equipment for precision assembly Bürger, Frank; Gommel, Udo | Presentation |
2010 | Clean technology for the ultra barrier layer production Bürger, Frank | Presentation |
2010 | Cleanroom suitability of equipments Gommel, Udo; Bürger, Frank | Conference Paper |
2010 | E-Mobility. Reinheitstaugliche Anlagenkonzepte statt mehr Reinraum Rochowicz, M.; Schmauz, G. | Journal Article |
2010 | Emissionen reinraumtauglicher Materialien Keller, Markus | Journal Article |
2010 | Informationsveranstaltung "Technische Sauberkeit von Blechumformteilen" : Rochowicz, Markus (Referent); Ernst, Christian (Referent); Schmauz, Günther (Referent) | Conference Proceedings |
2010 | Die Life-Science-Industrie Keller, Markus | Journal Article |
2010 | Messtechniken zur Charakterisierung von Reinräumen Bürger, Frank | Conference Paper |
2010 | Particle detection in the barrier layer production Bürger, Frank | Presentation |
2010 | Prüfung der Sauberkeitsqualität Ernst, Christian | Conference Paper |
2010 | Prüfung von Devices für die Medizintechnik Gommel, Udo; Keller, Markus | Conference Paper |
2010 | Reinraumtaugliche Betriebsmittel Kreck, Guido | Conference Paper |
2010 | Reinraumtaugliche Materialien Keller, Markus; Gommel, Udo | Conference Paper |
2010 | Reinraumtauglichkeit von Werkstoffen Keller, Markus | Conference Paper |
2010 | VDI 2083-17: VOC emissions from material surfaces Keller, Markus; Bürger, Frank | Conference Paper |
2009 | Design and test of industrial robots for the use in cleanrooms Gommel, Udo; Keller, Markus | Conference Paper |
2009 | Design von Equipment im reinen und hygienischen Bereich Bürger, Frank; Schweizer, Marion | Book Article |
2009 | Die Entwickler - Fraunhofer IPA Bürger, Frank | Journal Article |
2009 | Industrielle Produktion im Reinraum Gommel, Udo; Keller, Markus | Presentation |
2009 | Mechatronics Seminar 2009 : Granrath, L. | Conference Proceedings |
2009 | Projektplanung Reinraumtechnik : Gail, Lothar (Hrsg.); Gommel, Udo (Hrsg.); Weißsieker, Horst (Hrsg.) | Book |
2009 | Reines Equipment. Mit Strömungssimulation Kontaminationsquellen vermeiden Bürger, Frank | Journal Article |
2009 | Reinraum- und Reinheitstauglichkeit von Materialien, Komponenten und Maschinen Keller, Markus | Presentation |
2009 | Reinraumtaugliche Materialien / Reinraumtaugliches Design Keller, Markus | Conference Paper |
2009 | Reinraumtaugliches Equipment Design Gommel, Udo; Keller, Markus | Conference Paper |
2008 | Equipment design for clean room use Gommel, Udo; Bürger, Frank; Kreck, Guido; Keller, Markus | Conference Paper |
2008 | Grundlagen der Reinraumtechnik und Personalverhalten - Trends in der reinen Produktion Gommel, Udo | Conference Paper |
2008 | Messtechniken zur Charakterisierung von Reinräumen Bürger, Frank | Conference Paper |
2008 | Methoden und Geräte zur Kontaminationskontrolle technischer Oberflächen Grimme, Ralf; Schmauz, Günther; Modrich, Kai-Udo | Journal Article |
2008 | Praxisnahe Filter-Prüfverfahren - Machbarkeitsstudie Ernst, Christian; Gröning, Martin | Conference Paper |
2008 | Produkthandhabung, Logistik und Reinraum Schmauz, Günther | Conference Paper |
2008 | Qualität als Ganzes Rochowicz, Markus | Conference Paper |
2008 | Reines Design von Equipment Bürger, Frank; Gommel, Udo | Journal Article |
2008 | Reinraumgerechtes Anlagen- und Equipment Design / Computational Fluid Dynamics (CFD) Bürger, Frank; Gommel, Udo | Journal Article |
2008 | Reinraumtaugliche Betriebsmittel Kreck, Guido | Conference Paper |
2008 | Reinraumtauglichkeit von Verbrauchsmaterialien - Anforderungen und Prüfmöglichkeiten Bürger, Frank; Kreck, Guido | Presentation |
2008 | Reinraumtauglichkeit von Werkstoffen Keller, Markus | Conference Paper |
2007 | Assessment of the cleanroom suitability of material pairings for use in cleanroom applications Gommel, Udo | Conference Paper |
2007 | Contamination control techniques on surfaces Rochowicz, Markus | Conference Paper |
2007 | Grundlagen der Reinraumtechnik und Personalverhalten - Trends in der reinen Produktion Gommel, Udo | Conference Paper |
2007 | Messtechniken zur Charakterisierung von Reinräumen Bürger, Frank | Conference Paper |
2007 | Partikelschmutz trotz sauberer Bauteile Rochowicz, Markus; Ernst, Christian | Journal Article |
2007 | Produkthandhabung, Logistik und Reinraum Schmauz, Günther | Conference Paper |
2007 | Qualität als Ganzes - VDI 2083 Rochowicz, Markus | Conference Paper |
2007 | Reinraum- und Reinheitstauglichkeit von Werkstoffen Gommel, Udo | Conference Paper |
2007 | Reinraumtaugliche Betriebsmittel Kreck, Guido | Conference Paper |
2007 | Reinraumtaugliche Materialien - Aktueller Stand bei der Bewertung der Reinraum- und Reinheitstauglichkeit von Werkstoffen Gommel, Udo | Conference Paper |
2007 | Reinraumtauglichkeit von Werkstoffen Gommel, Udo | Conference Paper |
2007 | Sauberkeit als messbares Produktmerkmal Rochowicz, Markus | Conference Paper |
2007 | Werkstoffe auf dem Prüfstand Rapp, Alexander; Gommel, Udo | Journal Article |
2007 | Werkstoffe für den Einsatz in reinen Bereichen Westkämper, Engelbert; Smolinski, Dirk; Kreck, Guido; Gommel, Udo | Journal Article |
2006 | Entwicklung eines universellen und mobilen Kommunikationsframeworks "Message to Anywhere" in Hightech-Branchen (M2A) Knoll, G.; Stiedl, T.; Gutbrodt, F. | Report |
2006 | Fertigen unter reinen Bedingungen | Conference Proceedings |
2006 | Grundlagen der Reinraumtechnik und Personalverhalten - Trends in der reinen Produktion Schüle, A. | Conference Paper |
2006 | Grundlagen der Reinraumtechnik und Personalverhalten - Trends in der reinen Produktion Gommel, U. | Conference Paper |
2006 | Messtechniken in der Reinraumluft zur Abnahme von Reinräumen Grimme, R. | Conference Paper |
2006 | Messtechniken in der Reinraumluft zur Abnahme von Reinräumen Bürger, F. | Conference Paper |
2006 | On-line monitoring and identification of bioaerosols Rösch, P.; Harz, M.; Peschke, K.-D.; Ronneberger, O.; Burkhardt, H.; Schüle, A.; Schmauz, G.; Lankers, M.; Hofer, S.; Thiele, H.; Motzkus, H.-W.; Popp, J. | Journal Article |
2006 | Das Reinheitsgebot der Mikrotechnik Gommel, U. | Journal Article |
2006 | Reinraumtauglichkeit von Werkstoffen Gommel, U. | Conference Paper |
2006 | Reinraumtauglichkeit von Werkstoffen Gommel, U. | Conference Paper |
2006 | Sauberkeit als messbares Produktmerkmal Rochowicz, M. | Conference Paper |
2006 | Sauberkeitsqualität als Ganzes Ernst, C. | Conference Paper |
2006 | Sauberkeitsqualität als Ganzes Rochowicz, M. | Conference Paper |
2006 | Verfahren zur Bestimmung der Reinraumtauglichkeit von Werkstoffpaarungen Gommel, U. | Dissertation |
2005 | Advanced production technologies in the photovoltaic industries Dorner, J. | Conference Paper |
2005 | Direct evaluation of the particulate cleanliness of surface Schmauz, G.; Grimme, R. | Conference Paper |
2005 | Grundlagen der Reinraumtechnik und Personalverhalten - Trends in der reinen Produktion Schüle, A. | Conference Paper |
2005 | Messtechniken in der Reinraumluft zur Abnahme von Reinräumen Grimme, R. | Conference Paper |
2005 | Methoden und Geräte zur Kontaminationskontrolle technischer Oberflächen Grimme, R.; Schmauz, G.; Modrich, K.-U. | Conference Paper |
2005 | Neue Verfahren zum chemisch-mechanischen Reinigen von Einzelwafern für Sub-100-mm-Technologie - CMC Cleaner : Gentischer, Josef (Projektleiter) | Study |
2005 | Reinraumtaugliche Werkstoffe Gommel, U. | Journal Article |
2005 | Reinraumtauglichkeit kundenspezifischer Werkstoffe Gommel, U.; Rapp, A. | Journal Article |
2005 | Reinraumtauglichkeit von Werkstoffen Gommel, U. | Conference Paper |
2005 | Sauberkeitsqualität als Ganzes Ernst, C. | Conference Paper |
2005 | Simulationsbaukasten für die Halbleiter- und Flachbildschirmfertigung Bader, U. | Dissertation |
2005 | Universal communications through message to anywhere (Poster Presentation) Knoll, G. | Conference Paper |
2004 | Anwendungen in der Praxis - Abnahme von Reinräumen nach VDI-Richtlinie 2083 Blatt 3 Rapp, A. | Conference Paper |
2004 | Cleanroom suitable materials: Methods of testing and classification Gommel, U. | Conference Paper |
2004 | Energiezuführungen für den Reinraum auf dem Prüfstand Gommel, U.; Nehring, H. | Journal Article |
2004 | Factory logistics in cleanroom manufacturing, material flow, material scheduling and automation | Conference Proceedings |
2004 | Fertigen unter reinen Bedingungen. Messtechnisches Praktikum 2004 | Conference Proceedings |
2004 | Grundlagen der Reinraumtechnik und Personalverhalten - Trends in der reinen Produktion Schüle, A. | Conference Paper |
2004 | In-situ detection of biocontamination on technical surfaces Schüle, A.; Schmauz, G.; Schmitt, R. | Conference Paper |
2004 | Manufacturing engineering for nanoproduction Jäger, T.; Werner, D.; Stock, A. | Book Article |
2004 | Preparation of contaminated monitor surfaces Schmauz, G.; Schüle, A.; Gerami Sarabi, L. | Conference Paper |
2004 | Saubere Sache Gommel, U. | Journal Article |
2004 | Sauberkeitsqualität als Ganzes Ernst, C. | Conference Paper |
2004 | Training mit Feedback für den virtuellen Reinraum Fisser, F.; Joosten, H.; Shligerskiy, M. | Journal Article |
2004 | Universal and mobile messaging framework M2A "Message to anywhere" for laboratory automation Knoll, G.; Dorner, J.; Bölstler, F.; Seidelmann, J. | Conference Paper |
2003 | Fertigen unter reinen Bedingungen. Messtechnisches Praktikum 2003 | Conference Proceedings |
2003 | Grundlagen der Reinraumtechnik und Personalverhalten - Trends in der reinen Produktion Schüle, A. | Conference Paper |
2003 | Messtechniken in der Reinraumluft zur Abnahme von Reinräumen Rapp, A. | Conference Paper |
2003 | Qualitätsverbesserung in reinen Produktionen Ernst, C. | Conference Paper |
2003 | Universal simulation kit in micro-production Wiechers, O.; Zehtaban, M.; Seidelmann, J.; Schließer, J. | Conference Paper |
2002 | "Reinheitstechnische" Logistik Schließer, J. | Conference Paper |
2002 | Fertigen unter reinen Bedingungen. Messtechnisches Praktikum 2002 | Conference Proceedings |
2002 | Fertigungsanlagen Werner, D. | Conference Paper |
2002 | Grundlagen der Reinraumtechnik und Personalverhalten - Trends in der reinen Produktion Schüle, A. | Conference Paper |
2002 | Integrales Reinheitssystem Schließer, J.; Werner, D. | Book Article |
2002 | Materialien zur Verwendung unter reinen Bedingungen Gommel, U. | Conference Paper |
2002 | Medien Ernst, C. | Conference Paper |
2002 | Messtechniken in der Reinraumluft zur Abnahme von Reinräumen Schließer, J. | Conference Paper |
2002 | Personal Schließer, J. | Conference Paper |
2002 | Produktionsmittel-Prüfung auf Reinheitstauglichkeit Gommel, U.; Schließer, J.; Rapp, A. | Book Article |
2002 | Produzieren unter reinen Bedingungen Schließer, J.; Ernst, C.; Werner, D. | Conference Paper |
2002 | Qualitätsverbesserung in reinen Produktionen Ernst, C. | Conference Paper |
2002 | Qualitätswesen Ernst, C. | Conference Paper |
2002 | Reinraumtechnik Werner, D. | Conference Paper |
2002 | Saubere Sache Gommel, U.; Rapp, A. | Journal Article |
2002 | Sauberkeitsgerechte Produktionsgestaltung Schließer, J.; Rochowicz, M. | Conference Paper |
2002 | XML- und Java-basiertes modulares Produktionssystem Bengel, M.; Braatz, A. | Conference Paper |
2001 | Elektrostatik - Ursachen, Wirkungen und Maßnahmen Matuschek, P. | Conference Paper |
2001 | Fertigen unter reinen Bedingungen. Messtechnisches Praktikum 2001 | Conference Proceedings |
2001 | Grundlagen der Reinraumtechnik und Personalverhalten - Trends in der reinen Produktion Schüle, A. | Conference Paper |
2001 | Kontaminationsarme Verarbeitung: Gezielter Einsatz der Reinraumtechnik kann Konkurrenzfähigkeit der Produkte verbessern Schließer, J.; Huen, J. | Journal Article |
2001 | Materialien, Komponenten, Anlagen und ihr Einfluss auf die staubfreie Reinstfertigung Schließer, J.; Gommel, U. | Conference Paper |
2001 | Messtechniken in der Reinraumluft zur Abnahme von Reinräumen Schließer, J. | Conference Paper |
2001 | The Miniaturization of Components and Parts in Mechanical Engineering Westkämper, E. | Conference Paper |
2001 | Qualitätsverbesserung in reinen Produktionen Ernst, C. | Conference Paper |
2001 | Das Reinheitssystem von der Idee bis zum Service Gommel, U.; Pietsch, W. | Journal Article |
2000 | Abnahme von Reinräumen nach VDI-Richtlinie 2083 Blatt 3 Schließer, J. | Conference Paper |
2000 | Betrieb von Reinräumen Werner, D. | Conference Paper |
2000 | CleanRooms Europe 2000. Conference proceedings | Conference Proceedings |
2000 | CO2-Verfahren zur Konditionierung nichtmetallischer Grenzflächen Werner, D.; Zorn, C. | Conference Paper |
2000 | Fertigen unter reinen Bedingungen. Meßtechnisches Praktikum 2000 | Conference Proceedings |
2000 | Fertigungsanlagendesign für reine Produktionsumgebungen Gommel, U. | Conference Paper |
2000 | Grundlagen und Anwendungen der Reinraumtechnik Werner, D. | Conference Paper |
2000 | Kontaminanten im Griff Schließer, J.; Huen, J. | Journal Article |
2000 | Messtechniken in der Reinraumluft zur Abnahme von Reinräumen Schließer, J. | Conference Paper |
2000 | The Miniaturization of Components and Parts in Mechanical Engineering Westkämper, E. | Conference Paper |
2000 | Montage in der Sauber- und Reinstfertigung Schließer, J. | Conference Paper |
2000 | Präzisionsreinigung von Mikrostrukturen mittels UV-Laser Rochowicz, M.; Grimme, R.; Schäfer, W. | Conference Paper |
2000 | Qualitätsverbesserung in reinen Produktionen Ernst, C. | Conference Paper |
2000 | Qualitätsverbesserungen in reinen Produktionen Ernst, C. | Conference Paper |
2000 | Tendances actuelles dans la production ultra-propre Schließer, J.; Huen, J. | Journal Article |
2000 | Trends in der "Reinen" Produktion Schließer, J. | Conference Paper |
2000 | Überwachung der Oberflächenreinheit von Bauteilen und Einrichtungen im reinen Umfeld Grimme, R.; Rochowicz, M. | Conference Paper |
2000 | Verfahren zur Reinheitskontrolle Ernst, C. | Conference Paper |
1999 | Anwendungen in der Praxis - Abnahme von Reinräumen nach VDI-Richtlinie 2083 Blatt 3 Schließer, J. | Conference Paper |
1999 | CleanRooms Europe 1999. Conference proceedings | Conference Proceedings |
1999 | Fertigen unter reinen Bedingungen. Meßtechnisches Praktikum 1999 | Conference Proceedings |
1999 | Grundlagen der Reinraumtechnik und Trends in der reinen Produktion Gaugel, T.; Schließer, J. | Conference Paper |
1999 | Grundlagen und Anwendungen der Reinraumtechnik Dorner, J. | Conference Paper |
1999 | Integrales Reinheitssystem Werner, D.; Schließer, J. | Conference Paper |
1999 | Meßeinrichtung zur direkten Unterscheidung von luftgetragenen biotischen und abiotischen Partikeln Kölblin, R. | Dissertation |
1999 | Meßtechnik im Reinraum Ernst, C. | Conference Paper |
1999 | Meßtechnik in der Sauber- und Reinstfertigung Ernst, C.; Matuscheck, P.; Naffin, F. | Journal Article |
1999 | Meßtechniken in der Reinraumluft zur Abnahme von Reinräumen Schließer, J. | Conference Paper |
1999 | Minienvironments and Thermal Effects Schließer, J.; Staudt-Fischbach, P. | Conference Paper |
1999 | Oberflächen-Partikelmeßtechnik Grimme, R.; Rochowicz, M. | Conference Paper |
1999 | Optimierung von Reinraumproduktionen Dorner, J.; Schließer, J.; Ernst, C.; Werner, D. | Conference Paper |
1999 | Personal im Reinraum Werner, D. | Conference Paper |
1999 | Personal und Hygiene im Reinraum Güth, A. | Conference Paper |
1999 | Qualification for Cleanroom Suitability Gommel, U. | Conference Paper |
1999 | Qualifizierung von Betriebsmitteln für die Sauber- und Reinstfertigung Gommel, U.; Matuscheck, P.; Ernst, C.; Schließer, J. | Journal Article |
1999 | Qualitätsverbesserungen in reinen Produktionen Ernst, C. | Conference Paper |
1999 | The Quality Chain for (U)HP Media and Joint Media in its Meaning Dorner, J.; Matuscheck, P.; Ernst, C. | Conference Paper |
1999 | Reinraumtauglichkeit von Betriebsmitteln Schließer, J.; Gommel, U. | Conference Paper |
1999 | Reinraumtauglichkeit von Produktionseinrichtungen und Verbrauchsgütern Gommel, U.; Schließer, J. | Conference Paper |
1999 | Standardisierungslösungen für ein modulares Fertigungssystem in der Mikrotechnik Bader, U.; Schließer, J.; Hägele, K.-D.; Weinmann, A. | Journal Article |
1999 | Strömung und Verhalten im Reinraum (Versuch 7) Gaugel, T. | Conference Paper |
1999 | Using an Adapted Strategy of Optimizing Cleanroom Production Sites Schließer, J.; Werner, D. | Conference Paper |
1999 | A View to the Future - A Modular Simulation Kit for Cost-Efficient Fab-Wide Planning and the Simulation of Automated Material Handling Systems in the Semiconductor Industry Bader, U.; Besler, A.; Schließer, J.; Dorner, J. | Conference Paper |
1998 | Anwendung in der Praxis - Abnahme von Reinräumen Schließer, J. | Conference Paper |
1998 | Cleanroom Technology 1998 : Kaufmann, T.; Gommel, U. | Conference Proceedings |
1998 | Elektrostatik im Reinraum Koptik, V. | Conference Paper |
1998 | Fertigungstechnik im Reinraum. Meßtechnisches Praktikum '98 | Conference Proceedings |
1998 | Meßtechnik im Reinraum Ernst, C. | Conference Paper |
1998 | Meßtechniken in der Reinraumluft zur Abnahme von Reinräumen Schließer, J. | Conference Paper |
1998 | Personal im Reinraum Werner, D. | Conference Paper |
1998 | Personnel in Cleanrooms Werner, D. | Conference Paper |
1998 | Produzieren unter reinen Bedingungen: Grundlagen, Maßnahmen zur Qualitätssicherung und Trends : Dorner, J. | Conference Proceedings |
1998 | Qualification of Products for Equipping Cleanrooms Gommel, U. | Conference Paper |
1998 | Qualification of Products for Equipping Cleanrooms Dorner, J. | Conference Paper |
1997 | Elektrostatik im Reinraum Koptik, V. | Conference Paper |
1997 | Fertigungstechnik im Reinraum. Meßtechnisches Praktikum '97 | Conference Proceedings |
1997 | Meßtechniken in der Reinraumluft zur Abnahme von Reinräumen Schließer, J. | Conference Paper |
1997 | Meßverfahren zur Überwachung der Umgebungsluft hinsichtlich biotischer und abiotischer partikulärer Kontaminationen Kölblin, R. | Conference Paper |
1997 | Partikelmeßdatenverarbeitung Naffin, F. | Conference Paper |
1997 | Reinraumtechnik '97: Qualifizierung und Überwachung. Reinraum und Reinstmedien | Conference Proceedings |
1997 | Verfahren zur Konzeption automatischer reinraumtauglicher Fertigungsanlagen und -zellen Kaun, R. | Dissertation |
1996 | Cleanroom Technology : Dorner, J.; Klumpp, B. | Conference Proceedings |
1996 | Cleanroom Technology : Dorner, J.; Kaufmann, T.S. | Conference Proceedings |
1996 | Design Methods and Recommended Practices for Developing a Minienvironment System Schließer, J.; Klumpp, B. | Conference Paper |
1996 | Development Trends and Cleanroom Concepts in the Industrial Production of Microelectromechanical Systems Grimme, R.; Schünemann, M.; Schließer, J.; Kaufmann, T.S.; Schäfer, W. | Conference Paper |
1996 | Development Trends and Cleanroom Concepts in the Industrial Production of Microelectromechanical Systems Grimme, R.; Schünemann, M.; Schließer, J.; Kaufmann, T.S.; Schäfer, W. | Conference Paper |
1996 | Experiences with thermal effects in minienvironments and methods for obtaining and optimized airflow pattern Schließer, J.; Limperich, D. | Conference Paper |
1996 | Fertigungstechnik im Reinraum. Meßtechnisches Praktikum '96 | Conference Proceedings |
1996 | Grundlagen der Streulichtpartikelmessung Ernst, C. | Conference Paper |
1996 | Materialien, Anforderungen und einfache Reinheitsprüfverfahren für Oberflächen der Reinraum-Fertigungsumgebung Werner, D. | Conference Paper |
1996 | Modulares Gerätekonzept zur Mikrolinsenmontage Grimme, R.; Schlenker, D.; Stock, A.; Schäfer, W. | Conference Paper |
1996 | New Cleanroom and Cleanliness Concepts for Microsystem Production Dorner, J.; Grimme, R.; Schünemann, M.; Schließer, J.; Kaufmann, T.S.; Schäfer, W. | Conference Paper |
1996 | Oberflächen im Reinraum - Reinigung und Trocknung Schüle, A. | Conference Paper |
1996 | Optimization of cleanroom production sites Klumpp, B.; Schließer, J.; Dorner, J. | Conference Paper |
1996 | Particle measurements in turbulent flow areas as as part of investigations at cleanroom equipment Kahlden, T. von | Conference Paper |
1996 | Partikelmessung in der Luft und Abnahmemessung von Reinräumen Grimme, R.; Kaufmann, T.S. | Conference Paper |
1996 | Produktion im reinen Umfeld - Branchen, Beispiele, Trends Dorner, J. | Conference Paper |
1996 | Qualitätssicherung in Reinräumen Kölblin, R.; Herzog, O. | Conference Paper |
1996 | Reinraumtechnik zur Fertigung von Displays Dorner, J. | Conference Paper |
1996 | Vorbereitung zur GMP / FDA-Validierung einer reinen Produktion Kölblin, R. | Conference Paper |
1995 | Fertigungsoptimierung - Reduzierung von schmutzbedingter Nacharbeit und Feldausfällen Kölblin, R. | Conference Paper |
1995 | Fertigungstechnik im Reinraum. Meßtechnisches Praktikum '95 | Conference Proceedings |
1995 | Materialien für Reinraumanwendungen Werner, D.; Kölblin, R. | Conference Paper |
1995 | Medienversorgungssysteme Dorner, J. | Conference Paper |
1995 | Oberflächen im Reinraum - Partikelmessung und Reinigung Klumpp, B. | Conference Paper |
1995 | An Optimized Procedure for Process Equipment and Minienvironment Specification with PWP Measurement Klumpp, B.; Mayer, S.; Schließer, J. | Conference Paper |
1995 | Partikelmessung in Luft und Abnahmemessungen von Reinräumen Grimme, R. | Conference Paper |
1995 | Personal und Fertigung im Reinraum Schließer, J. | Conference Paper |
1995 | Produktion im reinen Umfeld - Branchen, Beispiele, Trends Dorner, J. | Conference Paper |
1995 | Qualitätssicherung in Reinräumen Herzog, O. | Conference Paper |
1995 | Werkstückhandhabung Warnecke, H.-J. | Book Article |
1994 | Designing methods to obtain a less contaminated air-flow at the product level Schließer, J. | Conference Paper |
1994 | Fertigungsoptimierung - Reduzierung von schmutzbedingter Nacharbeit und Feldausfällen Müller, B. | Conference Paper |
1994 | Fertigungstechnik im Reinraum. Meßtechnisches Praktikum '94 | Conference Proceedings |
1994 | Industrieroboter im Reinraum Geißinger, J.; Kaun, R. | Book Article |
1994 | IPA-Workshop - "Fertigungstechnik im Reinraum - Meßtechnisches Praktikum" Dorner, J.; Huppert, U.; Müller, B. | Conference Paper |
1994 | Materialien für Reinraumanwendungen. Einfache Methoden zur Qualifizierung von Kontaminationen auf technischen Oberflächen Kölblin, R. | Conference Paper |
1994 | Oberflächen im Reinraum - Partikelmessung und Reinigung Klumpp, B. | Conference Paper |
1994 | Optimierte Durchführung von Partikelmessungen durch Steigerung des Know-hows des Meßdurchführenden Kahlden, T. von | Conference Paper |
1994 | Optimierung Reiner Fertigungen unter Gesichtspunkten minimalster Betriebskosten bei maximaler Reinheit Klumpp, B.; Müller, B. | Conference Paper |
1994 | Partikelmessung in Luft und Abnahmemessungen von Reinräumen Grimme, R. | Conference Paper |
1994 | Personal und Fertigung im Reinraum Schließer, J. | Conference Paper |
1994 | Produktion im reinen Umfeld - Branchen, Beispiele, Trends Müller, B. | Conference Paper |
1994 | Der Prozeßreinraum - Neue Strategien zur Qualitätssteigerung am Produkt Schließer, J. | Conference Paper |
1994 | Qualitätssicherung in Reinräumen Herzog, O. | Conference Paper |
1993 | Abnahmemessungen von Reinräumen - Meßgeräte und deren Einsatzgrenzen Kahlden, T. von | Journal Article |
1993 | Alles im Reinen - Fertigungsoptimierung im Reinraum Herzog, O. | Book Article |
1993 | Entwurf von Leitsystemen - Produktionstechnik im Reinraum Warnecke, H.-J.; Herzog, O. | Journal Article |
1993 | Feinstreinigung von Oberflächen Klumpp, B. | Conference Paper |
1993 | Fertigungsoptimierung Müller, B. | Conference Paper |
1993 | Fertigungstechnik im Reinraum. Meßtechnisches Praktikum '93 | Conference Proceedings |
1993 | Materialfluß bei Clustertools Bader, U. | Conference Paper |
1993 | Meßgeräte und Vorgehensweisen bei Abnahmemessungen in Reinräumen Kahlden, T. von | Conference Paper |
1993 | Partikelmessung in Luft und Abnahmemessungen von Reinräumen Grimme, R.; Kahlden, T. von | Conference Paper |
1993 | Personal und Fertigung im Reinraum Kahlden, T. von | Conference Paper |
1993 | Prüfverfahren zur Untersuchung der Partikelreinheit technischer Oberflächen Klumpp, B. | Dissertation |
1993 | Saubermänner - Konzeption und Entwicklung von hochautomatisierten Geräten für Reinraumfertigungen Müller, B. | Book Article |
1993 | Simulationsgestützte Planungsmethodik zur Integration von Materialdistributionssystemen Bader, U. | Conference Paper |
1993 | Standardisierung. Dorner, J. | Conference Paper |
1992 | Airflow considerations in the design of production facilities in cleanrooms Degenhart, E. | Journal Article |
1992 | Automatisierungskonzepte und -komponenten für Reinraumanwendungen Frühauf, W. | Conference Paper |
1992 | Durchgängiges Reinheitskonzept. Was es bei der Teilereinigung unter Reinraumbedingungen zu beachten gilt Dorner, J.; Klumpp, B. | Journal Article |
1992 | Einfluß von Schmierstoffen auf die Partikelemission von Anlagen. Optimierung von Anlagen Kaun, R.; Magunna, J. | Journal Article |
1992 | Einsatzmöglichkeiten von OSF/Motif für Produktionsanlagen im Reinraum Herzog, O. | Conference Paper |
1992 | Entwicklungsrichtlinien für reinraumtaugliche Fertigungsgeräte Degenhart, E. | Conference Paper |
1992 | Fertigung unter Reinraumbedingungen Dorner, J. | Conference Paper |
1992 | The future practice on contamination control. ICCS Symposium Kahlden, T. von; Schließer, J. | Conference Paper |
1992 | Inbetriebnahme von Reinräumen Kahlden, T. von | Journal Article |
1992 | Instrumentation for measuring and monitoring cleanroom suitability of equipment Kahlden, T. von | Conference Paper |
1992 | Partikelmessung auf Oberflächen. Vielzahl von Verfahren Warnecke, H.-J.; Klumpp, B. | Journal Article |
1992 | Qualifizierung von Fertigungsgeräten und Komponenten für den Einsatz unter Reinraumbedingungen Kahlden, T. von | Conference Paper |
1992 | Reibbeanspruchte Materialien für Reinraumanwendungen Kaun, R. | Conference Paper |
1992 | Reinigung technischer Oberflächen Klumpp, B. | Conference Paper |
1992 | Spezifikationen von Reinraum-Monitoring-Systemen Schäfer, W. | Conference Paper |
1992 | Strömungstechnische Auslegung reinraumtauglicher Fertigungseinrichtungen Degenhart, E. | Dissertation |
1991 | Handhabungstechnik im Reinraum Kaun, R. | Conference Paper |
1991 | Herstellung reinraumgerechter Fertigungsmittel Kahlden, T. von | Conference Paper |
1991 | Hohes Automatisierungspotential in der Chip-Produktion. Kommunikation als Schwachstelle, Fertigungszellen sollen Automatisierungsgrad im Reinraum erhöhen Schäfer, W.; Wohnhas, S. | Journal Article |
1991 | Materialdistribution und neue Konzepte für die Fertigung im Reinraumbereich Frühauf, W. | Conference Paper |
1991 | Meßtechnisches Praktikum im Reinraum 1991 | Conference Proceedings |
1991 | Partikelmessungen auf Oberflächen Klumpp, B. | Conference Paper |
1991 | Partikelmessungen in der Luft Kahlden, T. von | Conference Paper |
1991 | Reinraum und Arbeitsbereich. Anforderungen, Umgebungsüberwachung. Federal Standard 209D vom 15. Juni 1988, ersetzt Federal Standard 209C vom 27. Oktober 1987 : Kahlden, T. von | Book |
1991 | Reinraumgerächt. Bei der Herstellung von Fertigungsmitteln für Reinräume rächen sich kleine Fehler mit großer Wirkung Kahlden, T. von | Journal Article |
1991 | Reinraumgerechte Konstruktion und Materialien Degenhart, E.; Geißinger, J. | Conference Paper |
1991 | Reinraumtauglichkeit von Materialien Kaun, R. | Conference Paper |
1991 | Systematical concept and statistical evaluation of airborne particle measurements during testing equipment for cleanroom suitability Warnecke, H.-J.; Kahlden, T. von | Conference Paper |
1991 | Systematische Vorgehensweise und statistische Auswertung von Messungen luftgetragener Partikel bei Untersuchungen von Fertigungsgeräten auf Reinheitstauglichkeit Kahlden, T. von | Conference Paper |
1991 | Wirtschaftliches Reinraumkonzept Fissan, H.; Stamm, W.; Bussing, H.; Kück, H. | Journal Article |
1990 | Anwendungen - Handhabungssysteme in Reinraumfertigungen Geißinger, J. | Book Article |
1990 | Automatisierte Ermittlung von Partikelkontamination. Integrierbare Softwarelösung als Voraussetzung Warnecke, H.-J.; Sauter, K.-D.; Schäfer, W. | Journal Article |
1990 | Automatisierungskonzepte für die Fertigung und Materialverteilung im Reinraum Frühauf, W. | Conference Paper |
1990 | Clean Equipment Design of Manufacturing Devices and Components Degenhart, E.; Geißinger, J. | Conference Paper |
1990 | Datenerfassung und Auswertung Hofer, T. | Conference Paper |
1990 | Datenerfassung und Auswertung auf dem Weg zum Facility Monitoring Hofer, T. | Conference Paper |
1990 | Economical feasibility study of local cleanrooms as an alternative for conventional cleanrooms in semiconductor manufacturing Kahlden, T. von | Conference Paper |
1990 | Einsatz des Laser-Lichtschnittverfahrens zur Optimierung von Reinraumströmungen Kelemen, M. | Journal Article |
1990 | Fertigen im Reinraum. Probleme und Lösungsansätze Kahlden, T. von; Schmutz, W.; Schraft, R.D. | Journal Article |
1990 | Flexibel Medien ver- und entsorgen Warnecke, H.-J.; Müller, B.; Dorner, J.; Frühauf, W.; Mann, R. | Journal Article |
1990 | Flexible Medienversorgung und -entsorgung. Für fotolithographisches Prozeßzentrum neuartiges Konzept realisiert Warnecke, H.-J.; Dorner, J.; Frühauf, W.; Mann, R.; Müller, B. | Journal Article |
1990 | Leitsysteme für die Halbleiterfertigung. Praxisnahe Forschungsförderung am IPA Sauter, K.-D. | Journal Article |
1990 | Meßtechnisches Praktikum im Reinraum. März 1990 | Conference Proceedings |
1990 | Meßtechnisches Praktikum im Reinraum. Oktober 1990 | Conference Proceedings |
1990 | Messung der Partikelemission bei Reibbeanspruchung Warnecke, H.-J.; Kaun, R. | Journal Article |
1990 | New manufacturing concepts for the production of integrated circuits Warnecke, H.-J.; Frühauf, W.; Schmutz, W. | Conference Paper |
1990 | Partikelmessung in der Luft Kahlden, T. von | Conference Paper |
1990 | Partikelmessung in Gasen Dorner, J. | Conference Paper |
1990 | Partikelmessungen auf Oberflächen Klumpp, B. | Conference Paper |
1990 | Partikelmessungen auf Oberflächen Klumpp, B. | Conference Paper |
1990 | Partikelmessungen in der Luft Kahlden, T. von | Conference Paper |
1990 | Reinraumgerechte Konstruktion von Fertigungsgeräten und -komponenten Geißinger, J. | Conference Paper |
1990 | Schrittweise Realisierung bringt den Erfolg. Automatisierungskonzepte für die Fertigung im Reinraum Frühauf, W. | Journal Article |
1990 | Standardlösungen sind Mangelware. IPA baut Reinraumtechnik aus Dorner, J. | Journal Article |
1990 | Strömungstechnische Gestaltung von Anlagenkomponenten Degenhart, E. | Conference Paper |
1990 | The support of FhG IPA to E and M manufacturers Geißinger, J. | Conference Paper |
1990 | Systematical concept and statistical evaluation of airborne particle measurements during testing equipment for cleanroom suitability Warnecke, H.-J.; Kahlden, T. von | Journal Article |
1990 | Trennung von Mensch und Maschine. Reinraumfertigung Frühauf, W. | Journal Article |
1990 | Turbulenzuntersuchungen im Reinraum. Auswirkungen auf die Umströmung sowie die Partikelausbreitung im Nachlauf von Bauteilen Warnecke, H.-J.; Degenhart, E. | Journal Article |
1990 | Vorgehensweisen zur Kontaminationsminimierung bei Fertigungsgeräten Warnecke, H.-J.; Kahlden, T. von; Schmutz, W. | Conference Paper |
1989 | Contamination measurement and analysis for ultra clean manufacturing devices Herz, R.; Kahlden, T. von; Klumpp, B.; Schmutz, W. | Conference Paper |
1989 | Fertigungstechnik im Reinraum. Nur so rein wie nötig - Trend zu hochautomatisierter Fertigung Schmutz, W.; Schraft, R.D. | Journal Article |
1989 | Forschung und Entwicklung für die Halbleitergeräte-Industrie. Teil II. Fertigungstechnik im Reinraum Schmutz, W.; Schraft, R.D. | Conference Paper |
1989 | Grundlagen zur Entwicklung reinraumtauglicher Handhabungssysteme Geißinger, J. | Dissertation |
1989 | Konzeption hilft Kosten sparen. Kapselung der Kontaminationsquellen durch lokale Reinräume Schmutz, W. | Journal Article |
1989 | Lokale Reinräume. Flexibles, fotolithographisches Prozeßzentrum für die Halbleiterfertigung Warnecke, H.-J.; Frühauf, W.; Kelemen, M.; Mann, R. | Journal Article |
1989 | Prozeßtechnische Aspekte fortschrittlicher Halbleiterfertigungsgeräte Pfitzner, L.; Ryssel, H.; Schmutz, W. | Journal Article |
1989 | Reinigung, Montage und Prüfung im Reinraumtunnel. Integrales Reinheitskonzept zur Herstellung hochreiner Gasversorgungskomponenten Hase, M.; Herz, R.; Klumpp, B.; Siebald, H.J. | Journal Article |
1989 | Der Reinraum als Produktionsumfeld für die Halbleiterfertigung Schmutz, W. | Conference Paper |
1989 | Reinraum-Pneumatik. Konstruktive Unterschiede zu Standardkomponenten Schmutz, W. | Journal Article |
1989 | Richtlinienentwurf - Standardisierung von Untersuchungen auf Reinraumtauglichkeit Degenhart, E.; Geißinger, J.; Kahlden, T. von | Journal Article |
1989 | Staubarm ist nicht rein. Partikelquellen bei Fertigungsabläufen im Reinraum Geißinger, J.; Kahlden, T. von; Klumpp, B. | Journal Article |
1989 | Trennung von Mensch und Produkt. Einsatz von Handhabungssystemen im Reinraum Geißinger, J.; Schraft, R.D. | Journal Article |
1989 | Trennung von Mensch und Produkt. Einsatz von Handhabungssystemen im Reinraum Geißinger, J.; Schraft, R.D. | Journal Article |
1989 | Untersuchungen auf Reinraumtauglichkeit. Prüfzentrum für Halbleiterfertigungsgeräte Herz, R.; Kahlden, T. von; Schmutz, W. | Journal Article |
1989 | Vorgehensweise zur Kontaminationsminimierung bei Fertigungsgeräten Warnecke, H.-J.; Kahlden, T. von | Conference Paper |
1988 | Halbleiterfertigungstechnik auf der Semicon Europe 1988 Fruehauf, W. | Journal Article |
1988 | Partikelfrei handeln - Handhabungssysteme in reinen Räumen Seitz, D.; Geissinger, J. | Journal Article |
1988 | Stroemungsausbildung an Fertigungsgeraeten fuer den Reinraum-Einsatz. Tl.2 Warnecke, H.-J.; Degenhart, E.; Geissinger, J.; Kahlden, T. von | Journal Article |
1986 | Anforderungen an den Reinraum aus der Sicht der Halbleitertechnologie Ryssel, H.; Pfitzner, L. | Conference Paper |
1986 | Roboter im Reinraum Warnecke, H.-J.; Geissinger, J. | Journal Article |