Fraunhofer-Gesellschaft

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Hier finden Sie wissenschaftliche Publikationen aus den Fraunhofer-Instituten.
2007Flux of positive ions and film growth in reactive sputtering of Al-doped ZnO thin films
Ruske, F.; Sittinger, V.; Werner, W.; Szyszka, B.; Wiese, R.
Conference Paper, Journal Article
2007High rate deposition of magnetic material by gas flow sputtering
Bandorf, R.; Bloche, A.; Ortner, K.; Lüthje, H.; Jung, T.
Conference Paper, Journal Article
2006Grundlegende Ansätze zur Modellierung und Simulation von Beschichtungsprozessen am Beispiel von PVD-Kupfer
Gottwald, B.
Dissertation
2005Residual stresses modelled by MD simulation applied to PVD DC sputter deposition
Klein, P.; Gottwald, B.; Frauenheim, T.; Köhler, C.; Gemmler, A.
Journal Article
2005Simulation vakuumbasierter Beschichtungsprozesse
Gottwald, B.; Klein, P.; Westkämper, E.; Gemmler, A.
Journal Article
2003Integration der Schichttechnik in Fertigungsabläufe
Möbius, A.; Holeczek, H.; Gottwald, B.; Sommadossi, S.-A.
Conference Paper
2002Ein Beitrag zu kalibrierten Nanometerschichten für unterschiedliche Anwendungsbereiche
Hasche, K.; Herrmann, K.; Thomsen-Schmidt, P.; Krumrey, M.; Ulm, G.; Ade, G.; Pohlenz, F.; Stümpel, J.; Busch, I.; Schädlich, S.; Frank, W.; Hirsch, D.; Schindler, A.; Procop, M.; Beck, U.
Conference Paper
2002Superharte Kohlenstoffschichten durch Nanometer-Schichtdesign
Schultrich, B.
Conference Paper
2002Superharte Schichten
Stucky, T.
Journal Article
1995Haftungsaspekte bei kombinierten Beschichtungsverfahren
Mann, D.
Conference Paper
1994Entwicklung und Optimierung von Prozeßkomponenten zur ionenunterstützten Abscheidung bei PVD-Verfahren
Olbrich, W.
Dissertation
1994Untersuchungen zur Bestimmung des Auftragswirkungsgrades beim Versprühen von Flüssiglacken und Pulvermaterialien
Svejda, P.
Conference Paper