Fraunhofer-Gesellschaft

Publica

Hier finden Sie wissenschaftliche Publikationen aus den Fraunhofer-Instituten.
2007Development of functional ceramic films for nano- and microsystems
Schönecker, A.; Gebhardt, S.; Schlenkrich, F.; Endler, I.; Meissner, F.; Michaelis, A.; Mayer-Uhma, T.; Uhlig, S.
Conference Paper
1994CMOS-kompatible Herstellung von 3-dimensionalen Spulen mit ferromagnetischem Kern auf einem Siliziumwafer
Haase, T.; Sauer, B.; Gottfried-Gottfried, R.; Kück, H.
Conference Paper
1993Mehrlagenmetallisierung für hochintegrierte mikroelektronische Schaltungen
Vogt, H.
Habilitation