Fraunhofer-Gesellschaft

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Hier finden Sie wissenschaftliche Publikationen aus den Fraunhofer-Instituten.
2019EMC Shielding on Plastic Components by Electron Beam Evaporation
Heinß, Jens-Peter; Fietzke, Fred
Conference Paper
2019High-Rate Deposition of High-Pure Silicon Thin Films for PV-Absorber Layers by Crucible-free Electron Beam Physical Vapor Deposition
Saager, Stefan; Scheffel, Bert; Heinß, Jens-Peter
Conference Paper
2018Entwicklung einer neuartigen Plasmafiltertechnik für die Abscheidung defektarmer superharter Kohlenstoffschichten
Englberger, Gregor
: Beyer, Eckhard (Gutachter); Leyens, Christoph (Gutachter)
Dissertation
2018Erweiterung der Grenzen der Hartstoffbeschichtung durch Nanostrukturierung
Kaulfuß, Frank
: Leyens, Christoph (Gutachter); Beyer, Eckhard (Gutachter)
Dissertation
2018Microstructural investigations of polycrystalline Ti2AlN prepared by physical vapor deposition of Ti-AlN multilayers
Gröner, Lukas; Kirste, Lutz; Oeser, Sabine; Fromm, Alexander; Wirth, Marco; Meyer, Frank; Burmeister, Frank; Eberl, Chris
Journal Article
2018Modern coating and annealing technologies for advanced multifunctional layer stacks
Preußner, Thomas; Junghähnel, Manuela; Westphalen, Jasper; Täschner, Kerstin
Conference Paper
2017Entwicklung von Werkzeugbeschichtungen für die Hochtemperatur-Titanumformung
Abraham, T.; Weber, M.; Keunecke, M.; Stein, C.; Weirauch, R.; Grahs, M.; Bräuer, G.
Journal Article
2017Thin-Film Deposition on Flexible Glass by Plasma Processes
Junghähnel, Manuela; Fahlteich, John
Book Article
2017Tool optimization for dry forming applications - optimized surface preparation of ta-C
Roch, Teja; Stepien, Lukas; Kunze, Tim; Mousavi, Ali; Topalski, Slavcho; Lasagni, Andrés-Fabián; Brosius, Alexander
Journal Article
2016Adhesion quality of evaporated aluminum layers on passivation layers for rear metallization of silicon solar cells
Kumm, J.; Hartmann, P.; Eberlein, D.; Wolf, A.
Journal Article
2016Coatings with a High Surface Roughness Prepared by a Co-sputtering Method Using Dual Rotatable Magnetrons
Preußner, Thomas; Junghähnel, Manuela; Hartung, Ullrich; Kopte, Torsten
Conference Paper
2016Correlation of PVD deposition parameters with electrical and mechanical properties of coated thin-glass compounds
Lorenz, G.; Naumann, F.; Westphalen, J.; Weller, S.; Junghähnel, M.
Conference Paper
2016Entwicklung eines Modellversuchs zur Nachbildung des Verschleißverhaltens für einen Hartstoff-Stahl-Verbund unter hohen Beanspruchungen
Koch, Florian; Kaulfuß, Frank; Zimmer, Otmar; Kaspar, Joerg; Kirchhoff, Gunter; Zimmermann, Martina
Conference Paper
2016Granulation of extruded plastic wires: Influence of tool coating properties and tool geometry on cutting forces and tool wear
Cardone, Macario; Putz, Matthias; Schmidt, Gerhard; Dix, Martin; Friedrich, Jürgen; Stockmann, Erich
Conference Paper
2016The road from S2S to R2R - status, risks and visions for processing ultra-thin glass
Junghähnel, Manuela
Conference Paper
2016Roll to roll deposition of silicon nitride permeation barrier coatings using rotatable magnetrons
Fahland, M.; Fahlteich, J.; Himmler, A.; Vogt, T.; Zywitzki, O.; Linss, V.
Conference Paper
2015Investigation of the corrosion behavior of NiVAl multilayer coatings in hot salt melts
Gurr, M.; Bau, S.; Burmeister, F.; Wirth, M.; Piedra-Gonzalez, E.; Krebser, K.; Preussner, J.; Pfeiffer, W.
Journal Article
2014Large Area Sputtering of Dielectric and Infrared Blocking Layer Stacks on Flexible Glass
Junghähnel, Manuela; Garner, Sean; Preußner, Thomas; Günther, Steffen; Cimo, P.
Conference Paper
2014Temperaturstabile Hartstoffschichten zur Standzeitverlängerung von Schmiedewerkzeugen
Kaulfuß, Frank; Zimmer, Otmar
Book Article
2013Investigation of methods for adhesion characterization of evaporated aluminum layers
Kumm, J.; Eberlein, D.; Hartmann, P.; Wolke, W.; Wolf, A.; Preu, R.
Conference Paper
2012The potential of plasma deposition techniques in the application field of forging processes
Yilkiran, T.; Behrens, B.-A.; Paschke, H.; Weber, M.; Brand, H.
Journal Article
2012Untersuchung zu den Verschleißeigenschaften nitrierter und beschichteter Werkzeuge für die Warmmassivumformung
Behrens, B.-A.; Yilkiran, T.; Paschke, H.; Weber, M.; Dültgen, P.; Brand, H.
Journal Article
2011Cubic boron nitride based coating systems with different interlayers for cutting inserts
Stein, C.; Keunecke, M.; Bewilogua, K.; Chudoba, T.; Kölker, W.; Berg, H. van den
Journal Article
2010Cold cathode electron beam sources for high-rate PVD
Mattausch, G.; Feinäugle, P.; Rögner, F.-H.
Conference Paper
2010Process model identification for a plasma enhanced electron beam PVD process
Unkelbach, T.; Fochtmann, T.; Kubin, H.; Metzner, C.
Conference Paper
2009Iridium coatings with titanium sub-layer deposited by RF magnetron sputtering
Hagen, J.; Burmeister, F.; Fromm, A.; Manns, P.; Kleer, G.
Journal Article, Conference Paper
2009Magnetically enhanced hollow cathode - a new plasma source for high-rate deposition processes
Fietzke, F.; Morgner, H.; Günther, S.
Journal Article, Conference Paper
2009NanoSkin: Beständige Nanostrukturen im Visier
Burmeister, F.; Hagen, J.
Journal Article
2007Hochfesten Stahl schneiden - die Schicht entscheidet
Kräusel, V.; Weigel, P.
Journal Article
2007Oberflächentechnologien
Notthoff, C.
Journal Article
2006Einfluss der Maschinenkinematik auf die Schnittqualität von Bauteilen aus hochfesten Blechwerkstoffen
Weigel, P.
Thesis
2005Auslegung dünner Hartstoffschichten für Zerspanwerkzeuge
Klein, K.
: Uhlmann, E. (Prüfer)
Dissertation
2005Entwicklung, Einsatz und Reinigung von hartstoffbeschichteten Aluminium-Strangpresswerkzeugen
Seebach, I.
Dissertation
2005Innovative Katalysatoren zur oxidativen Dehydrierung in der Gasphase - Beschichtete Eisenhohlkugeln
Brüning, R.; Scholz, P.; Morgenthal, I.; Waag, U.; Weißbach, A.; Hollstein, F.; Ondruschka, B.
Journal Article
2002Magnetische und elektrische Steuerung der Vakuumbogenbeschichtung
Zimmer, O.
Dissertation
2002Quality control of ultra-thin and super-hard coatings by laser-acoustics
Schneider, D.; Siemroth, P.; Schülke, T.; Berthold, J.; Schultrich, B.; Schneider, H.-H.; Ohr, R.; Petereit, B.; Hillgers, H.
Journal Article
2002Young's modulus of (Ti,Si )N films by surface acoustic waves and indentation techniques
Vaz, F.; Carvalho, S.; Rebouta, L.; Silva, M.Z.; Paul, A.; Schneider, D.
Journal Article
2001Calculation and measurement of the time dependent erosion rate of electromagnetic steered rectangular arc cathodes
Zimmer, O.; Vetter, J.; Rackwitz, N.; Siemroth, P.
Journal Article
2001Calibrated reference standards for films in the nanometer range
Hasche, K.; Herrmann, K.; Krumrey, M.; Ulm, G.; Schädlich, S.; Frank, W.; Procop, M.
Conference Paper
2001Dekorative PVD-Beschichtung von Kunststoffen
Schultrich, B.
Book Article
2001Superharter Kohlenstoff abgeschieden mit gepulstem Hochstrombogen als Nanoschutzschicht für Magnetspeicherplatten
Neuhäuser, M.; Hilgers, H.; Witke, T.; Siemroth, P.
Journal Article
2000Abformung von Mikrostrukturen in Glas
Thiel, S.; Lehnicke, S.; Zimmer, O.; Piltz, S.
Journal Article
2000Aktivierte Beschichtung von Kunststoffen: Vorteile und Probleme
Schultrich, B.
Conference Paper
2000Comparison of filtered high-current pulsed arc deposition (phi-HCA) with conventional vacuum arc methods
Witke, T.; Schülke, T.; Schultrich, B.; Siemroth, P.; Vetter, J.
Journal Article
2000Copper metallization in microelectronics using filtered vacuum arc deposition. Principles and technological development
Siemroth, P.; Schülke, T.
Journal Article
2000Improving tribological properties of sputtered boron carbide coatings by process modifications
Eckardt, T.; Bewilogua, K.; Kolk, G.J. van der; Hurkmans, T.; Trinh, T.; Fleischer, W.
Journal Article
2000Model of PVD sputter deposition for a process simulation by FEM
Westkämper, E.; Gottwald, B.
Conference Paper
2000Nanostructured carbon films
Schultrich, B.; Scheibe, H.J.; Mai, H.
Journal Article
1999Comparison of DC and AC arc thin film deposition techniques
Schülke, T.; Witke, T.; Scheibe, H.J.; Siemroth, P.; Schultrich, B.; Zimmer, O.; Vetter, J.
Journal Article
1999Deposition of droplet-free by vacuum arc evaporation - results and applications
Witke, T.; Siemroth, P.
Journal Article
1999Deposition of hard amorphous carbon coatings by laser and arc methods
Witke, T.; Schülke, T.; Berthold, J.; Meyer, C.F.; Schultrich, B.
Journal Article
1999Film deposition by laser and arc technologies
Schultrich, B.
Journal Article
1999Simulation des Vakuumbogens in industriellen Beschichtungsanlagen als Wechselspiel von nichtlinear-determinierten und von stochastischen Prozessen
Rackwitz, N.; Siemroth, P.; Riedrich, T.; Schultrich, B.
Conference Paper
1999Simulation of the cathode spot dynamics in vacuum arc discharges
Rackwitz, N.
Journal Article
1999UV-optical and microstructural properties of MgF2-coatings deposited by IBS and PVD Processes
Ristau, D.; Arens, W.; Bosch, S.; Duparre, A.
Conference Paper
1999Velocity distribution of carbon macroparticles generated by pulsed vacuum arcs
Schülke, T.; Anders, A.
Journal Article
1998Copper metallization of submicron trenches with pulsed vacuum arc
Siemroth, P.; Wenzel, C.; Witke, T.; Schultrich, B.
Conference Paper
1998Deposition of superhard amorphous carbon films by pulsed vacuum arc deposition
Schultrich, B.; Scheibe, H.J.; Drescher, D.; Ziegele, H.
Journal Article
1998High current metal-ion source for activated deposition
Witke, T.; Siemroth, P.; Schultrich, B.; Zimmer, O.
Conference Paper
1997Beschichtungen zur Verminderung der Umweltbelastung bei Umformprozessen. Teilvorhaben: Entwicklung und Charakterisierung geeigneter Schichtsysteme
Taube, K.
Report
1997EMV-Umweltschutz: Metallisieren verschiedener Kunststoffe
Markschläger, P.; Mann, D.; Leyendecker, F.
Journal Article
1997Plasma state in pulsed arc, laser and electron deposition
Witke, T.; Ziegele, H.
Journal Article
1997Puls Plasma
Schiller, S.; Kirchhoff, V.; Goedicke, K.; Schiller, N.
Book Article
1997PVD-Anlage im Baukastenprinzip
Lux, T.
Journal Article
1997Studies of the tribological and mechanical properties of laminated CrC-SiC coatings produced by r.f. and d.c. sputtering
Ziegele, H.; Rebholz, C.; Voevodin, A.A.; Leyland, A.; Rohde, S.L.; Matthews, A.
Journal Article
1996Dynamics of vacuum arc cathode spots at point cathode
Jüttner, B.; Djakov, B.; Siemroth, P.
Conference Paper
1996Haftungsaspekte bei kombinierten Beschichtungsverfahren
Mann, D.; Leyendecker, F.
Conference Paper
1996Investigation of cathode spots and plasma formation of vacuum arcs by
Siemroth, P.; Schülke, T.; Witke, T.; Rackwitz, N.
Conference Paper
1996The laser-arc: a new industrial technology for effective deposition of hard amorphous carbon films
Scheibe, H.J.; Drescher, D.; Schultrich, B.; Falz, M.; Leonhardt, G.; Wilberg, R.
Journal Article
1996Macroparticle filtering of high-current vacuum arc plasmas
Schülke, T.; Anders, A.; Siemroth, P.
Conference Paper
1996Predicting Ion Charge State Distributions of Vacuum Arc Plasmas
Anders, A.; Schülke, T.
Conference Paper
1996Preparation and characterization of cubic boron nitride and carbon nitride films
Bewilogua, K.
Conference Paper
1996Preparation and characterization of cubic boron nitride and carbon nitride films
Bewilogua, K.
Conference Paper
1996Vacuum arc cathode spots as a self-similarity phenomenon
Schülke, T.; Siemroth, P.
Journal Article
1995Entwicklung von keramischen Multilayerschichten für Werkzeuge zum Heißformen optischer Gläser
Kaiser, E.; Kleer, G.; Manns, P.; Döll, W.
Book
1995Glas im Kontakt mit Formwerkstoffen für die Hohlglasproduktion
Manns, P.; Döll, W.; Kleer, G.
Conference Paper
1995Glass in contact with mould materials for container production
Manns, P.; Döll, W.; Kleer, G.
Journal Article
1995Verschleißschutz für Fräswerkzeuge durch Ionenimplantation
Klocke, F.; Zamel, S.
Journal Article
1994Eigenspannungen in der Dünnschichttechnik
Schultrich, B.
Journal Article
1994Enhanced functionality of stereolithografy parts by metal deposition techniques
Leyendecker, F.; Mann, D.; Geiger, M.
Conference Paper
1993Additional ion bombardment in PVD processes generated by a superimposed pulse bias voltage
Olbrich, W.; Kampschulte, G.
Conference Paper
1993Haftungsaspekte bei kombinierten Beschichtungsverfahren. Tl.2
Mann, D.
Conference Paper
1993Metallhaltige Germaniumschichten als Hochohmwiderstandsmaterial
Dimigen, H.; Hübsch, H.; Taube, K.; Thyen, R.
Journal Article
1990Highly porous and electrically insulating films deposited by reactive physical vapor deposition
Lang, W.
Journal Article