Fraunhofer-Gesellschaft

Publica

Hier finden Sie wissenschaftliche Publikationen aus den Fraunhofer-Instituten.
2014Präzise Fehlerdetektion mittels Deflektometrie. Beschichtungsfehlern mittels Spiegelung auf die Spur kommen
Heizmann, Michael; Werling, Stefan
Journal Article
2009Trockenätzen von Solarwafern mit Oberflächenstrukturen im sub-Mikrometer Bereich
Dani, I.; Lopez, E.; Linaschke, D.; Kaskel, S.; Beyer, E.
Conference Paper
2008Micro structure surface functionalisation for tissue engineering applications - A systematic integrated approach towards high volume production
Brecher, C.; Wenzel, C.; Klar, R.; Pretzsch, F.
Conference Paper
2006Plasma enhanced chemical etching at atmospheric pressure for silicon wafer processing
Lopez, E.; Dani, I.; Hopfe, V.; Wanka, H.; Heintze, M.; Möller, R.; Hauser, A.
Conference Paper