Fraunhofer-Gesellschaft

Publica

Hier finden Sie wissenschaftliche Publikationen aus den Fraunhofer-Instituten.
1991Beispiele aus der angewandten Materialforschung - Problemlösungen durch Mikrofokus-Röntgentechnik
Echterhoff, U.
Conference Paper
1990Röntgenmikroskopie - ein neues Fenster in den Mikrokosmos
Schmahl, G.; Rudolph, D.; Niemann, B.; Neff, W.
Journal Article
1984E-beam metrology of chromium master masks and masks for x-ray lithography
Betz, H.; Heuberger, A.; Bruenger, W.H.; Mueller, K.P.
Journal Article
1984Soft-x-ray generation in a helium environment using laser-produced plasmas
Petzold, H.-C.; Kuehne, M.
Journal Article
1984Technologie fuer immer kleinere Strukturen
Heuberger, A.
Journal Article
1984X-ray investigations of boron- and germanium doped silicon epitaxial layers
Herzog, H.-J.; Csepregi, L.; Seidel, H.
Journal Article
1983Application of novolack resist systems in x-ray mask fabrication
Pongratz, S.; Betz, H.; Heuberger, A.
Conference Paper
1983Biologische Dosimetrie niedriger LET-Strahlung am Modell der Spermatogenese
Otto, F.J.; Hacker-Klom, U.B.; Goehde, W.; Schumann, J.P.; Langer, E.-M.
Journal Article
1983Cellular radiation effects and hyperthermia. Cell cycle kinetics of radiation sensitive mutants of saccharomyces cerevisiae after X-irradiation and hyperthermia
Fingerhut, R.; Kiefer, J.; Otto, F.
Journal Article
1983Heating and temperatur induced distortions of silicon X-ray masks
Heinrich, H.; Betz, H.; Heuberger, A.
Conference Paper
1983Properties of crosslinked positiv-acting X-ray, resists, fabricated on the basis of poly
Asmussen, F.; Betz, H.; Chen, B.T.; Heuberger, A.; Pongratz, S.; Sotobayashi, H.; Schnabel, W.
Journal Article
1983The relationship of cell-cycle phase progression delay to cell inactivation after x-ray and neutron irradiation.
Otto, F.; Goehde, W.; Schumann, J.; Schnepper, E.
Book Article
1982Degradation of polymethylmethacrylate by synchrotron radiation.
Sotobayashi, H.; Asmussen, F.; Thimm, K.; Schnabel, W.; Betz, H.; Einfeld, D.
Journal Article
1982Production of separation nozzle systems for Uranium enrichment by a combination of X-ray lithographie and galvanoplastics
Becker, E.W.; Betz, H.; Ehrfeld, W.; Glashauser, W.; Heuberger, A.; Michel, H.J.; Muenchmeyer, D.; Pongratz, S.; Siemens, R.v.
Journal Article
1982Untersuchung mit Synchrotronstrahlung-Mikrolithographie fuer hochintegrierte Halbleiterbauelemente
Heuberger, A.
Journal Article
1981Computer simulations of resit profiles in X-ray-lithographie.
Heinrich, K.; Betz, H.; Heuberger, A.; Pongratz, S.
Journal Article
1981Distortion measurements on pure-silicon and siliconplastic X-ray masks
Triantafyllou, M.; Betz, H.; Heuberger, A.; Tischer, P.
Conference Paper
1981Present status and problems of X-ray lithography.
Betz, H.; Heuberger, A.
Conference Paper
1981Wege zu hoeherer Integrationsdichte. Tl.1. Roentgenstrahlen fuer Hoechstintegration. Tl.2
Heuberger, A.; Betz, H.
Journal Article
1977Röntgen-Durchstrahlungsprüfung von Apparaten ohne Betriebsunterbrechung. Testen durch Röntgenblick
Echterhoff, U.
Journal Article