Fraunhofer-Gesellschaft

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Hier finden Sie wissenschaftliche Publikationen aus den Fraunhofer-Instituten.
2017Innovative Verbindungstechnologie auf der Basis reaktiver nanoskalarer Multischichten
Dietrich, Georg; Schumacher, Axel; Freitag, Jan
Presentation
2017Reaktive Nanoschichten - ein innovatives Fügekonzept für die AVT auf Bauteil- und Waferlevel
Dietrich, Georg; Schumacher, Axel; Freitag, Jan
Conference Paper
2016Technischer Aufbau epiretinaler Netzhautimplantate
Mokwa, Wilfried; Görtz, Michael
Journal Article
2015Mikrosystem zur Brandgasdetektion nach dem Farbumschlagsprinzip
Pannek, Carolin
: Wöllenstein, Jürgen (Erstgutachter); Urban, Gerald (Zweitgutachter)
Dissertation
2014Generative Fertigung mit Tröpfchendosierer
Verl, Alexander; Schwarz, Oliver; Nagel, Marcel
Journal Article
2014Microsystem technology as a basis for integrated manufacturing
Schlenker, Dirk
Book Article
2013Galvanik in der Mikrosystemtechnik
Vogt, Holger; Heiermann, Wolfgang; Heß, Jennifer
Journal Article
2013mikroMontage
: Schlenker, Dirk (Tagungsleitung)
Conference Proceedings
2013PRONTO VolProd - Modulare Produktionstechnik für die wirtschaftliche Serienfertigung
Schlenker, Dirk
Conference Paper
2012mikroMontage
: Schlenker, Dirk (Tagungsleitung)
Conference Proceedings
2012Modulare Produktionstechnik für die wirtschaftliche Serienfertigung mikrotechnischer Produkte
Schlenker, Dirk
Conference Paper
2012Untersuchung relevanter Parameter eines Lichtbogenverfahrens für die Massenherstellung einwandiger Kohlenstoffnanoröhren
Roch, Aljoscha
Dissertation
2012Urban Retail Logistics - Handels- und Versorgungslogistik in urbanen Regionen
Lange, Volker; Kaleck, Peter
Presentation
2011Anlagen- und Prozessentwicklung für das Niedrigtemperatur-Direktbonden mittels Atmosphärendruck-Plasmaaktivierung
Eichler, M.
Dissertation
2011Bestimmung der Messunsicherheit im Mikrometer-Bereich - Strategien, Modelle und Einflussfaktoren
Tan, Özgür; Krah, Thomas; Neuschaefer-Rube, Ulrich; Ehrig, Wiebke; Herffurth, Tobias; Schröder, Sven; Lyda, Wolfram; Eigenbrod, Hartmut; Hoffmann, R.; Weißensee, Karina; Apel, Sebastian; Pedrini, Giancarlo; Gaspar, J.; Schrader, Christian; Zschiegner, N.
Book Article
2011Determination of adhesive forces and sticking temperature of coated glasses for the hot-embossing-process
Worsch, C.; Edelmann, J.; Rüssel, C.; Schubert, A.
Journal Article
2011Entwicklung einer osseointegrierten biphasischen Mittelohrprothese zur Optimierung der Rehabilitation hörbehinderter Patienten (MOP)
Meichsner, Gunnar; Burkhardt, Thomas
Report
2011Neue multiskalige Mess-, Steuer- und Prüfstrategien für die Prüfung von Mikro- und Nanosystemen in der Produktion
Lyda, Wolfram; Burla, Avinash; Haist, Tobias; Osten, Wolfgang; Zimmermann, Jan; Sawodny, Oliver; Eigenbrod, Hartmut; Westkämper, Engelbert
Book Article
2010Anwenderorientierte Technikentwicklung im Pflege-Bereich: Instrumente für den Wissenstransfer zur partizipativen Gestaltung von Mikrosystemtechnik
Compagna, Diego; Derpmann, Stefan; Graf, Birgit; Hartmann, Christiane; Jacobs, Theo; Klein, Peter; Luz, Jochen; Mauz, Kathrin; Shire, Karen
Conference Paper
2010Embossing of double-sided micro lens arrays in optical glass
Schubert, A.; Edelmann, J.; Burkhardt, T.
Conference Paper
2010Entwicklung und Aufbau einer Monitorstruktur für Lotkontakte bei kombinierter Belastung
Eckert, T.
Dissertation
2010Micro structuring of inorganic glass by hot embossing of coated glass wafers
Edelmann, J.; Worsch, C.; Schubert, A.; Rüssel, C.
Journal Article
2009Doppelseitiges Heißprägen von Mikrolinsenarrays
Neugebauer, Reimund; Edelmann, J.
Book Article
2009Fully implantable blood pressure system: Implantation experiences
Urban, U.; Fassbender, H.; Fürst, P.; Göttsche, T.; Bender, B.; Becker, R.; Mokwa, W.; Trieu, H.-K.; Osypka, P.; Glocker, R.; Steinseifer, U.; Schmitz-Rode, T.
Conference Paper
2009Heissgeprägte Glaswafer für Mikrosystemtechnikanwendungen
Schubert, A.; Edelmann, J.; Burkhardt, T.
Conference Paper
2009HYPER-IMS: A fully implantable blood pressure sensor for hypertensive patients
Gräfe, M.; Göttsche, T.; Osypka, P.; Görtz, M.; Trieu, H.-K.; Fassbender, H.; Mokwa, W.; Urban, U.; Schmitz-Rode, T.; Bender, B.; Glocker, R.; Fähnle, M.
Conference Paper
2009Isothermes Heißprägen von beschichteten Glaswafern
Worsch, C.; Rüssel, C.; Edelmann, J.; Schubert, A.
Journal Article
2009Mikrostrukturierung von Glas durch Heißprägen von beschichteten Glaswafern
Edelmann, J.; Worsch, C.
Report
2009Mikrostrukturierung von Glas durch Heißprägen von beschichteten Glaswafern
Neugebauer, Reimund; Rüssel, C.; Edelmann, J.
Book Article
2009Mikrosystemtechnik
Weimert, B.
Journal Article
2009New coating strategy for hot embossing of glass
Schubert, A.; Edelmann, J.
Conference Paper
2009Prozessgeregeltes Mikrodosieren hochviskoser Klebstoffe
Wiedenhöfer, Markus
Dissertation
2009Werkstofftrends: Werkstoffe der Mikrosystemtechnik
Weimert, B.; Reschke, S.; Kohlhoff, J.; Grüne, M.
Journal Article
2008Active optical structures by use of PZT thick films
Gebhardt, S.; Schönecker, A.; Bruchmann, C.; Beckert, E.; Rodrigues, C.; Bastaits, R.; Preumont, A.
Conference Paper
2008Beschichtungsstrategie für die Heißformgebung von Glas
Edelmann, J.; Schubert, A.; Rüssel, C.; Worsch, C.
Journal Article
2008CHF-Monitoring - Bewertung von zwei alternativen Implantatkonzepten
Urban, U.; Fassbender, H.; Görtz, M.; Trieu, H.-K.; Steinseifer, U.; Schmitz-Rode, T.; Schnakenberg, U.
Conference Paper
2008Flexibel automatisierte Montage von Festkörperlasern
Schmitt, R.; Pavim, A.; Brecher, C.; Pyschny, N.; Loosen, P.; Funck, M.; Dolkemeyer, J.; Morasch, V.
Journal Article
2008Fließpressen von Mikrostrukturen
Schubert, A.; Pohl, R.
Journal Article
2008Fluidische Mikroreaktionssysteme - Fertigungstechnik für Prototypen und Serien aus Kunststoffen und Gläsern
Edelmann, J.; Eckert, U.; Burkhardt, T.
Conference Paper
2008Il microcosmo di un battito di palpebra
Klein, M.; Oberschmidt, D.
Journal Article
2008Isothermes Heißprägen von beschichtetem Glas
Edelmann, J.; Worsch, C.; Rüssel, C.; Schubert, A.
Conference Paper
2008Machining of micro rotational parts by wire electrical discharge grinding
Uhlmann, E.; Piltz, S.; Oberschmidt, D.
Journal Article
2008Method for the compensation of process-immanent form deviation in hot embossing of glass
Schubert, A.; Edelmann, J.
Conference Paper
2008Der Mikrokosmos eines Lidschlags
Klein, M.; Oberschmidt, D.
Journal Article
2008Der Mikrokosmos eines Lidschlags
Klein, M.; Oberschmidt, D.
Journal Article
2008Mikrostrukturierung von Glas durch Heißprägen von beschichteten Glaswafern
Neugebauer, Reimund; Edelmann, J.; Rüssel, C.
Book Article
2008Neues Verfahren zur Montage von Mikro-Komponenten
Sandmaier, Hermann; Sägebarth, Joachim; Boufercha, Nourdin; Schäfer, Wolfgang; Othman, Nabih; Schlenker, Dirk; Burgard, Matthias
Journal Article
2008Schichtstabilität und Duktilität bei der Mikrostrukturierung technischer Gläser im Heißformgebungsprozess
Fritzsch, M.
Dissertation
2008Strain sensitive films with spray-coated carbon nanotubes
Ghahremanpour, M.; Sägebarth, J.; Weis, D.G.; Kolaric, I.; Sandmaier, H.
Conference Paper
2008Trends in der Mikrosystemtechnik
Hampicke, M.; Reichl, H.; Lang, K.-D.; Schmitz, S.; Pötter, H.
Journal Article
2008Untersuchungen zu CNT-Epoxidharz-Kompositen für die Anwendung als Klebstoff in der Aufbau- und Verbindungstechnik
Heimann, M.; Böhme, B.; Wirts-Rütters, M.
Journal Article
2008Widely tunable micro-mechanical external-cavity diode laser emitting around 2.1 µm
Geerlings, E.; Rattunde, M.; Schmitz, J.; Kaufel, G.; Wagner, J.; Bläsi, B.; Kallweit, D.; Zappe, H.
Journal Article
2007Development of functional ceramic films for nano- and microsystems
Schönecker, A.; Gebhardt, S.; Schlenkrich, F.; Endler, I.; Meissner, F.; Michaelis, A.; Mayer-Uhma, T.; Uhlig, S.
Conference Paper
2007Die Digitale Fabrik - ein Produkt für Produkte
Westkämper, Engelbert
Journal Article
2007High temperature and element alloying influences on Kirkendall voiding in Au ball bond interconnects on Al chip metallization
Schneider-Ramelow, M.; Schuch, B.; Lang, K.-D.; Reichl, H.
Conference Paper
2007Inkjettable conductive adhesive for use in microelectronics and microsystems technology
Kolbe, J.; Arp, A.; Calderone, F.; Meyer, E.M.; Meyer, W.; Schäfer, H.; Stuve, M.
Journal Article
2007Mikro-Montage - Werkstücklagen einfach bestimmen
Westkämper, Engelbert; Wiedenhöfer, Markus; Koncalovic, Kristijan; Schlenker, Dirk
Journal Article
2007Mikrodispensen schafft starke Verbindungen
Schlenker, Dirk; Othman, Nabih
Journal Article
2007Multiskalige Messstrategien für Mikrosysteme
Regin, Johan; Westkämper, Engelbert; Wiesendanger, Tobias; Zimmermann, Jan
Conference Paper
2007A new concept for LTCC-based pressure sensors
Partsch, U.; Arndt, D.; Georgi, H.
Conference Paper
2007Präzise und reproduzierbar bei kürzester Dosierzeit
Othman, Nabih
Journal Article
2007Von der Makro- zur Mikrowelt
Klocke, F.; Bergs, T.; Veselovac, D.; Arntz, K.; Quito, F.J.; Kratz, S.
Journal Article
2007Werkstoffe für den Einsatz in reinen Bereichen
Westkämper, Engelbert; Smolinski, Dirk; Kreck, Guido; Gommel, Udo
Journal Article
2006Alignment techniques for the high precision assembly of hybrid microsystems
Brecher, C.; Freundt, M.; Lange, S.; Weinzierl, M.
Conference Paper
2006Arbeitspunkt-Beobachter für einen Zeit-Druck-Dosierprozess
Westkämper, E.; Wiedenhöfer, M.
Journal Article
2006Creating a European Micro- and NanoManufacturing Industry
Pedersen, Hans-Hartmann; Dorner, Johann; Schäfer, Wolfgang; Ratchev, Svetan; Hitendra, Hirani; Dickerhof, Markus; Almansa, Ana; Wögerer, Christian; Rempp, Helmut
Conference Paper
2006Development of passive alignment techniques for the assembly of hybrid microsystems
Brecher, C.; Weinzierl, M.; Lange, S.C.
Conference Paper
2006Großflächige Mikrostrukturierung
Brecher, C.; Schmitt, R.; Lange, S.C.; Koerfer, F.; Niehaus, F.; Widemann, R.
Journal Article
2006Microtribological behaviour of thin DLC films using different testing methods
Bandorf, R.; Lüthje, H.; Staedler, T.
Journal Article
2006Mikrodosieren - Potentiale ausgeschöpft?
Westkämper, E.; Wiedenhöfer, M.
Journal Article
2006Mikrokleben mit wenig Stress
Gesang, T.; Zickwolf, R.
Journal Article
2006Multiskalige Messstrategien für die Mikrosystemtechnik
Regin, J.; Neher, J.; Pannekamp, J.; Westkämper, E.; Wiesendanger, T.; Osten, W.
Conference Paper
2006Das Reinheitsgebot der Mikrotechnik
Gommel, U.
Journal Article
2006Wafer-level fabrication of microring resonators using adhesive wafer bonding
Dragoi, V.; Mittendorfer, G.; Thanner, C.; Lindner, P.; Alexe, M.; Pintilie, L.; Hamacher, M.; Heidrich, H.
Conference Paper
2005Flexible master structures made of SU-8 for double-sides moulding of PDMS
Lucas, N.; Sichler, P.; Büttgenbach, S.; Penache, C.; Bartels, V.; Klages, C.-P.
Conference Paper
2005Konzepte für die Sicherung von Festigkeit und Zuverlässigkeit von Komponenten der Siliziummikromechanik
Bagdahn, J.; Petzold, M.
Conference Paper
2005Konzepte für praxisnahe Bildungsmodule in der Mikrosystemtechnik
Schischke, K.; Kerl, R.; Kalisch, C.
Conference Paper
2005Mikro- und Nanotechnik als wissenschaftliche Herausforderung
Westkämper, E.
Journal Article
2005Mikrodosieren leicht gemacht
Othman, N.
Journal Article
2005Reinraumtaugliche Werkstoffe
Gommel, U.
Journal Article
2005Requirements engineering für die Automatisierung
Reddig, K.
Conference Paper
2005Winzige Muskeln aus "Ruß"
Kolaric, I.
Journal Article
2005Zuverlässiger Auftrag von hochviskosem Leitkleber
Othman, N.; Schlenker, D.
Journal Article
2004Kleine Technik - große Wirkung: Intelligente Miniatursysteme für die Medizintechnik
Zimmer, G.; Trieu, H.-K.
Journal Article
2004Match-X Baukastensystem für den Mittelstand
Schäfer, W.
Conference Paper
2004MEMS and microsystems based on low-temperature cofired ceramics: A cost analysis
Khanna, P.K.; Hornbostel, B.; Jäger, T.; Schäfer, W.
Journal Article
2004Mikro-Brennstoffzellen
Neupert, U.
Journal Article
2004Mikrosystemtechnik für den Mittelstand
: Dorner, J.
Conference Proceedings
2004Werkzeugmaschine 2010
Schlenker, D.
Conference Paper
2004Zielgenaue Präparation von Proben für die Transmissionselektronenmikroskopie
Altmann, F.; Katzer, D.
Journal Article
2004Zur Selektivitätssteigerung von Halbleitergassensoren
Wöllenstein, Jürgen
Dissertation
2003Abformtechnologien zur Mikrostrukturierung von Glas
Schubert, A.; Burkhardt, T.
Conference Paper
2003Concepts for production of low cost microsystems using reel to reel processes
Feil, M.; Bock, K.; Endres, H.-E.; Richter, M.
Conference Paper
2003Kostengünstige Produktion von Anlagen zur Fertigung von Mikrosystemen
Wiechers, O.; Zehtaban, M.; Schließer, J.; Seidelmann, J.
Journal Article
2003Kostengünstige Produktion von Anlagen zur Fertigung von Mikrosystemen
Wiechers, O.; Zehtaban, M.; Schließer, J.; Seidelmann, J.
Journal Article
2003MICRO.tec 2003: Applications - trends - visions. Proceedings
: Büttgenbach, S.; Westkämper, E.
Conference Proceedings
2003MikroPRO. Untersuchung zum internationalen Stand der Mikroproduktionstechnik
Hesselbach, J.; Raatz, A.; Wrege, J.; Herrmann, H.; Weule, H.; Buchholz, C.; Tritschler, H.; Knoll, M.; Elsner, J.; Klocke, F.; Weck, M.; Bodenhausen, J. von; Klitzing, A. von
Journal Article
2003Mikrosystemtechnik. Schlüsseltechnologie des 21. Jahrhunderts
Schraft, R.D.; Dorner, J.
Journal Article
2003Modellbasierte Steuerungsarchitektur
Bengel, M.
Journal Article
2003Ein modulares Baukastensystem für anwendungsspezifische Mikrosysteme
Schünemann, M.
Dissertation
2003Pro-micron: Auftrag und Dienstleistung einer neuen Einrichtung
Schäfer, W.; Winkler, W.
Journal Article
2003Programmable sensor signal amplifier
Vogel, U.; Knobloch, J.; Ulbricht, S.; Landwehr, M.
Conference Paper
2003Reglerbausteine auf Basis des mikrotechnischen Baukastensystems Match-X
Steck, A.; LeNagard, M.; Muckenhirn, R.
Conference Paper
2003Self-sufficient microsystems in medical applications - from sensor to data transfer
Fischer, W.-J.
Conference Paper
2002Dreidimensionale Formgebung von planaren Mikroelektroden zur Optimierung der Signalableitung und Stimulation am peripheren Nerven
Schüttler, M.
Book
2002Laser CVD - Status und industrielles Potential für Faserbeschichtungen
Hopfe, V.
Journal Article
2002Mikrokleben in der Mikromontage
Gaugel, T.; Westkämper, E.
Journal Article
2002ProMikro 2002
: Westkämper, E.; Schraft, R.D.; Sihn, W.
Conference Proceedings
2002Prozessüberwachung industrieller CVD-Beschichtungsanlagen mittels NIR-DLS- und FTIR-Sensorik
Hopfe, V.; Sheel, D.W.; Grählert, W.; Raisbeck, D.; Rivero, J.M.; Throl, O.
Conference Paper
2002Quality control of ultra-thin and super-hard coatings by laser-acoustics
Schneider, D.; Siemroth, P.; Schülke, T.; Berthold, J.; Schultrich, B.; Schneider, H.-H.; Ohr, R.; Petereit, B.; Hillgers, H.
Journal Article
2002Thermoelectric micro devices: Current state, recent developments and future aspects for technological progress and applications
Böttner, H.
Conference Paper
2001Einfluß von Bearbeitungsparametern auf die Oberflächen- und Werkstoffeigenschaften von laserbearbeiteten Mikrobauteilen
Yeh, L.-Y.
Dissertation
2001Entwicklung eines zweistufigen integrierten Sigma-Delta-Wandlers für Anwendungen in der Mikrosystemtechnik
Thoß, S.
Thesis
2001Mechanische und tribologische Charakterisierung dünner Schichten mit Hilfe rastersondenbasierter Verfahren
Staedler, T.
Dissertation
2001Mikrostrukturierung von Glas mittels Excimerlaserstrahlung für die Mikroreaktionstechnologie
Jacquorie, M.
Dissertation
2001Die Mini-Fabrik
Neuner, M.
Journal Article
2001NIR Diode Laser Based Process Control for Industrial CVD Reactors
Hopfe, V.; Sheel, D.W.; Raisbeck, D.; Rivero, J.M.; Graehlert, W.; Throl, O.; Mol, A.M.B. van; Spee, C.I.M.A.
Conference Paper
2001NIR diode laser based process control for industrial CVD reactors
Hopfe, V.; Sheel, D.W.; Raisbeck, D.; Rivero, J.M.; Graehlert, W.; Throl, O.; Mol, A.M.B. van; Spee, C.I.M.A.
Journal Article
2001NIR laser diode and FTIR based process control for industrial CVD reactors
Hopfe, V.; Shee, D.W.; Graehlert, W.; Throl, O.
Journal Article
2001Oberflächensensoren überwachen Werkzeugschneiden
Lüthje, H.; Nordmann, K.
Journal Article
2001Wo Nano-Roboter und Miniaturmodule regieren
Neuner, M.
Journal Article
2000Beiträge zum Entwurf und Simulation von autarken Mikrosystemen
Grätz, H.
Dissertation
2000Erfahrungen mit VHDL-AMS bei der Simulation heterogener Systeme
Haase, J.; Schwarz, P.; Trappe, P.; Vermeiren, W.
Conference Paper
2000From Modular MEMS to a Modular Microfactory - the Hybrid Microfactory?
Großer, V.; Michel, B.; Schünemann, M.; Reichl, H.
Conference Paper
2000In-situ FTIR spectroscopic monitoring of a CVD controlled Si-N-O fibre growth process
Vogt, U.; Vital, A.; Graehlert, W.; Leparoux, M.; Ewing, H.; Beil, A.; Daum, R.; Hopfe, V.
Journal Article
2000Match-X bietet wirtschaftliche Vorteile
Bauer, G.
Journal Article
2000Mechatronische Produkte und Komponenten
Wittenstein, M.; Schünemann, M.
Conference Paper
2000Mikrosystemtechnik - Wann kommt der Marktdurchbruch?
Bierhals, R.; Cuhls, K.; Hüntrup, V.; Schünemann, M.; Thies, U.; Weule, H.
Book
2000Miniaturisierung und Mikrosystemtechnik
Westkämper, E.
Journal Article
2000A peep into a different world
Dilthey, U.; Brandenburg, A.; Weck, M.; Petersen, B.
Journal Article
2000Präzisionsreinigung von Mikrostrukturen mittels UV-Laser
Rochowicz, M.; Grimme, R.; Schäfer, W.
Conference Paper
2000Übersicht, Ziele und Ergebnisse des Projektes "Mikrosysteme für Diagnose, Steuerungen und Regler"
Knobloch, J.
Conference Paper
1999The Economic Potential of Miniaturization from the Industrial Viewpoint
Schünemann, M.; Hüntrup, V.; Bierhals, R.
Journal Article
1999Economic Potentials of Miniaturization from the Industrial Viewpoint
Schünemann, M.; Hüntrup, V.; Bierhals, R.
Journal Article
1999Herstellung miniaturisierter Bauteile
Dorner, J.; Schünemann, M.
Conference Paper
1999Laser knacken winzige Schmutzpartikel
Neuner, M.
Journal Article
1999Mikrosystemtechnische Bauelemente als Basis für neue Applikationen
Gottfried-Gottfried, R.
Conference Paper
1999Modellierung und Simulation von Mikrorelais
Schneider, P.; Schäfer, E.
Conference Paper
1999Modulare Mikrosysteme für den Maschinen- und Anlagenbau
Schünemann, M.; Bauer, G.; Großer, V.; Dorner, J.
Journal Article
1999MST 2000+
: Ehret, P.; Pelka, J.; Reichl, H.
Book
1999Neuronale Netze in mechatronischen Systemen - ein Ansatz für die Modellierung und Simulation
Schneider, P.; Müller, M.; Schwarz, P.
Conference Paper
1999Offenes Softwarekonzept für ein modulares Fertigungssystem
Bader, U.; Schließer, J.; Hägele, K.-D.; Weinmann, A.
Journal Article
1999Projekt Zukunft
: Warnecke, H.-J.
Book
1999Prozess 2000 - Modulares Fertigungssystem in der Mikrotechnik
Bader, U.; Schließer, J.; Weinmann, A.
Journal Article
1999Sensor systems: interface between environment and application
Hammerschmidt, D.
Conference Paper
1999Simulation komplexer Systeme unter Einbeziehung neuronaler Netze
Schneider, P.; Schwarz, P.; Huck, E.; Arnold, G.; Fraikin, J.; Zdun, P.
Conference Paper
1999Simulationsgestützte Strukturoptimierung mit MOSCITO - Einsatz von ANSYS in einem modularen Optimierungssystem
Schneider, P.; Parodat, S.
Conference Paper
1999Standardisierungslösungen für ein modulares Fertigungssystem in der Mikrotechnik
Bader, U.; Schließer, J.; Hägele, K.-D.; Weinmann, A.
Journal Article
1999Systemtechnik in der Gassensorik am Beispiel von CO2-Mikrosensoren: Transducer, Kapselung und Temperaturmodulation
Roth, M.
Dissertation
1999Verteilte, simulationsbasierte Optimierung mit Moscito
Schneider, A.; Parodat, S.; Schwarz, P.
Conference Paper
1999Vorwort zum Kongressband MicroEngineering '99
Westkämper, E.
Conference Paper
1999Werkstofftrends: Mikrostrukturtechnologien
Kohlhoff, J.; Kretschmer, T.
Journal Article
1999Wirtschaftliche Potentiale der Miniaturisierung
Weule, H.; Hüntrup, V.; Thies, U.; Schünemann, M.; Bierhals, R.
Journal Article
1998Aufstieg in eine höhere Liga. Optik und Feinmechanik zunehmend als Schlüsselelemente
Hambücker, S.
Journal Article
1998Baukastensystem Mikrosystemtechnik
Schünemann, M.; Bauer, G.; Schäfer, W.; Reichl, H.; Großer, V.; Leutenbauer, R.
Journal Article
1998Design of a Microarray Production Line
Dobler, H.; Schmid, S.; Lindner, H.; Eichenlaub, U.
Conference Paper
1998Entwicklung und Charakterisierung membran-elastisch gekoppelter Siliziumanordnungen als flexibles Substrat zur CMOS-kompatiblen Integration von 3D-Mikrosystemen
Trieu, H.-K.
Dissertation
1998Hardware implementation of fuzzy systems
Knobloch, J.
Conference Paper
1998Intelligente Werkzeuge mit integrierten sensorischen Netzwerken
Lüthje, H.
Journal Article
1998Konzept und Entwicklung einer flexiblen Elektrode zur multi-interfaszikulären Ableitung von Elektroneurogrammen und zur Stimulation an peripheren Nerven
Stieglitz, T.
Dissertation
1998Microanalytical system for water control
Drost, S.; Wörmann, W.; Richter, M.; Ross, B.; Chemnitius, G.; Köster, O.; Konz, W.; Frimmel, F.H.; Schuhmann, W.; Ferretti, R.; Meixner, L.
Conference Paper
1998Microsystem for flow injection analysis for environmental control
Wörmann, W.; Drost, S.; Linnemann, R.; Ross, B.; Chemnitius, G.; Köster, O.; Konz, W.; Edler, B.; Kranz, C.; Meixner, L.; Ferretti, R.
Conference Paper
1998Mikroelektronische Umsetzung von Fuzzy-Systemen
Knobloch, J.
Conference Paper
1998Mikroproduktionstechnik im Großkammer-Rasterelektronenmikroskop
Hümmler, J.
Dissertation
1998Mikroskopische Techniken zur Materialanalys
Meyendorf, N.; Altpeter, I.; Fassbender, S.; Reiter, H.; Netzelmann, U.
Conference Paper
1998Mikrosystemtechnik - Werkzeugsystem für die Montage
Bauer, G.; Schünemann, M.; Schlenker, D.; Schäfer, W.
Journal Article
1998Modellierung und experimentelle Charakterisierung von Mikrofluidsystemen und deren Komponenten
Richter, M.
Dissertation
1998Neue Anwendungen des Lasers in Elektrotechnik und Mikrotechnik
Gillner, A.
Conference Paper
1998Offenes Softwarekonzept für Produktionssysteme in der Mikrotechnik
Hägele, K.-D.; Bader, U.
Conference Paper
1998On-chip microsystems for medical applications
Mokwa, W.; Schnakenberg, U.
Conference Paper
1998Präzision in der Mikrowelt. Fertigung und Montage kleinster Bauteile
Fischer, S.; Petersen, B.
Journal Article
1998Produktionskonzepte für die Mikrotechnik
Westkämper, E.; Schünemann, M.; Schlenker, D.; Bauer, G.; Grimme, R.; Schäfer, W.
Conference Paper
1998Revolution im Mikrokosmos. Mikrosystemtechnik als Wegbereiter innovativer Produkte
Hümmler, J.
Journal Article
1998Silicon microsystems: merging sensors, circuits and systems
Manoli, Y.; Mokwa, W.
Conference Paper
1997Adaptive Fuzzy-Mikrosysteme
Knobloch, J.
Conference Paper
1997AHDL-model of a 2D mechanical finite-element usable for micro-electro-mechanical systems
Bielefeld, J.; Pelz, G.; Zimmer, G.
Conference Paper
1997Design of a Microarray Production Line
Dobler, H.; Schmid, S.; Lindner, H.; Eichenlaub, U.
Conference Paper
1997Design of a Microarray Production Line
Eichenlaub, U.; Schmid, S.; Lindner, H.
Conference Paper
1997Electrical network formulations of mechanical finite-element models
Bielefeld, J.; Pelz, G.; Zimmer, G.
Conference Paper
1997Fertigungstechnologien fehlen noch
Schäfer, W.; Fischer, G.; Vögele, G.; Weisener, T.
Journal Article
1997Greifersysteme für die Montage kleinster Bauteile
Fischer, G.; Wagner, T.; Ruck, K.
Journal Article
1997Klassifizierung der Bauteile der Mikrosystemtechnik
Eberhardt, R.; Mohaupt, M.
Book Article
1997Microanalytical system with integrated chemical and biochemical sensors for environmental control
Roß, B.; Chemnitius, G.; Drost, S.; Wörmann, W.; Richter, M.; Köster, O.; Frimmel, F.H.; Schuhmann, W.; Ferretti, R.; Meixner, L.; Konz, W.
Conference Paper
1997Microsystem for flow injection analysis for environmental control
Drost, S.; Wörmann, W.; Woias, P.; Ross, B.; Chemnitius, G.; Köster, O.; Konz, W.; Edler, B.; Kranz, C.; Meixner, L.; Ferretti, R.
Conference Paper
1997Silicon sensor systems
Hosticka, B.J.; Brockherde, W.; Hammerschmidt, D.
Journal Article
1997Simulation analoger elektromechanischer Mikrosysteme und des Verhaltens von elektrothermischen Bauelementen unter Verwendung eines automatisch generierten vereinheitlichten Modells
Bielefeld, J.
Dissertation
1997Water control with a microanalytical system
Drost, S.; Wörmann, W.; Richter, M.; Ross, B.; Chemnitius, G.; Köster, O.; Konz, W.; Frimmel, F.H.; Schuhmann, W.; Ferretti, R.; Meixner, L.
Conference Paper
19963. Workshop Methoden und Werkzeuge zum Entwurf von Mikrosystemen mit dem Schwerpunkt Methoden zum Entwurf, zur Integration und Parametrisierung von Komponenten für applikationsspezifische integrierte Mikrosysteme 1996. Tagungsband
: Glesner, M.; John, W.
Conference Proceedings
1996Bitte nicht berühren: Greifen mit Flüssigkeiten in der Mikrotechnik
Bark, C.; Vögele, G.; Weisener, T.
Journal Article
1996Chancen des Maschinenbaus durch die Mikrosystemtechnik
Schäfer, W.; Schünemann, M.; Schließer, J.; Gehringer, H.
Conference Paper
1996Einheitliche Modellschnittstelle für Verhaltensmodelle im Verbundprojekt MIMOSYS
Clauß, C.; Haase, J.; Schwarz, P.
Conference Paper
1996Entwicklung schneller integrierter thermischer Strömungssensoren in Siliziumtechnologie für Flüssigkeit und Gase
Kersjes, R.A.
Dissertation
1996Entwicklungen in der Mikrosystemtechnik und ihre Anwendbarkeit in der Produktionsautomatisierung
Fischer, W.-J.; Hermann, R.
Conference Paper
1996Entwicklungstrends in der industriellen Produktion von Mikrosystemen
Grimme, R.; Schünemann, M.; Großer, V.; Reichl, H.; Schäfer, W.; Schwaab, G.
Conference Paper
1996Fertigungskonzepte für die industrielle Produktion von Mikrosystemen (MikroFAB)
Grimme, R.; Schünemann, M.; Schwaab, G.; Kaufmann, T.S.; Bader, U.; Schlenker, D.; Schäfer, W.
Conference Paper
1996Fertigungskonzepte für die industrielle Produktion von Mikrosystemen (MikroFAB)
Grimme, R.
Conference Paper
1996Gerotor im Mini-Format
Vögele, G.; Bark, C.; Weisener, T.; Widmann, M.
Journal Article
1996Greifen mit Flüssigkeiten
Bark, C.; Vögele, G.; Weisener, T.
Journal Article
1996Halbautomat zur Montage von miniaturisierten optischen Systemen
Schlenker, D.; Grimme, R.; Stock, A.; Schäfer, W.
Conference Paper
1996Hochdruck-Fluidbearbeitung
Henning, A.
Conference Paper
1996Innovationen im Maschinenbau durch die Mikrosystemtechnik
Schäfer, W.; Schünemann, M.; Schließer, J.; Gehringer, H.
Conference Paper
1996Innovationspotentiale im Maschinenbau durch die Mikrosystemtechnik
Schünemann, M.; Schäfer, W.; Schließer, J.; Gehringer, H.
Conference Paper
1996Inspektionsmodul zur Prüfung optischer Bauteile
Stock, A.; Grimme, R.; Schlenker, D.; Dettmann, H.; Schäfer, W.
Conference Paper
1996Das intelligente Werkzeug
Zamel, S.
Journal Article
1996Kleben mit kleinsten Klebstoffmengen
Hartwig, A.; Döring, M.; Hennemann, O.-D.
Journal Article
1996Kopplung der Simulatoren ITI-SIM und KOSIM für die Simulation in der Mikrosystemtechnik und der Mechatronik
Blochwitz, T.; Neidhold, T.; Uhlig, A.; Clauß, C.; Matz, K.; Schwarz, P.; Winkler, F.; Wünsche, S.
Conference Paper
1996Methoden und Werkzeuge zur Simulation von Mikrosystemen
Schwarz, P.; Eccardt, P.-C.; Schulte, S.; Paap, K.-L.; Gutzmann, M.
Conference Paper
1996Mikrobearbeitung mit dem Funkenerosionsverfahren am Beispiel einer Zahnradpumpe
Weisener, T.; Braunschweiler, A.
Conference Paper
1996Mikrofabrikationstechniken für Mikrosysteme - MikroFAB -
 
Conference Proceedings
1996Minis mit großer Leistung
Weisener, T.; Bark, C.; Vögele, G.; Widmann, M.
Journal Article
1996Ein Modellierungsansatz zur Einbeziehung mechanischer Mikrosystemkomponenten in die Systemsimulation
Wünsche, S.; Schwarz, P.; Becker, U.; Neul, R.
Conference Paper
1996Neue Werkstoffe in der Produktion - Wirkungsweise von Formgedächtnislegierungen, Berechnung und Einsatzbeispiele
Weisener, T.
Book Article
1996New Cleanroom and Cleanliness Concepts for Microsystem Production
Dorner, J.; Grimme, R.; Schünemann, M.; Schließer, J.; Kaufmann, T.S.; Schäfer, W.
Conference Paper
1996Optimierung eines on-chip Fuzzy-Temperaturreglers
Knobloch, J.
Conference Paper
1996Optimization of an on-chip fuzzy temperature controller
Knobloch, J.; Presberger, T.
Conference Paper
1996Qualitätssicherungsaspekte im arbeitsteiligen Fertigungsprozeß der Mikrosystemtechnik
Gramann, U.; Kaufmann, T.S.
Conference Paper
1996Signalverarbeitung für chemische Sensoren mit neuronalen Netzen
Endres, H.-E.; Leidl, A.; Drost, S.
Conference Paper
1996Simulation in der Mikrosystemtechnik mit KOSIM
Clauß, C.; Donath, U.; Haase, J.; Haufe, J.; Kurth, G.; Leitner, T.; Schneider, A.; Schwarz, P.; Trappe, P.; Winkler, F.; Wünsche, S.
Conference Paper
1996Untersuchung einer CMOS-Technologie auf SIMOX-Substraten für Anwendungen in der Hochtemperaturelektronik
Werner, R.
Dissertation
1996A Versatile Spray-Spin-Tool for Wet Chemistry Processes in a Microfabrication Line
Kluge, A.; Grimme, R.
Conference Paper
1996Eine vielseitige Spray-Spin-Anlage
Kluge, A.; Grimme, R.
Conference Paper
1996Visionsystem zur Qualitätssicherung in der Fertigung von Mikro/Millimeterwellenkomponenten
Gramann, U.
Conference Paper
1995Analog hardware description language for modeling and simulation of microsystems and mechatronics
Bielefeld, J.; Pelz, G.; Zimmer, G.
Conference Paper
1995Aufholbedarf beim Mittelstand
Schäfer, W.
Journal Article
1995Chemomechanische Aktoren
Schünemann, M.; Wurmus, H.
Book Article
1995Comparison of electrical device representations of physical differential equations
Bielefeld, J.; Pelz, G.; Zimmer, G.
Conference Paper
1995Development Trends in the Industrial Production of Microsystems
Schäfer, W.; Schuenemann, M.; Grimme, R.; Grosser, V.
Conference Paper
1995Durchgängige Simulation von Prozessen und Strukturen der Mikrosystemtechnik
Stephan, R.; Kunze, D.; Erlebach, A.; Richter, F.; Todt, U.
Conference Paper
1995Electro-mechanical coupling in microsystems - utilization and failure reason
Schönecker, Andreas; Gesemann, H.-J.; Weihnacht, M.
Conference Paper
1995Entwicklung und Charakterisierung von CMOS-kompatiblen Transducern zur Realisierung von Mikrosystemen aus dem Bereich der Chemo- und Biosensorik
Rospert, M.
Dissertation
1995Erfahrungen mit einer Modellierungsstrategie für die Systemsimulation in der Mikrosystemtechnik
Haase, J.; Schwarz, P.; Wünsche, S.
Conference Paper
1995Innovative Entwicklungen in der Galvanotechnik
Leyendecker, F.
Conference Paper
1995Lasergestützte Aufbau- und Verbindungsverfahren in der Mikrosystemtechnik
Kreutz, E.W.; Gillner, A.
Conference Paper
1995Machbarkeitsstudie zum Einsatz von Diodenlasern zur Abgasreinigung
Lang, J.E.
Thesis
1995Ein Mikroelektronik-System für fluide Messungen in Blutgefäßen
Manoli, Y.; Mokwa, W.
Book Article
1995Mikrofabrikationstechniken für Mikrosysteme
 
Conference Proceedings
1995Mikrosystemtechnik - eine Zukunftstechnologie für die Gegenwart
Warnecke, H.-J.
Book Article
1995Mikrosystemtechnik. Entwicklungsstand und Marktumsetzung
Mokwa, W.
Conference Paper
1995Model transformation for coupled electro-mechanical simulation in an electronics simulator
Pelz, G.; Bielefeld, J.; Zimmer, G.
Journal Article
1995Perspektiven energieautarker Mikrosysteme
Bollerott, M.
Conference Paper
1995Das Projekt ADAM
Knobloch, J.
Conference Paper
1995Rationalisierung von Entwurf und Realisierung für die Mikrosystemintegration
Oberst, E.; Scherer, K.; Nauber, P.; Winkler, J.; VomBögel, G.
Book
1995Silicon microsystems for mechatronic applications
Brockherde, W.; Hammerschmidt, D.; Hosticka, B.J.
Conference Paper
1995Simulating micro-electromechanical systems
Pelz, G.; Bielefeld, J.; Zappe, F.-J.; Zimmer, G.
Journal Article
1995Simulation mikrosystemtechnischer Aufgaben mit gekoppelten Simulatoren
Clauß, C.; Gruschwitz, R.; Schwarz, P.; Wünsche, S.
Conference Paper
1995Strategien zur Modellierung und Simulation in der Mikrosystemtechnik
Wünsche, S.; Schneider, P.
Conference Paper
1995Systemkonzepte mikrosystemtechnischer Aufgabenstellungen
Gerber, J.; Hauer, H.
Conference Paper
1995Unterstützung des Mikrosystementwurfs durch Simulatorkopplung
Clauß, C.; Eccardt, P.-C.; Priem, X.; Wünsche, S.
Conference Paper
1995Zukunftstechnologie des 21. Jahrhunderts, Mikrosystemtechnik
Fischer, W.-J.
Journal Article
19941.2 Volt CMOS readout electronics for capacitive sensors
Schnatz, F.V.; Brockherde, W.; Dudaicevs, H.; Hosticka, B.J.
Conference Paper
1994Advantages and potential of SOI structures for smart sensors
Vogt, H.
Conference Paper
1994Automatischer Abgleichalgorithmus für integrierte CMOS-Drucksensoren mit on-chip Programmierung.
Schlichting, V.; Lossy, R.; Graf, N.; Obermeier, E.; Hammerschmidt, D.; Schnatz, F.V.; Hosticka, B.J.
Conference Paper
1994Braucht die Mikrosystemtechnik die Reinraumtechnik?
Klumpp, B.; Dorner, J.
Journal Article
1994Bruchmechanische Analysen an MEMS-Strukturen
Erlebach, A.
Conference Paper
1994Chipentwurf für ein Fuzzy-Mikrosystem zur Gasklassifikation
Koch, M.; Jeroch, W.
Conference Paper
1994Energieautarke Mikrosysteme im Aufwind
Fischer, W.-J.; Gründler, R.; Bollerott, M.
Journal Article
1994Fügetechniken im Vergleich
Groß, A.; Bischoff, J.; Hartwig, A.; Hennemann, O.-D.; Krüger, G.
Journal Article
1994A fully CMOS-compatible infrared sensor fabricated on SIMOX substrates
Müller, M.; Gottfried-Gottfried, Ralf; Kück, Heinz; Mokwa, Wilfried
Journal Article, Conference Paper
1994Meßdatenerfassung hält Atemluft sauber
Hartinger, R.; Göttler, W.; Endres, H.-E.
Journal Article
1994MEXEL: Simulation of microsystems in a circuit simulator using automatic electromechanical modeling.
Pelz, G.; Bielefeld, J.; Zappe, F.-J.; Zimmer, G.
Conference Paper
1994Mikrobaugruppen mechanisch prüfen
Michel, B.; Großer, V.
Journal Article
1994Mikroelektronik, eine Schlüsseltechnologie im Umweltschutz
Angerer, G.
Book Article
1994Moderne Mikrosysteme für die Dosimetrie und den Strahlenschutz
Streil, Thomas; Klinke, Roland; Erlebach, Axel; Kück, Heinz; Zimmer, Günter
Conference Paper
1994Ein monolithisch integriertes CMOS-Drucksensorsystem mit Temperaturkompensation und On-Chip gespeicherten Kalibrationsdaten
Hammerschmidt, D.; Schnatz, F.V.; Brockherde, W.; Hosticka, B.J.; Schlichting, V.; Obermeier, E.
Conference Paper
1994Monolithische Integration von Magnetfeld-Sensorelementen und Auswerteschaltungen in CMOS-Technologie
Gottfried-Gottfried, R.; Zimmer, G.
Conference Paper
1994Monolithisches Magnetfeldsensorsystem mit Spinning Current Hallsensor
Gottfried-Gottfried, R.; Budde, W.; Hörning, T.
Conference Paper
1994Neue Impulse für Medizin und Umwelttechnik
Höch, A.; Rospert, M.
Journal Article
1994On-chip fuzzy temperature control
Knobloch, J.; Koch, M.
Conference Paper
1994Perspektiven der Fertigungsgeräte-Industrie in der industriellen Produktion von Mikrosystemen
Schäfer, W.; Schweizer, M.; Dorner, J.; Weisener, T.; Vögele, G.
Conference Paper
1994Potential of mixed analog/digital signal processing for silicon microsystems.
Hosticka, B.J.
Conference Paper
1994Potentiale nutzen, Hemmschwellen abbauen
Melchior, K.
Journal Article
1994Reduction of heat loss of silicon membranes by the use of trench etching techniques
Werno, J.; Mokwa, W.; Vogt, H.; Kersjes, R.A.
Journal Article
1994Systementwurf eines Bronchitissensors
Prengel, H.
Thesis
1994Temperaturkompensation von Sensorsystemen durch CMOS-Schaltungen
Hammerschmidt, D.; Sprotte, A.; Schnatz, F.V.; Brockherde, W.; Hosticka, B.J.; Dura, H.-G.; Dudaicevs, H.; Mokwa, W.
Conference Paper
1994Trends in the Industrial Production of MST
Dorner, J.; Schäfer, W.
Journal Article
1994Verbundsubstrat für elektrisch-optische Hybridschaltungen
Buß, W.
Conference Paper
1993Berechnung komplexer Halbleiter elektronischer Strukturen unter Nutzung von ANSYS-Resultaten in der mehrdimensionalen Devicesimulation
Erlebach, A.; Kunze, D.; Richter, F.; Stephan, R.; Gajewski, H.
Conference Paper
1993A CMOS piezoresistive pressure sensor with on-chip programming and calibration
Brockherde, W.; Hammerschmidt, D.; Hosticka, B.J.; Obermeier, E.; Schnatz, F.V.
Conference Paper
1993CMOS-kompatibler kapazitiver Siliziumdrucksensor in Oberflächenmikromechanik
Kandler, M.
Dissertation
1993Digital programmable pressure sensor with on-chip CMOS signal processing and data storage
Schlichting, V.; Hammerschmidt, D.; Hosticka, B.J.; Obermeier, E.; Pollak-Diener, G.; Schnatz, F.V.
Conference Paper
1993Fabrication of sensors and microsystems on SIMOX substrates
Gottfried-Gottfried, R.; Köhler, R.; Kück, H.; Mokwa, W.; Vogt, H.
Conference Paper
1993Forschung und Entwicklung auf dem Gebiet der Funktionskeramik im IKTS Dresden
Schönecker, A.; Otschik, P.; Gesemann, H.J.
Conference Proceedings
1993A fully CMOS compatible infrared sensor fabricated on SIMOX-substrates
Müller, M.; Gottfried-Gottfried, R.; Kück, H.; Mokwa, W.
Conference Paper
1993Fuzzy-Anwendungen in der Mikrosystemtechnik
Knobloch, J.
Conference Paper
1993Fuzzy-Anwendungen in der Mikrosystemtechnik
Knobloch, J.
Conference Paper
1993Fuzzy-Klassifikation von Gassensorsignalen. Algorithmus und Entwurf
Wilde, A.
Thesis
1993Fuzzy-Logik für Chip-Sensoren
Knobloch, J.
Journal Article
1993Intelligente Sensoren auf dem Weg zum ASIC
Vogt, H.
Journal Article
1993Intelligente Sensorsysteme auf Siliziumbasis
Mokwa, W.
Conference Paper
1993Klebverbindungen in der optischen Meßtechnik
Schäfer, H.
Journal Article
1993New alpha radiation detection systems for environmental surveys
Streil, T.; Klinke, R.; Erlebach, A.; Hübler, P.; Kluge, W.; Kück, H.; Zimmer, G.
Conference Paper
1993New alpha radiation detection systems for environmental surveys.
Streil, T.; Klinke, R.; Erlebach, A.; Hübler, P.; Kluge, W.; Kück, H.; Zimmer, G.
Conference Paper
1993A new microstructured silicon substrate for ultrathin gas-sensitive films
Schütze, A.; Weber, U.; Zacheja, J.; Kohl, D.; Mokwa, W.; Rospert, M.; Werno, J.
Conference Paper
1993The opportunities to combine electronic functions at high temperature
Burbach, G.
Conference Paper
1993Reduction of heat loss of silicon membranes by the use of trench etching techniques
Werno, J.; Mokwa, W.; Vogt, H.; Kersjes, R.A.
Conference Paper
1993Silizium-Mikrosysteme für medizinische Anwendungen
Mokwa, W.
Conference Paper
1993Ein thermoelektrischer Infrarotsensor als Beispiel für den Einsatz von SIMOX-Substraten für die Herstellung von Sensoren und Mikrosystemen
Müller, M.; Köhler, R.; Gottfried-Gottfried, R.; Kück, H.; Mokwa, W.; Vogt, H.
Conference Paper
1993Umgang mit atomar kleinen Strukturen. Mikrosysteme erfordern eine Revolution der Produktionstechnik
Schweizer, M.; Weisener, T.; Vögele, G.
Journal Article
1993Verbindung und Montage - Schlüsselprobleme der Mikrosystemtechnik. Modularer Aufbau wird langfristig bleiben
Weisener, T.; Vögele, G.; Holzapfel, C.
Journal Article
1992Circuit and system design for silicon microsensors
Hosticka, B.J.
Conference Paper
1992Einsatz von ANSYS beim Entwurf von Sensoren in der Mikrosystemtechnik
Erlebach, A.; Kunze, D.; Müller, M.
Conference Paper
1992Geringes Gewicht, kleinste Abmessungen durch Integration auf kleinstem Raum
Mokwa, Wilfried; Vogt, Holger
Journal Article
1992Integrated sensor electronics, the link between sensor and system
Brockherde, W.; Hosticka, B.J.
Conference Paper
1992Integrierte Sensorelektronik für Mikrosystem-Anwendungen
Brockherde, W.; Hosticka, B.J.; Klinke, R.; Schnatz, F.V.
Conference Paper
1992Klebsysteme für die integrierte Optik optimieren
Schäfer, H.
Journal Article
1992Meßdatenerfassung für chemische Sensorsysteme.
Endres, H.-E.; Hartl, J.
Journal Article
1992Mikrosensoren beweisen Stärke. Die neuesten Trends in der Mikrosystemtechnik
Mokwa, W.
Journal Article
1992Optimieren von Klebsystemen für die integrierte Optik
Schäfer, H.
Conference Paper
1992Optimierung von integrierten Fuzzy-Schaltungen
Jeroch, W.; Knobloch, J.; Koch, M.
Conference Paper
1991Application of the silicon technology for microsystems in the medical techniques
Mokwa, W.
Conference Paper
1991Aufbau- und Verbindungstechniken für Mikrosysteme
Feil, M.; Sandmaier, H.
Conference Paper
1991Der intelligente Herzkatheter. Sensoren und Signalvorverarbeitung auf einem Chip
Manoli, Y.; Mokwa, W.
Journal Article
1991Systemtechnik für Chemosensoren
Drost, S.; Endres, H.-E.; Sandmaier, H.
Journal Article
1991Systemtechnik für Chemosensoren.
Drost, S.; Endres, H.-E.; Sandmaier, H.
Journal Article
1990Einsatz von ASICs in Mikrosystemen
Hagelauer, R.
Conference Paper
1990An electrodynamic injection pump - a novel actuator for microsystem technology
Plettner, A.; Richter, A.; Sandmaier, H.
Conference Paper
1990Elektrohydrodynamische Mikropumpe
Richter, A.; Sandmaier, H.
Conference Paper
1990Elektrohydrodynamische Mikropumpe für elektromechanische Systeme
Richter, A.
Conference Paper