Publica
Hier finden Sie wissenschaftliche Publikationen aus den Fraunhofer-Instituten. | | |
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| 2007 | Development of functional ceramic films for nano- and microsystems
Schönecker, A.; Gebhardt, S.; Schlenkrich, F.; Endler, I.; Meissner, F.; Michaelis, A.; Mayer-Uhma, T.; Uhlig, S. | Conference Paper |
| 1994 | CMOS-kompatible Herstellung von 3-dimensionalen Spulen mit ferromagnetischem Kern auf einem Siliziumwafer
Haase, T.; Sauer, B.; Gottfried-Gottfried, R.; Kück, H. | Conference Paper |
| 1993 | Mehrlagenmetallisierung für hochintegrierte mikroelektronische Schaltungen
Vogt, H. | Habilitation |