Fraunhofer-Gesellschaft

Publica

Hier finden Sie wissenschaftliche Publikationen aus den Fraunhofer-Instituten.
2007Herstellung von Präzisionsschichten mittels lonenstrahlsputtern
Gawlitza, P.; Braun, S.; Leson, A.; Lipfert, S.; Nestler, M.
Journal Article
2006Feinstreinigung - nur sauber oder wirklich rein
Vohrer, U.; Kaiser, M.; Lommatzsch, U.
Journal Article
1999Der sichere Weg zur Qualitätsverbesserung
Schließer, J.; Werner, D.; Ernst, C.; Gaugel, T.; Güth, A.
Journal Article
1989Staubarm ist nicht rein. Partikelquellen bei Fertigungsabläufen im Reinraum
Geißinger, J.; Kahlden, T. von; Klumpp, B.
Journal Article